Optical Metrology & Polarimetry

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Optical Metrology & Polarimetry

  1. 1. OPTICAL METROLOGY & POLARIMETRYMicro and Nano-Technology-Scientific Consulting by SERMA Technologies<br />19.01.2011F.Ferrieu<br />Micro and Nano-Technology-Scientific Consulting and Expertise OMP _S.I.R.E.T 52230889900015<br />1<br />Expertise/ consultant développement & veille technologique sur les techniques de Metrologie Optique et applications utilisant la polarimétrie<br />Grace à notre expérience nous pouvons assurer l’interface avec des laboratoires de mesures sur les problématiques Industrielles en proposant une caractérisation optique adéquate (couches minces, nouveaux matériaux, nanotechnologies off line et in line).<br />Ces Travaux bénéficient ainsi de l’Environnement de Recherche du LETI<br /> -un potentiel de métrologie unique avec MINATEC et SERMA : -compléter les analyses (TEM, SIMS, ..) et les autres moyens des acteurs de et donc un accés à des Instruments d’Optique de Métrologie industrielles et interface avec les laboratoires développant les dernier instruments d’optique innovants.<br />
  2. 2. OPTICAL METROLOGY & POLARIMETRYMicro and Nano-Technology-Scientific Consulting by SERMA Technologies<br />Materiaux nouveaux cristallins ou amorphes<br />Mesures in situ in line ou off line<br />Multi couches et Nanotechnologies<br />Etudes de surface par Polarimetrie <br />Adsorption de Surface et porosimetrie<br />19.01.2011<br />OMP _S.I.R.E.T Micro and Nano-Technology-Scientific Consulting and Expertise OMP _S.I.R.E.T 52230889900015<br />52230889900015<br />1<br />
  3. 3. OPTICAL METROLOGY & POLARIMETRYExpertise with SERMA Technologies at Minatec : Ellipsometrie Spectrocopique visible (SE) ou ultraviolet (VUVSE) et infrarouge: Exemples de domaines d’application<br /><ul><li>Analyse et montage optimisation de systèmes in situOff line et in line .
  4. 4. Analyse matériaux : propriétés physique et (ou) contrôle composition C, O dans silicium ( spectroscopie ellipso Infra rouge ) epi sur substrat dopé mesure epaisseur- couches PZT sur Platine réflectivité infra rouge
  5. 5. Analyse et Optimisation Montage métrologie intégrée sur de systemes in situ
  6. 6. Off line et in line composition alliages III V type AsGa composés binaires ou ternaires SiGe, SiGeC, SiCbulk et couches minces
  7. 7. Analyse matériaux en couches minces type empilements structure CMOS 32nm </li></ul>filtre optiques sur substrats transparents , caractérisation nouveaux matériaux résines lithographie silicium poreux, AlN, ect.. Matériaux anisotropes LiNbO3, cristaux liquides ,conducteurs : ITO Graphène, Diélectriques et low k . <br /><ul><li> Etats de Surface oxyde natif sur substrat, diffusion de la lumière rugosité
  8. 8. Analyse des verres, composés terres rares Hf, La,Y(VUV SE )
  9. 9. Porosimetrie Adsorption de surface (rugosité LER) et bulk ( taille des pores)
  10. 10. Couches implantées et recuit laser pulsé ( profils de défauts).
  11. 11. Polarimetrie: Structure Photoniques et Lithographie Scattérometrie modélisation et mesures pour optimisation de structures.</li></ul>.<br />19.01.2011<br />OMP _S.I.R.E.T Micro and Nano-Technology-Scientific Consulting and Expertise OMP _S.I.R.E.T 52230889900015<br />52230889900015<br />1<br />
  12. 12. OPTICAL METROLOGY & POLARIMETRYMicro and Nano-Technology-Scientific Consulting by SERMA Technologies<br />19.01.2011F.Ferrieu<br />4<br /><ul><li>Expertise, Apport d’expérience et Orientation sur les possibilités de réalisation de mesures visant à faciliter la mise en œuvre d’un projet industriel .</li></ul>Mais aussi<br /><ul><li>Accompagnement dans la sélection de propositions effectuées par les équipementiers dans le cadre de la recherche d’instruments les mieux adaptés aux besoins de métrologie.
  13. 13. Formation à l’utilisation et à l’optimisation des données des instruments de mesure.
  14. 14. Support montage des programmes Européens ou Régionaux sur la faisabilité et la pertinence d’un projet scientifique</li></ul>Et en parallèle <br /><ul><li>Enseignement & Formation : séminaires d’application ou généraux dans l’instrumentation Optique et ses applications. </li></ul>OMP _S.I.R.E.T Micro and Nano-Technology-Scientific Consulting and Expertise OMP _S.I.R.E.T 52230889900015<br />52230889900015<br />
  15. 15. OPTICAL METROLOGY & POLARIMETRYMicro and Nano-Technology-Scientific Consulting <br />19.01.2011F.Ferrieu<br />5<br />Notre Expérience<br /><ul><li>Plus de 50 publications en Ellipsometrie et Polarimetrie.
  16. 16. Reviewer dans différents Journaux scientifiques TSF1, JOSA2 et EJAP3.
  17. 17. Participation différents projets industriels dans le domaine de l’instrumentation (premiers ellipsometres spectroscopiques visible, infrarouge et extrême Ultraviolet en France )
  18. 18. Connaissance et interactions en NDA avec différents groupes au niveau mondial en Ellipsometrie, Reflectometrie et Polarimetrie : KLA Tencor , J. Woollam, Horiba Scientific et, SopraLab
  19. 19. http://www.serma.com
  20. 20. http://www.optic-mueller.com/siteweb2010</li></ul>1Thin Solid Films,<br />2Journal of The Optical Society of America,<br />3European Journal of Applied Physics<br />OMP _S.I.R.E.T Micro and Nano-Technology-Scientific Consulting and Expertise OMP _S.I.R.E.T 52230889900015<br />52230889900015<br />

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