1. Vi h th ng
GV: Nguy n Hoàng Nam
(chương trình K sư CLC – Khóa 51)
18/08/2010 1
2. Vi h th ng
N i dung môn h c
1. Khái ni m chung v vi h th ng
1. C u chúc chung h th ng ño lư ng
2. Khái ni m vi h th ng – ño lư ng
3. Phân lo i
2. Các công ngh cơ b n c a vi h th ng
1. Công ngh vi ñi n t
2. LIGA
3. Vi cơ ñi n t - MEMS
4. Quang ñi n t - Optoelectronic
5. Màng sinh h c, th m th u
Vi h th ng 2 Nguy n Hoàng Nam
3. Vi h th ng
N i dung môn h c
3. Các vi h th ng c th
1. Vi h th ng bi n ñ i năng lư ng
2. Vi h th ng truy n tin
3. Camera & máy nh s
4. Vi c m bi n
5. C m bi n y sinh – Biosensor
6. B ch p hành vi cơ
7. Vi h th ng kh l p – PSoC
Tài li u tham kh o
1. Bài gi ng vi h th ng – Nguy n Tr ng Qu
2. Intelligent Sensor System – John Brignell
Vi h th ng 3 Nguy n Hoàng Nam
4. Vi h th ng
§ Cái nhìn bao quát v vi h th ng
Ch c năng
-Bi n đ i.
-X lý tín hi u.
-X lý s li u
-Đi u khi n
-Công ngh vi đi n t .
-Truy n tin.
-Công ngh vi gia công.
K tc u
-Công ngh nano.
-Công ngh gia công hoá lý -K t c u đi n cơ
-K t c u quang đi n
-K t c u hoá đi n
Công ngh
-K t c u sinh h c đi n
Vi h th ng 4 Nguy n Hoàng Nam
5. Vi h th ng
§ Ví d v vi h th ng
H th ng cơ ñi n/ñi n t vĩ mô H th ng vi cơ ñi n t - MEMS
Ô tô DENSO (TOYOTA) dài 4,8 mm (1/1000 kích thư c th t), trang b ñ ng
cơ mô-tơ kích thư c 0,67 mm, qu n dây ñ ng ñư ng kính 18 µm, ho t ñ ng
theo nguyên lý ñi n t , có th ñ t t c ñ 600 vòng/phút (∼ 5÷6 mm/s).
Vi h th ng 5 Nguy n Hoàng Nam
6. Vi h th ng
§ Ví d v vi h th ng (ti p)
(0.1µm – 100µm)
100µm
Kích thư c
Vi h th ng 6 Nguy n Hoàng Nam
7. Vi h th ng
§ Ví d v vi h th ng (ti p)
Resonator
Microswitch Micro-SAW
Surface Acoustic Wave
Vi h th ng 7 Nguy n Hoàng Nam
8. Vi h th ng
Bio-MEMS Micro-components Vi gương (projector…)
Vi h th ng 8 Nguy n Hoàng Nam
9. Vi h th ng
§ Ví d v vi h th ng (ti p)
Vi h th ng 9 Nguy n Hoàng Nam
