1. ㆗華民國八十九年 IOSH89-T-033
勞工安全衛生技術叢書
半導體製造業晶圓廠設施安全檢核指引—
煙控系統、燻煙系統、洗滌塔、
煙控系統、燻煙系統、洗滌塔、
濕式清洗檯
行政院勞工委員會勞工安全衛生研究所
㆗華民國八十九年六月

2. 半導體製造業晶圓廠設施安全檢核指引-
半導體製造業晶圓廠設施安全檢核指引-
煙控系統、燻煙系統、洗滌塔、
煙控系統、燻煙系統、洗滌塔、
、燻煙系統、洗滌塔
濕式清洗檯
行政院勞工委員會勞工安全衛生研究所 編印

3. 前言
半導體業近年來在國內發展迅速，不論在工廠數量或工廠規模㆖都增長快
速。安全技術雖然與科技之發展共同成長，但因半導體業㆗所使用之有害氣體以及
各項設備設施之本質不安全性，使得製程㆗仍具有潛在危害。本指引乃針對晶圓廠
㆗㆕種負壓設施－煙控系統、燻煙系統、洗滌塔、濕式清洗檯－提出安全查核項
目。晶圓廠㆗製程尾氣如未經由適當處理會引起火災、衛生及環保等事故，而尾氣
處理牽涉燻煙排氣系統、區域與㆗央洗滌塔。煙控系統是否能發揮功能則關係到緊
急應變計畫與滅火防災整體之成效。另濕式清洗台使用易燃性物質時常是晶圓廠火
災事故的源由。
國外對於半導體業設備設施之安全衛生有許多規範，較常被業者引用的有美
國防火協會標準 NFPA318、半導體設備和材料國際組織之 SEMI F 標準及 SEMI S
指引、工廠互助工程公司（Factory Mutual Engineering Corporation）FM 7-7、保險
實驗室（UL）、UFC（Uniform Fire Code）、UBC（Unifrom Building Code）、
UMC（Uniform Mechanical Code）等相關規範。國內法規目前尚未針對半導體業定
出規範，業者則多參考國際㆖認可之相關標準。
本指引乃參考國際之規範編撰，提供業界採購相關設備設施及工作㆟員檢查
及維修時之安全標準參考，期能降低事故之發生，提昇晶圓廠之安全衛生水準。本
指引未臻完善之處，仍難避免，尚請諸位先進不吝指教。
本指引獲工研院工安衛㆗心之大力協助才得以完成，在此謹表謝忱。
勞工安全衛生研究所 所長
㆗華民國八十九年六月

4. 目錄
目錄 ................................................................................................................................... i
圖目錄 ..............................................................................................................................ii
表目錄 .............................................................................................................................iii
壹、煙控系統（Smoke Control System）安全檢核指引 ......................................... 1
㆒、煙控系統 .......................................................................................................... 2
㆓、煙控系統安全檢核表 ...................................................................................... 4
貳、燻煙排氣系統（Fume Exhaust System）安全檢核指引 ................................ 13
㆒、燻煙排氣系統 ................................................................................................ 14
㆓、燻煙排氣系統安全檢核表 ............................................................................ 15
參、洗滌塔(Scrubber)安全檢核指引 ....................................................................... 22
㆒、區域性及㆗央控制洗滌塔（Local and Central Scrubber） ........................ 23
㆓、區域性與㆗央洗滌塔安全檢核表 ................................................................ 33
（㆒）水洗式區域性洗滌塔設施安全現況檢核表 .......................................... 35
（㆓）吸附式（兼含加熱）區域性洗滌塔設施安全現況檢核表 .................. 51
（㆔）燃燒兼水洗式洗滌塔設施安全現況檢核表 .......................................... 68
（㆕）㆗央控制洗滌塔設施安全檢核表 .......................................................... 87
肆、濕式清洗檯（Wet Bench）安全檢核指引 ...................................................... 93
㆒、濕式清洗檯 .................................................................................................... 94
㆓、濕式清洗檯安全檢核表 ................................................................................ 98
附件㆒ 安全互鎖(Interlock)檢核清單 ................................................................... 121
附件㆓ 漏電流量測 ................................................................................................ 122
附件㆔ 對㆞電阻量測 ............................................................................................ 123
附件㆕ ㆓氧化碳滅火設備設置規則 .................................................................... 124
附件五 超音波測漏技術 ........................................................................................ 126
附件六 風機性能曲線分析 .................................................................................... 127
i

5. 圖目錄
圖 3-1 區域性洗滌塔在潔淨室的配置圖................................................................................ 25
圖 3-2 水洗式區域性洗滌塔設備圖........................................................................................ 28
圖 3-3 吸附式(兼含加熱)區域性洗滌塔設備示意圖 ........................................................... 30
圖 4 濕式清洗檯設備系統方塊圖 ........................................................................................... 95
ii

6. 表目錄
表 1-1 排氣與排煙兼用分析表................................................................................................ 3
表 1-2 煙控系統閘門查核........................................................................................................ 5
表 1-3 偵煙系統查核 ................................................................................................................ 6
表 1-4 排煙風機查核 ................................................................................................................ 7
表 1-5 煙控系統功能性設計查核............................................................................................ 8
表 1-6 煙控系統功能及性能測試查核.................................................................................... 8
表 1-7 灑水系統查核 ................................................................................................................ 9
表 1-8 電氣安全查核 ................................................................................................................ 11
表 1-9 警急避難設備查核........................................................................................................ 11
表 1-10 緊急電源及耐燃、耐熱配線查核.............................................................................. 12
表 1-11 煙控系統其他項目查核.............................................................................................. 12
表 2-1 燻煙排氣系統設計查核................................................................................................ 16
表 2-2 燻煙排氣系統防火設計查核........................................................................................ 19
表 2-3 排氣風機查核 ................................................................................................................ 20
表 2-4 燻煙排氣系統㆖鎖/掛籤查核....................................................................................... 20
表 2-5 燻煙排氣系統管路標示查核........................................................................................ 21
表 2-6 燻煙排氣系統雙套管設備查核.................................................................................... 21
表 2-7 燻煙排氣系統管路噪音查核........................................................................................ 21
表 3 區域性洗滌塔之優缺點比較 ........................................................................................... 26
表 3-1-1 水洗式區域性洗滌塔設施狀況................................................................................. 36
表 3-1-2 水洗式區域性洗滌塔電器安全................................................................................. 37
表 3-1-3 水洗式區域性洗滌塔化學品..................................................................................... 39
表 3-1-4 緊急停機 (EMO, EMERGENCY OFF CIRCUITS)................................................. 41
表 3-1-5 安全互鎖(INTER LOCK) .......................................................................................... 43
表 3-1-6 機械設備..................................................................................................................... 44
表 3-1-7 ㆒般支援裝置............................................................................................................. 45
表 3-1-8 文件資料..................................................................................................................... 46
表 3-1-9 通風與排氣................................................................................................................. 48
表 3-1-10 維修........................................................................................................................... 49
iii

7. 表 3-1-11 風險危害評估........................................................................................................... 49
表 3-1-12 其他........................................................................................................................... 50
表 3-2-1 吸附式（兼含加熱）區域性洗滌塔設施狀況......................................................... 52
表 3-2-2 吸附式（兼含加熱）區域性洗滌塔電器安全......................................................... 53
表 3-2-3 化學品......................................................................................................................... 55
表 3-2-4 緊急停機 EMO(EMERGENCY OFF CIRCUITS).................................................... 56
表 3-2-5 安全互鎖(INTER LOCK) .......................................................................................... 58
表 3-2-6 機械設備..................................................................................................................... 59
表 3-2-7 文件資料（DOCUMENTATION）.......................................................................... 60
表 3-2-8 通風與排氣................................................................................................................. 62
表 3-2-9 維修............................................................................................................................. 64
表 3-2-10 風險危害評估........................................................................................................... 65
表 3-2-11 其他........................................................................................................................... 66
表 3-3-1 燃燒兼水洗式洗滌塔設施狀況................................................................................. 69
表 3-3-2 燃燒兼水洗式洗滌塔電器安全................................................................................. 70
表 3-3-3 燃燒兼水洗式洗滌塔化學品..................................................................................... 72
表 3-3-4 燃燒兼水洗式洗滌塔緊急停機 EMO(EMERGENCY OFF CIRCUITS)................ 74
表 3-3-5 燃燒兼水洗式洗滌塔安全互鎖(INTER LOCK) ...................................................... 76
表 3-3-6 機械設備..................................................................................................................... 77
表 3-3-7 ㆒般支援裝置............................................................................................................. 78
表 3-3-8 文件資料（DOCUMENTATION）.......................................................................... 79
表 3-3-9 通風與排氣................................................................................................................. 81
表 3-3-10 維修........................................................................................................................... 83
表 3-3-11 風險危害評估........................................................................................................... 84
表 3-3-12 其他........................................................................................................................... 85
表 3-4-1 ㆗央控制洗滌塔設施狀況......................................................................................... 88
表 3-4-2 ㆗央控制洗滌塔材質................................................................................................. 88
表 3-4-3 ㆗央控制洗滌塔電氣安全......................................................................................... 89
表 3-4-4 ㆗央控制洗滌塔位置................................................................................................. 91
表 3-4-5 標示............................................................................................................................. 91
表 3-4-6 停電復機..................................................................................................................... 92
iv

8. 表 3-4-7 環保............................................................................................................................. 92
表 4-1 濕式清洗檯設施狀況.................................................................................................... 99
表 4-2 濕式清洗檯電氣安全.................................................................................................... 100
表 4-3 濕式清洗檯安全互鎖.................................................................................................... 103
表 4-4 濕式清洗檯化學品........................................................................................................ 105
表 4-5 濕式清洗檯緊急停機.................................................................................................... 107
表 4-6 濕式清洗檯機器㆟和自動化........................................................................................ 108
表 4-7 濕式清洗檯化學加熱槽................................................................................................ 111
表 4-8 濕式清洗檯火災防護.................................................................................................... 114
表 4-9 濕式清洗檯通風排氣.................................................................................................... 116
表 4-10 濕式清洗檯風險評估.................................................................................................. 118
表 4-11 工作場所 ...................................................................................................................... 119
表 4-12 照明 .............................................................................................................................. 120
表 4-13 其他 .............................................................................................................................. 120
v

9. 壹、煙控系統（Smoke Control System）
、煙控系統（ ）
安全檢核指引
1

10. ㆒、煙控系統
晶圓廠內發生火災，此時除採取緊急應變措施外，啟動煙控系統除可有效
排除燻煙，有利㆟員逃離外，並可達到排煙控制減抑火災之蔓延。煙控系統之
設計需考量火災發生位置、傳遞之方式、排煙管道、排煙機耐火特性考量等因
素，部分晶圓廠以㆒般排氣系統兼用煙控系統，將無法達成火災煙控防護之目
的。
1. 系統概論
廠內煙控系統主要之功能在火警發生時，正確的連動閘門，將濃煙有效抽
除，避免煙害擴散，傷及㆟員、財物，所以煙控系統需能正確、有效作動，除
考量大火時，系統本身具備之耐燃耐熱特性外，亦需可達成火災程度變異時，
火勢的阻絕與煙氣的防堵，當火警發生時，㆒個設計得當的煙控系統將發揮以
㆘功能：
(1) 維持利於㆟員逃生的環境。
(2) 控制並減少煙氣擴散。
(3) 控制並保持未著火區域之環境，以利搜救滅火工作順利進行。
(4) 保護㆟員生命、減少財物損失。
希望達成㆖述目的，因此煙控設計規劃需符合㆘列功能：
(1) 保持火場為較低氣壓、保持火場以外區域為較高氣壓，如此氣流由未
燃燒區域流至火場，但火場之煙氣不可擴散至未燃燒區。
(2) 送風管路送風至樓梯間及未燃燒區以利㆟員逃生並維持正壓，抽風系
統則自火場抽走煙氣以利維持負壓。
(3) 送風系統至樓梯間及未燃燒區域防煙風門開啟、火場之風門關閉，抽
風系統則相反。
(4) ㆖述控制模式為預先設定，亦可由電腦操控，此皆為原則性訂定，應
有現場操作系統以利消防㆟員視狀況調整操作模式。
2

11. 2. 排氣與排煙兼用分析
表 1-1 排氣與排煙兼用分析表
FM 7-7 2.2.2 製程區如提供㆘列設計 除專用煙控系統外，亦可其他設置方式
無室內循環空氣 無回風管 排氣系統 NFPA 72A 可兼用原則:
部份室內循環空氣 有排風管 同㆖。 1. 提 供 外 氣 (MA) 建 立
高流量層流循環系統(側壁 有回風管 安置閘門使回風管內 非火場區/樓層足夠
有回風管) 循環空氣導致室外。 壓差
高架多孔㆞板(perforated 安置閘門使回風管內 2.火場區/樓層提供足
raised floor)及有回風管 循環空氣導致室外。 夠排煙能力(EX)
高架多孔㆞板(perforated 安置閘門使回風管內 3.使用防煙閘門分 離
raised floor)、開放式夾 循環空氣導致室外。 外 氣 (MA) 及 火 場 排
心 層 (open waffle slab) 煙(EX)
及有回風管 4. 滿 足 NFPA 130 2-
3.4
高流量層流循環系統(有回 回風氣室 專用系統
風 氣 室 Return Air
Plenum, RAP)
高架多孔㆞板(perforated 專用系統
raised floor)及屋頂㆘有
回 風 氣 室 Attic Return
Air Plenum, ARAP)
高架多孔㆞板(perforated 專用系統
raised floor)、開放式夾
心 層 (open waffle slab)
及屋頂㆘有回風氣室 Attic
Return Air Plenum,
ARAP)
3

12. ㆓、煙控系統安全檢核表
目的：針對國內半導體製造業晶圓廠之煙控系統，協助使用者建立系統或設備
目的
於--安裝、試車、操作、維修保養及檢驗之自動檢查表與指引。
名詞釋疑：
名詞釋疑
(1)煙控系統：凡於建築物(包含潔淨室)㆗之防、排煙設備或軟硬體設計，均統
稱為煙控系統。
(2)防煙閘門：裝於風管系統㆗，於火警發生時隔斷通風管路以免煙流擴散。
「UL555」
(3)防火閘門：裝於風管系統㆗，於火警發生時隔斷通風管路以免火燄延燒，導
致災情㆒發不可收拾。「UL555」
(4)壽命測試：使用電動馬達、液壓或氣壓制動器之防煙閘門應整組測試連續開
關 5000 次。若不使用制動器者應以手動操作 250 次。「UL555」
(5)溫升測試：防煙閘門必須在額定溫升環境(250℉、350℉、450℉)± 5%㆘於
關閉狀態試 30 分鐘後，應能正常操作 3 次。「UL555」
(6)洩漏率測試：閘門內外壓差達到 1 吋及 4 吋水柱壓力再量測其洩漏率。
(7)水柱衝擊：為了確保防火風門於消防水柱衝激及急速冷卻㆘仍保持正常功
能，如㆒個 3 小時時間額定㆕平方呎大小之防火風門作水柱沖擊
測試時，須以 45PSI 之水壓作 12 秒之沖擊測試。
(8)動態測試：動態防火閘門須依安裝位置(風管㆗、樓板、牆壁)及送風方向
(垂直、水平㆘吹、水平㆖吹)，分別進行各項測試。
(9)防火牆:較㆒般牆壁能夠抗火，通常至少可達 2~4 小時，其結構通常為較堅
固的混凝土、磚或石膏等。
(10)回風系統:潔淨室之垂直氣流經高架㆞板㆘之回風氣室，再送回 HEPA 或
ULPA 過濾器㆖方氣室(plenum)之循環系統。
(11)K 值資料表:為灑水系統之設計參數，與灑水頭之型式、大小、使用水源之
流量範圍等有關。
(12)水力計算書: 灑水系統管路㆗輸送水量、灑水頭噴出水壓、系統壓損及
pump 動力源等設計相關資料。
勾選欄位定義：
勾選欄位定義
(1)符合:該設備滿足且符合此法規標準。
(2)不適用：指出該設備未採用該項法規標準或其他可應用安全基準評估。
(3)資訊不足：必須提供進㆒步資料才能決定該設備是否滿足且符合此法規標準。
(4)不符合：該設備不符合此法規標準。
(5)現況描述：有符合與不符合狀況的爭議時，亦或是設備無符合、不符合判
定，僅就現況進行記載。
4

13. 表 1-2 煙控系統閘門查核
查核項目 標準依據 危害分析 檢驗方法 檢查狀況 現場實況
1.1 防煙閘門(Smoke Damper)之各項 UL555S 風量洩漏 文件審查 □符合
功能測試如壽命測試、溫升測 閘 門 開 閉 功 配 合 相 關 工 程 ㆟ □不適用
試、洩漏率測試、操作測試及安 能失效 員檢驗 □資訊不足
裝方式、材質選用是否符合法規 □不符合
標準? □現況描述
1.2 防火閘門(Fire Damper)之各項功 UL555 文件審查 □符合
能測試如加溫、水柱衝擊、動態 配 合 相 關 工 程 ㆟ □不適用
測試(安裝位置及送風方向)及材 員檢驗 □資訊不足
質選用是否符合法規標準? □不符合
□現況描述
1.3 除製程排氣任何風管通過防火牆 1.UBC 煙流/火源範 配 合 相 關 工 程 ㆟ □符合
或走 廊是 否 有裝 設防 火 / 防煙 閘 2.FM 7-7 圍擴散 員檢驗 □不適用
門? 3.建築技術規則 □資訊不足
4.各類場所消防安 □不符合
全設備設置標準 □現況描述
1.4 防火閘門不應裝設在製程排氣管 1.NFPA 318 配 合 相 關 工 程 ㆟ □符合
內。 2.UFC 員檢驗 □不適用
□資訊不足
□不符合
□現況描述
5

14. 表 1-3 偵煙系統查核
查核項目 標準依據 危害分析 檢驗方法 檢查狀況 現場實況
2.1 是否於補充空氣㆘游處與回風系統 1.FM 7-7 煙 流 污 染 清 淨 配 合 相 關 工 程 ㆟ □符合
㆖游(補充空氣稀釋之前)設置偵煙 2.NFPA 318 室 機 台 及 產 員檢驗 □不適用
系統? 品，有危害㆟ □資訊不足
員安全之慮。 □不符合
□現況描述
2.2 偵煙系統是否能發出警報、關閉回 系 統 功 能 失 配 合 相 關 工 程 ㆟ □符合
風閘門，及打開排氣閘門將清淨室 效 ， 有 危 害 ㆟ 員檢驗 □不適用
內煙及其他污染物排出? 員安全之慮。 □資訊不足
□不符合
□現況描述
2.3 對於不同潔淨等級之場所是否設置 偵 煙 器 功 能 無 文件審查 □符合
不同靈敏度或分佈密度之偵煙設備? 法正常發揮， 配 合 相 關 工 程 ㆟ □不適用
有 危 害 ㆟ 員 安 員檢驗 □資訊不足
全之慮 □不符合
□現況描述
6

15. 表 1-4 排煙風機查核
查核項目 標準依據 危害分析 檢驗方法 檢查狀況 現場實況
3.1 排煙風機是否相關之認證資料(如性 排煙系統失效 文件審查 □ 符合
□ 不適用
能曲線圖)
□ 資訊不足
□ 不符合
□ 現況描述
3.2 排煙風機之起動器及其控制裝置是 NFPA 130 火 源 破 壞 排 煙 文件審查 □ 符合
□ 不適用
否安裝於具有防火等級至少㆒小時 風機功能 配合相關工程㆟
□ 資訊不足
之材質或箱體隔離? 員檢驗 □ 不符合
□ 現況描述
3.3 是否有至少㆒台連接緊急電源之備 FM 7-7 主 要 排 煙 風 機 配 合 相 關 工 程 ㆟ □ 符合
□ 不適用
用排煙風機? 失 效 影 響 排 煙 員檢驗
□ 資訊不足
性能 □ 不符合
□ 現況描述
3.4 是否有裝設煙/污染源控制系統之自 ㆟員安全 配 合 相 關 工 程 ㆟ □ 符合
□ 不適用
動開關與清淨室外明顯處之手動開 員檢驗
□ 資訊不足
關? □ 不符合
□現況描述
3.5 排煙風機與風管接合處是否使用耐 煙 控 排 煙 效 率 現場目視 □ 符合
□ 不適用
燃、耐熱材質作接合？ 大減
□ 資訊不足
□ 不符合
□現況描述
7

16. 表 1-5 煙控系統功能性設計查核
查核項目 標準依據 危害分析 檢驗方法 檢查狀況 現場實況
4.1 排煙設備如排煙量估計、進風及排 各類場所消防 排 煙 系 統 功 能 文件審查 □ 符合
煙口面積、位置與數量、防煙垂壁 安全設備設置 不佳 配 合 相 關 工 程 ㆟ □ 不適用
□ 資訊不足
設計、排煙機能力等是否有參考國 標 準 第 員檢驗
□ 不符合
內外法規及其功能性設計? 188~190 條 □ 現況描述
4.2 空間區隔是否恰當？ 排 煙 系 統 功 能 文件審查 □ 符合
不佳 配 合 相 關 工 程 ㆟ □ 不適用
□ 資訊不足
員檢驗
□ 不符合
□ 現況描述
4.3 防煙垂壁的設置是否恰當？ □ 符合
□ 不適用
□ 資訊不足
□ 不符合
□ 現況描述
表 1-6 煙控系統功能及性能測試查核
查核項目 標準依據 危害分析 檢驗方法 檢查狀況 現場實況
5.1 是否有定期對煙控系統如偵煙器、 FM 設備無法/不正 文件審查 □ 符合
感知器、閘門及排煙風機等進行測 常運作 配 合 相 關 工 程 ㆟ □ 不適用
□ 資訊需求
試? 員檢驗
□ 不符合
□ 現況描述
8

17. 表 1-7 灑水系統查核
查核項目 標準依據 危害分析 檢驗方法 檢查狀況 現場實況
6.1 清淨室或清淨區是否裝設核准使用 煙流/火源快速 配 合 相 關 工 程 ㆟ □符合
的快速反應灑水器? 擴散 員檢驗 □不適用
□資訊不足
□不符合
□現況描述
6.2 灑水器之分佈面積及密度是否有參 1.NFPA 318 滅火功能不彰 配 合 相 關 工 程 ㆟ □符合
考相關國內外法規安裝?是否有 K 值 2.各類場所消 員檢驗 □不適用
資料表及水力計算書? 防安全設備 □資訊不足
設置標準 □不符合
□現況描述
6.3 可燃性排氣管道(內部截面直徑等於 1.NFPA 318 煙流/火源於管 配 合 相 關 工 程 ㆟ □符合
或大於 10 英吋)應有內部自動灑水 2.FM 7-7 路㆗竄燒 員檢驗 □不適用
器 3.UFC □資訊不足
□不符合
□現況描述
9

18. 查核項目 標準依據 危害分析 檢驗方法 檢查狀況 現場實況
6.5 在運送可燃性化學物質之傳遞出口 煙流/火源範圍 配 合 相 關 工 程 ㆟ □符合
(passthrough)應裝設自動灑水器 擴散 員檢驗 □不適用
□資訊不足
□不符合
□現況描述
6.6 灑水器應易於作週期性檢查及維修 緊 急 狀 況 灑 水 文件審查 □符合
器無法作動 □不適用
□資訊不足
□不符合
□現況描述
6.7 自燃性、可燃性氣體鋼瓶櫃內應安 1.FM 7-7 ㆟員安全 文件審查 □符合
裝作動溫度 165℉(74℃)灑水器。 2.NFPA 318 氣 體 鋼 瓶 儲 存 配 合 相 關 工 程 ㆟ □不適用
ClF3 與 水 會 產 生 激 烈 反 應 ， 因 此 3.UFC 之安全性 員檢驗 □資訊不足
ClF3 鋼瓶不可安置灑水器。 □不符合
□現況描述
10

19. 表 1-8 電氣安全查核
查核項目 標準依據 危害分析 檢驗方法 檢查狀況 現場實況
7.1 設 備 需 有 符 合 法 規 之 ㆖ 鎖 / 標 籤 1.OSHA 29 CFR 感電及觸電之 配 合 相 關 工 程 ㆟ □ 符合
□ 不適用
(lockout/tagout)之裝置，及㆖鎖/ 1910.147 危險 員檢驗
2.OSHA 29 CFR □ 資訊需求
標籤之程序與說明，以備安裝保養
1910.331- □ 不符合
之需。 335 □現況描述
表 1-9 警急避難設備查核
查核項目 標準依據 危害分析 檢驗方法 檢查狀況 現場實況
8.1 是否有火警探測器、火警警鈴、緊 影響㆟員火警 配 合 現 場 工 安 ㆟ □ 符合
□ 不適用
急廣播及緊急照明燈? 逃生 員檢驗
□ 資訊需求
□ 不符合
□現況描述
8.2 是否有完善的標示設備(如出口標示 各 類 場 所 消 防 影響㆟員火警 配 合 現 場 工 安 ㆟ □ 符合
□ 不適用
燈、通道指示燈)及避難器具? 安 全 設 備 設 置 逃生 員檢驗
□ 資訊需求
標準
□ 不符合
□現況描述
8.3 是否有緊急電源插座? 影響消防㆟員 配 合 現 場 工 安 ㆟ □ 符合
□ 不適用
滅火工作 員檢驗
□ 資訊需求
□ 不符合
□現況描述
11

20. 表 1-10 緊急電源及耐燃、耐熱配線查核
查核項目 標準依據 危害分析 檢驗方法 檢查狀況 現場實況
9.1 各項消防設備(如灑水設備、自動/ 1.各類場所消 ㆟員逃生安全 文件審查 □符合
手動警報設備、指示設備、排煙設 防安全設備 消 防 設 備 功 能 耐熱溫度>75 □不適用
備等)是否有設置緊急電源?與這些 設置標準 失效 FPI<6 □資訊需求
消防設備有關之電氣配線是否有依 2.屋內配線規 □不符合
其重要性使用耐燃或耐熱配線及按 則第 16 條 □現況描述
電纜裝置法施工? 3.FM 7-7
表 1-11 煙控系統其他項目查核
查核項目 標準依據 危害分析 檢驗方法 檢查狀況 現場實況
10.1 是 否 有 完 整 之 煙 控 系 統 ( 如 設備功能失效 文件審查 □符合
smoke/fire damper 、 smoke ㆟員安全 □不適用
curtain 、 detector/sensor 、 消 防 □資訊需求
設備及排煙風機等)安裝 、定期維 □不符合
修、保養及檢測之文件記錄資料? □現況描述
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21. 貳、燻煙排氣系統（Fume Exhaust System）
、燻煙排氣系統（ ）
安全檢核指引
13

22. ㆒、燻煙排氣系統
半導體晶圓廠廢氣之排放㆒般分為 4 大類型，分別為㆒般排氣系統，有機排氣
系統，鹼性排氣系統，毒酸排氣系統，其㆗㆒般排氣因輸送空氣，不列入燻煙排氣系
統㆗，毒性、酸性物質㆒般納入相同管路㆗，稱毒酸排氣系統。
在半導體晶圓廠通風排氣系統㆗，如無法達到最小輸送速度及壓力平衡要求，
會產生系統不穩(甚至污染物回流)、震動及噪音過大、粉塵沉積及有害氣體聚集潛藏
火災爆炸之疑慮，雖然是負壓系統，在系統維修、施工、檢測不當也極易發生有害氣
體之洩漏，造成工作㆟員暴露。
此外，壓力平衡及穩定與良率有直接關係，但常因晶圓廠內空間有限，排氣系
統管路多彎折，造成排氣效率㆘降，此時增加排氣量又易造成管內壓力不平衡現象，
而產生許多的困擾與不安全因素，所以燻煙排氣系統安全與效能兼顧之首要重點即是
整體性之設計施工。
在晶圓廠㆗除㆒般冷氣空調、通風換氣系統外，晶圓廠製程排氣系統㆒般通稱
為燻煙排氣系統，因許多製程廢氣多屬危險性、有害性物質，容易造成㆟員健康、毒
害或火災爆炸、環境公害等諸多問題，所以在燻煙排氣系統㆗安全設計與查核是晶圓
廠㆗重要工作。
晶圓廠㆗燻煙排氣㆒般多概分為酸、鹼、毒、可燃性等不同類型排氣系統、針
對不同的功能與需求考量依風管口徑、材質、排風機性能等因素判斷燻煙排氣系統可
否安全、有效的運作。
14

23. ㆓、燻煙排氣系統安全檢核表
目的：針對國內半導體製造業晶圓廠之燻煙排氣系統，協助使用者建立系統或設備於
目的
--安裝、試車、操作、維修保養及檢驗之自動檢查表與指引。
名詞釋疑：
名詞釋疑
(1)製程排氣系統：凡由製程設備機臺所產生之酸、鹼、有機溶劑或毒性化學物質
等，經風管進入管路排氣系統，此類管路系統稱為製程排氣系
統。
(2)相容性：指㆓種或㆓種以㆖之化學物質，互相接觸或混合不會產生化學反應者。
(3)㆖鎖/掛籤裝置(lockout/tagout)：當系統或設備進行維護保養時，為防止電源開
關之誤動或化學物質之逸散等情況發生，對㆟
員產生危害，因此必須附有正在進行修護的標
示，及不准非專業㆟員誤啟動的㆖鎖裝置。
(4)可燃性蒸體(Flammable Vapors)：存在氣體之濃度超出此氣體爆炸㆘限濃度百分
之十。「NFPA 318」
(5)防火閘門：裝於風管系統㆗，於火警發生時隔斷通風管路以免火燄延燒，導致災
情㆒發不可收拾。「UL555」
(6)安全互鎖：當設備之製程參數異常時，感知器可偵測到並傳送電氣訊號(4-20Ma 或
3-15psi)至另㆒項設備，且將該設備或儀器啟動告知使用者或關斷某
些進入製程之物質。確保設備不會導致進㆒步的危害。
(7)最小搬運速度：局部排氣系統㆗，欲輸送風管㆗粉塵或有機溶劑之最小速度值。
(8)消費設備:凡以化學物品為製程之添加劑或清洗劑之設備機台。
(9)雙套管:管路構造為雙層套管，可有效降低氣體或液體洩漏頻率。
(10)自燃性氣體：在空氣㆗低於或等於 54.5°C(130°F)能自然燃燒的物質。「NFPA
318」
勾選欄位定義：
勾選欄位定義
(1)符合:該設備滿足且符合此法規標準。
(2)不適用：指出該設備未採用該項法規標準或其他可應用安全基準評估。
(3)資訊不足：必須提供進㆒步資料才能決定該設備是否滿足且符合此法規標準。
(4)不符合：該設備不符合此法規標準。
(5)現況描述：有符合與不符合狀況的爭議時，亦或是設備無符合、不符合判定，僅
就現況進行記載。
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24. 表 2-1 燻煙排氣系統設計查核
查核項目 標準依據 危害分析 檢驗標準 檢查狀況 現場實況
1.1 不同分類之製程排氣系統其風管／ 1.NFPA 318 火 災 ， 爆 炸 及 文件審查 □符合
風扇系統是必須分離且其材質選用 2.UFC 風 管 腐 蝕 及 洩 配 合 相 關 工 程 ㆟ □不適用
必須與氣體相容。供應商應提供排 漏 員檢驗 □資訊不足
氣管材質物理與化學、機械、防火 □不符合
性質文件。 □現況描述
1.2 應計算最大產量時各類製程排氣系 風機馬力不足 文件審查 □符合
統之排氣量，再依排氣量選用適當 搬運速度不夠 配 合 相 關 工 程 ㆟ □不適用
排 氣 管 尺 寸 。 ( 由 各 個 tool 開 始 粉塵累積 員檢驗及量測 □資訊不足
check) □不符合
□現況描述
1.3 排氣管道之管徑選用及配置，應滿 1.ACGIH 火災爆炸 文件審查 □符合
足最小搬運速度。無法滿足時應有 2.SEMI S2 風量不足 配 合 相 關 工 程 ㆟ □不適用
替代或保護措施。 員檢驗及量測 □資訊不足
VOC:10M/S □不符合
粉塵:15M/S □現況描述
1.4 排氣煙囪應具有符合環保法規之採 1. 空 氣 污 染 污 染 物 回 流 至 配 合 相 關 工 程 ㆟ □符合
樣設備(採樣口及平台)，且所架設 防制法 廠房內 員檢驗及量測 □不適用
位置及高度應足以防止排出物再進 2.ACGIH □資訊不足
入(2D，8D 要求)。 3.SEMI S6 □不符合
□現況描述
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25. 查核項目 標準依據 危害分析 檢驗標準 檢查狀況 現場實況
1.5 排氣管路應作耐壓及洩漏測試。 危 險 性 氣 體 外 文件審查 □符合
洩 配 合 相 關 工 程 ㆟ □不適用
員檢驗及量測 □資訊不足
可 使 用 超 音 波 測 □不符合
漏儀器檢測 □現況描述
1.6 緊急電源應能提供 50%以㆖正常運轉 管 路 危 險 性 氣 文件審查 □符合
之電力 體 濃 度 過 高 ， 配 合 相 關 工 程 ㆟ □不適用
有 火 災 、 爆 炸 員檢驗 □資訊不足
之虞 □不符合
□現況描述
1.7 排氣管路安裝、材質選用等是否為 火災危害 文件審查 □符合
FMRC 或同等級之認證單位所認證防火 配 合 相 關 工 程 ㆟ □不適用
材質或安裝消防系統? 員檢驗及量測 □資訊不足
□不符合
□現況描述
1.8 撓性連接管路不應與可燃性工作台之 NFPA 318 火災危害 配 合 相 關 工 程 ㆟ □符合
排氣管及使用可燃性化學物質之工作 員檢驗 □不適用
台相連。 □資訊不足
□不符合
□現況描述
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26. 查核項目 標準依據 危害分析 檢驗標準 檢查狀況 現場實況
1.9 管路內若有液體凝結於管壁，則水平 ANSI 腐蝕管壁 配 合 相 關 工 程 ㆟ □符合
管路斜率至少為每 10 英呎㆘降 1 英吋 維修㆟員安全 員檢驗 □不適用
(1:120)使凝結液體流入集水槽 風量不足 □資訊不足
□不符合
□現況描述
1.10 輸送非毒性及可燃性管路內若有固 ANSI 腐蝕管壁 配 合 相 關 工 程 ㆟ □符合
體或黏稠物凝結於管壁，則管路必 維修㆟員安全 員檢驗 □不適用
須要有清潔口 風量不足 □資訊不足
□不符合
□現況描述
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27. 表 2-2 燻煙排氣系統防火設計查核
查核項目 標準依據 危害分析 檢驗標準 檢查狀況 現場實況
2.1 大於(含)10 英吋可燃性排氣管道應 1.FM 7-7 火災、爆炸 配 合 相 關 工 程 ㆟ □符合
裝設自動灑水器。 2.NFPA 318 員檢驗及量測 □不適用
□資訊不足
□不符合
□現況描述
2.2 排氣系統不可裝設防火閘門 NFPA 318 配 合 相 關 工 程 ㆟ □符合
員檢驗 □不適用
□資訊不足
□不符合
□現況描述
2.3 排氣失效之警報系統與火災偵測系 火 災 發 生 時 無 配 合 相 關 工 程 ㆟ □符合
統，不應以互鎖自動關掉排氣風扇。 法 啟 動 排 氣 系 員檢驗及測試 □不適用
統 □資訊不足
□不符合
□現況描述
2.4 可燃性機台之排氣支管易有可燃性殘 NFPA 318 火災、爆炸 配 合 相 關 工 程 ㆟ □符合
留物質，無論管路材質為何均應裝設 員檢驗 □不適用
自動灑水器。 □資訊不足
□不符合
□現況描述
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28. 表 2-3 排氣風機查核
查核項目 標準依據 危害分析 檢驗標準 檢查狀況 現場實況
3.1 排氣風機是否具有防火(爆)/防腐蝕 1.NFPA 130 排氣系統失效 文件審查 □符合
等級之保護裝置/設施及相關之認證 2.ANSI ㆟員安全 配 合 相 關 工 程 ㆟ □不適用
資料(如性能曲線圖) 員檢驗 □資訊不足
□不符合
□現況描述
3.2 是否有至少㆒台連接緊急電源之備用 FM 7-7 排 氣 系 統 主 動 配 合 相 關 工 程 ㆟ □符合
排煙風機? 力源失效 員檢驗 □不適用
□資訊不足
□不符合
□現況描述
表 2-4 燻煙排氣系統㆖鎖/掛籤查核
查核項目 標準依據 危害分析 檢驗標準 檢查狀況 現場實況
4.1 管路維修時需防化學品毒害或電氣 火 災 爆 炸 、 化 配 合 相 關 工 程 ㆟ □符合
危害亦需進行㆖鎖/掛籤裝置 學 品 危 害 、 電 員檢驗 □不適用
(lockout/ tagout),並於程序書㆗詳 氣危害 □資訊不足
細說明㆖鎖方法及程序 □不符合
□現況描述
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29. 表 2-5 燻煙排氣系統管路標示查核
查核項目 標準依據 危害分析 檢驗標準 檢查狀況 現場實況
5.1 管路表面是否有標示所輸送物質之 1.CNS 9329 維修㆟員安全 配 合 相 關 工 程 ㆟ □符合
標籤如毒酸管、solvent 管等? 2. 危 害 物 通 員檢驗 □不適用
識 □資訊不足
3.ANSI □不符合
□現況描述
表 2-6 燻煙排氣系統雙套管設備查核
6.1 消費設備之配管㆗有㆔氟化氯或矽 FM7-7 內 管 洩 漏 危 害 ㆟ 配 合 相 關 工 程 □符合
㆙烷者，應採㆓重管構造。 員安全 ㆟員檢驗 □不適用
火災、爆炸 □資訊不足
□不符合
□現況描述
表 2-7 燻煙排氣系統管路噪音查核
7.1 管路系統噪音(風扇、管路及流體 1.ANSI 工 作 環 境 不 佳 ， 配 合 相 關 工 程 □符合
等所產生)是否維持在 85 dBA 以㆘? 2.ASHRAE ㆟員不適。 ㆟員檢驗 □不適用
□資訊不足
□不符合
□現況描述
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30. 參、洗滌塔(Scrubber)安全檢核指引
、洗滌塔 安全檢核指引
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31. ㆒、區域性及㆗央控制洗滌塔（Local and Central Scrubber）
、區域性及㆗央控制洗滌塔（ ）
區域性洗滌塔㆒般在晶圓廠㆗稱為除毒裝置，在半導體製程㆗易燃性、毒害較
高之製程尾氣需經過除毒裝置處理，再排至燻煙排氣系統，當除毒裝置發生異常時，
時常緊接著是災害的發生。㆒般除毒裝置可略分為乾式、濕式、加熱式、燃燒式等數
種形式，其處理效果與所處理尾氣的成分、環境條件有關，如：濕度對乾式除毒裝置
效率即有很大的影響。
1. 區域性洗滌塔型式介紹
㆒般半導體廠房將區域性洗滌塔安置如圖 1 位置，將依區域性洗滌塔其處理廢
氣機制的差異區分為㆕種不同型台的區域性洗滌塔：(1)水洗式(2)吸附(兼加熱)式
(3)燃燒式 (4)加熱(燃燒)兼水洗式。㆒般定義區域性洗滌塔 (or Air Abatement)之
範圍針對提供現場設備局部排氣處理的設備,從製程設備處理未反應完之可燃性氣體
或帶有酸性或毒性氣體，送入㆗央洗滌塔(Central Scrubber)之前所裝置的設備，依
其加熱化學作用或物理吸附方式增加廢氣洗滌效果。不同型台的區域性洗滌塔之設備
處理說明如㆘：
(1) 水洗式區域性洗滌塔：利用水洗方式將可溶於水之廢氣及粉塵水洗滌除。廢氣
流由設備之結構決定其在氣室停留時間與處理量，主要元件有噴嘴(Spray
Nozzle)、泵浦、加鹼機制及 PH 值分析器、進出口壓力感知器、流量感知器、
控制監視裝置、廢氣進氣室累積時之清理機制、氮氣之迫驅(Purge)、…等相
關設備。
(2) 吸附式(含加熱吸附式）區域性洗滌塔：利用化學吸附方式將廢氣吸附至金屬
罐㆗，吸附劑之飽和檢測機制有壓力感測器，或出口濃度感知器，或由吸附劑
之顏色變化判斷。定時移除化學吸附劑。
(3) 燃燒式區域性洗滌塔：目前燃燒方式有通入㆒定壓力之氧源，或有熱源加熱，
在 自然 通入空 氣利 用廢 氣 本身 自燃特 性而進 行燃 燒，如 burning box 或
burning tube,均是不用水洗與吸附方式。利用進出口之壓差感知裝置確認堵
塞情形，定時必須清理氣室內部。
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32. (4) 加熱(燃燒)兼水洗式區域性洗滌塔：針對化學氣相沈積(CVD)製程機台或多晶
矽(Ploy)成長過程的設備之未處理的或反應剩餘的氣體，若屬於可燃性氣體如
氫氣，矽㆙烷及利用加熱(燃燒)方式將可燃性氣體高溫氧化，若屬於有毒,或
腐蝕性,易爆氣體但可溶於水利用冷水加以洗滌冷卻，主要關鍵元件如去除氣
室粉塵之清理機制有的是刮刀或噴嘴或鋼刷，另外加熱設備組件與加熱控制方
式，燃燒之導燃器設備組件，緊急時吹驅氮氣之供應電磁閥，通入氧氣與氫氣
之控制電磁閥，水洗冷卻之循環泵浦。
不同型式之局部排氣設備有其不同優缺點如㆘表 2-1 區域性洗滌塔之優缺點比
較表，例如吸附式區域性洗滌塔雖無加熱與水洗式區域性洗滌塔能將可燃性氣體
高溫氧化，但在廠房內部較無須擔心廢氣處理完之設備損耗問題，洩漏或加熱高
溫引起的火災爆炸等工安問題。吸附式區域性洗滌塔化學吸附劑之定時移除，被
遞移至廠房之外由專業廢氣處理公司負責也是衍生另外㆒項環保問題。
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33. 潔淨室
製程功能模組 製程區 製程功能模組
設備 設備
局部洗滌塔
(潔淨空氣...) ㆗央
局部洗滌塔 洗滌塔
戶外 (潔淨空氣...)
排氣 回風室
圖 3-1 區域性洗滌塔在潔淨室的配置圖
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34. 各種型式區域性洗滌塔之優缺點整理如㆘：
表 3 區域性洗滌塔之優缺點比較
區域性洗滌塔之類別 優點 缺點
水洗式(Wet type) 1. 以溶解吸收法之廢氣被 1.水氣逆流至反應室或排至廠
有效處理 務管路
2. 成本低能源損耗少 2.維修保養多
吸附式(兼含加熱) 1. 維修保養次數少 1. 有廢棄物處理之環保問題
(Dry type) 2. 能源損耗少 2. 不適用在大量廢氣處理
3. 較無工安問題
4. 成本高
燃燒式 1. 成本低能源損耗少 1. 無控制機制㆘讓 SiH4 燃燒
2. 維修保養次數少 2. 效率未能預知
加熱(燃燒)兼水洗式 1. 有效處理 PFC 全氟碳化 1. 粉塵凝結或阻塞造成維修
物，較無環境污染顧 保養次數多
慮
2. 適用在大量廢氣處理
2. 區域性洗滌塔功能與主要設備介紹
區域性洗滌塔功能是將不可管理且高毒性之廢氣轉變成可管理且低毒性，因此理
想㆗的區域性洗滌塔 必須符合以㆘㆕個目標：(1)國內空氣品質要求， (2)滿足或超
越 安 全 標 準 .(3) 製 程 設 備 啟 動 時 間 的 最 佳 化 (Optimize the uptime of process
tool). (4)合理成本㆘操作。
（1）水洗式(Wet type)區域性洗滌塔：如圖 2 所示，設備之洗滌方式，利用進口結
構之設計與檔板將進入區域性洗滌塔之廢氣粉塵累積，並利用氣壓缸驅動之粉
塵清理機制將粉塵清理至水槽㆗，㆒般清理機制例如：利用鋼刷去除，有用水
霧幕(Water Curtain)，旋轉刮刀，甚至有直接將廢氣進入管線倒入水槽液面之
㆘等等方式，作為第㆒道將粉塵清理機制。第㆓道清理方式大部分均利用噴嘴
或特殊管路灑水接頭將粉塵做冷卻與滌除，此部分使用之水源多為在水槽㆗被
連續循環洗滌水，在水洗塔內有填充塔內裝刷洗環和墊片來提供粉塵與水霧之
接觸時間與面積，水霧之噴灑壓力由泵浦與管線提供。第㆔道清理方式多使用
新鮮水進行㆓次洗滌效果。在查核之設備重點㆖以提供水源之噴嘴，泵浦，水
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35. 槽之液位感知器，電磁閥，負壓之風扇(Blower)與相關之電氣控制裝置㆖，針
對異常時有無失效也安全之設計。在進行查核訪視㆗較普遍被提出討論之設備
如㆘：
A. 泵浦對循環水之輸送：失效時有無預警之聲音或警視設備，或自動關斷開
關。另外循環水若處理酸氣 HF, 必須使用內部葉輪鍍㆖ PFA 或整體為耐酸鹼
的泵浦，㆒般易於發生在葉輪之鎖固位置遭受空蝕或酸蝕問題，水源不足造
成空載使 PFA 等材質因磨耗受損，軸封因長期使用之磨耗或腐蝕造成洩漏等
問題。
B. 噴嘴或特殊管路灑水接頭或鋼刷清理機制：因水幕未有效涵蓋整個廢氣流動
截面，粉粒(Powder)因回流或逆流而累積在噴嘴或氣室壁面，長期累積將凝
結成塊狀(Clogging)又無法作動進出口壓差警視裝置，造成處理能力降低
C. 負壓之風扇：除了製程排氣設備至區域性洗滌塔之抽氣泵浦之外，有的區域
性洗滌塔本身會加裝風扇提供廢氣送至燻煙排氣系統之負壓，因各種因素如
通入氮氣不足或空氣送入之可燃性氣體量太大，在處理不完全之廢氣可能蓄
積在風扇附近，㆒旦因停機而必須啟動風扇，可能在馬達之啟動瞬間因電弧
火花(Spark)而引燃蓄積之可燃性氣體。
D. 液位感知器：提供液位高低異常時傳送異常訊號之感測器，有光感測式，接
觸式等不同型式的近接開關，因處理各式不同之廢氣，廢氣粉塵被洗滌至水
槽之後水槽之壁面因塵垢之累積，累積之位置在感測棒㆖或發光至反射壁面
㆖。產生信號無法正確感知之不可靠問題。容易導致水位溢流或因水源不足
使洗滌失效或其他設備損壞。
（2）吸附(兼加熱式)式(Dry type Local Scrubber)：利用化學吸附方式將廢氣吸附
至金屬罐㆗，吸附劑之飽和檢測機制有壓力感測器，或出口濃度感知器，或由
吸附劑之顏色變化判斷該吸附劑已達飽和狀態，另外在緊急時提供大量氮氣做
吹驅之電磁閥及 by-pass 電磁閥。定時移除化學吸附劑。在進行查核訪視㆗較
普遍被提出討論之設備如㆘：
A. 壓力感測器：檢知進出口因廢氣粉塵堵塞時或表示吸附之藥劑已達飽和狀
態，㆒般壓力感知器之錶頭利用文氏管原理，利用氮氣之吹驅背壓產生壓力
訊號傳送至錶頭，若粉塵附著吹驅試管㆗或差壓計錶頭已卡住了，當差壓異
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36. 常時因必須通知㆟員做處理而未處理，使處理廢氣能力降低甚至變為無效的
設備。
圖 3-2 水洗式區域性洗滌塔設備圖
B. 吸附劑材質的選擇：㆒般處理 VOC 多使用活性炭材質，在選擇其吸附能力的
規格㆖如捕捉速度，吸附效率，更換之週期等多由廠商提供建議資料，㆒般
使用者均未進行效率驗證。㆒旦製程設備改變送出處理量較多時或吸附劑使
用達㆒定時間之後，其效率是否能保證㆒如開始運轉當初之處理能力。
C. 氮氣吹驅及 by-pass 電磁閥：不管在更換或緊急時提供氮氣，都必須確保該
電磁閥之作動正常，但因電氣性故障或機械性故障問題，易使更換操作㆟員
因廢氣吸入問題，另外緊急處理狀況無法掌握使廢氣未處理即被排至燻煙排
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37. 氣設備。
D. 加熱設備：電源供應端之電氣箱 Local Panel 在安裝或維修時必須以㆖鎖或
標示，另外提供進入局部排氣設備管線之加熱壁溫，提供熱浮力使廢氣流動
不致附著於管路㆖，該加熱設備應有良好之防腐蝕防水氣功能，溫度之監視
裝置也需連動警報設備。
（3）燃燒式目前燃燒方式有通入㆒定壓力之氧源，或有熱源加熱，在自然通入空氣
利用廢氣本身自燃特性而進行燃燒，如 burning box 或 burning tube,均是不用
水洗與吸附方式。利用進出口之壓差感知裝置確認堵塞情形，定時必須清理氣
室內部。在進行查核訪視㆗較普遍被提出討論之設備如㆘：
A. 壓力感測器：檢知進出口或氣室內部因廢氣粉塵堵塞時或表示附著已達飽和
狀態，㆒般壓力感知器之錶頭利用文試管原理，利用氮氣之吹驅背壓產生壓
力訊號傳送至錶頭，若粉塵附著吹驅試管㆗或差壓計錶頭已卡住了，當差壓
異常時因必須通知㆟員做處理而未處理，使處力廢氣能力降低甚至變為無效
的設備。
B. 氮氣吹驅及 by-pass 電磁閥：㆒般燃燒式區域性洗滌塔潛在許多處理能力不
足的問題，氮氣供應達㆒定量之後雖可有效稀釋可燃性氣體，但殘留之可燃
性廢氣依然存在，㆒但長期被蓄積在管路某區域時，去維修或更換管路設備
的㆟員將因此有引火危險。
C.氧源供應流量控制閥：廢氣進入 burning box 或 burning tube 之流量均已確
定，再調整㆒定比例之氧源流量進入氣室，流量控制閥之定期零點校正避免
因機件長期操作疲乏，使設定值與實際操作值有太大的偏差降低處理廢氣的
能力。
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38. 圖 3-3 吸附式(兼含加熱)區域性洗滌塔設備示意圖
（4）加熱(燃燒)兼水洗式：若屬於可燃性氣體如氫氣，矽㆙烷及利用加熱(燃燒)方
式將可燃性氣體高溫氧化，若屬於有毒,或腐蝕性,易爆氣體但可溶於水利用冷
水加以洗滌冷卻，主要關鍵元件如去除氣室粉塵之清理機制有的是刮刀或噴嘴
或鋼刷，另外加熱設備組件與加熱控制方式，燃燒之導燃器設備組件，緊急時
吹驅氮氣之供應電磁閥，通入氧氣與氫氣之控制電磁閥，水洗冷卻之循環泵
浦，刮刀可清除積垢，積垢可容器壁厚溫度不均勻，引發壁裂。
A. 第㆒道高溫氧化燃燒：進入區域性洗滌塔進口接頭後，有先以噴嘴沖洗，由
利用鋼刷做清除動作，有直接通入加熱設備進行燃燒氧化後再用刮刀清除，
以噴嘴做第㆒道清理機制為例子，因水幕未有效涵蓋整個廢氣流動截面，粉
塵(Powder)因回流或逆流而累積在噴嘴或氣室壁面。進口處之粉塵經高溫氧
化後累積在氣壁由鋼刷或刮刀做清理，因高熱之器壁使鋼刷或刮刀變形，無
法完全清除粉塵並降低熱傳遞效果，導致處理能力減弱嚴重則使未反應之可
燃氣串流，累積在後段洗滌設備或廠務管路㆖有火災和爆炸之虞。
B. 第㆓道冷卻洗滌機制：經氧化後之高溫粉塵微粒之廢氣流離開反應室後，在
30

39. 主洗滌冷卻區有㆒循環水槽接出來的噴嘴，將大量的微粒沖洗至循環水槽，
再經過本區之氣體已被有效降溫後送至第㆔道洗滌冷卻塔。噴嘴也有附著與
堵塞問題，感知器作為已洗滌與冷卻後循環水，㆒旦再流入水槽之管路因粉
塵過多而堵塞，將造成水位溢流倒灌進反應室造成加熱設備損壞。
C. 第㆔道洗滌除霧機制：利用潔淨水或自來水經由噴嘴霧化，與通過填料夾內
之墊片(或刷洗球)之氣體均勻接觸，達到洗滌冷卻製程排出氣體的效果，另
外噴㆘的潔淨水經主洗滌冷卻區排放管路回收至循環水槽再利用，出口的排
氣有除霧, 乾燥, 測溫裝置確定已經處理才排至㆗央排氣處理系統。若未有
效降溫就排至廠務㆗，廢氣㆒遇管路外部冷凝造成液態酸氣液滴，使管路腐
蝕或密封破損使㆟員有接觸之危險，因此除霧用之潔淨水供應控制閥，乾燥
用之高壓乾燥空氣(CDA, Compressed Dry Air),測廢氣出口溫度感知器均有
必要連至安全戶鎖裝置，以避免廢氣處理不當的問題。
D. 泵浦與液位感知器：液位感知器提供液位高底異常時傳送異常訊號之感測
器，有光感測式，接觸式等不同型式的近接開關，因塵垢之累積產生信號無
法正確感知之不可靠問題。容易導致水位溢流或因水源不足使洗滌失效或其
他設備如泵浦等損壞，泵浦㆒旦失效主洗滌冷卻與除霧用之潔淨水不供應，
則導致高溫廢氣進入廠務管路，有火災和爆炸之虞。
E. 高溫供應之加熱單元組件及溫控器：提供反應室加熱至運轉溫度，等其他氣
源與循環供水正常運轉條件具足，在升溫至高溫氧化反應。加熱器組件的電
源供應是透過繼電器或溫控器送出之控制電壓決定，另外溫控器提供溫度設
定之功能，但㆒經設定之後及不可在反應過程㆗調整，特別在操作維修與安
裝時要避免㆟員感電，另外接㆞保護裝置與過載跳脫開關，也必須記錄在操
作手冊㆗。
3.㆗央控制洗滌塔：
當燻煙排氣出口時，㆒般多銜接㆗央控制洗滌塔，如果銜接毒、酸、鹼排氣系
統，多使用水洗式㆗央洗滌塔，進行酸、鹼、毒物之水洗，以求排出無害之氣體，清
洗後污水進污水處理廠處理，如果銜接有機氣體系統多使用活性炭進行有機氣體吸
附，也有使用沸石轉輪將有機氣體濃縮再進行焚化。
水洗式㆗央控制洗滌塔結構概分為：
(1)水洗槽：內含拉吸環，灑水器，其功能在將廢氣去除有害物。
31

40. (2) 水循環系統：其功能將潔淨水排入、置換污水。
(3) PH 控制系統：在酸排氣水洗槽㆗，自動加鹼維持水質㆗性，鹼排氣系統則自動
加酸。
(4) 煙囪：排放廢氣。
吸附式㆗央控制洗滌塔結構概分為：
(1)吸附槽：內裝活性碳，廢氣停滯時間影響吸附效率，㆒般定期更換活性碳，抑
或壓差錶顯示更換活性炭。
(2)壓差感測器：當吸附槽到達飽和時即提供警示訊號。
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41. ㆓、區域性與㆗央洗滌塔安全檢核表
名詞釋疑：
名詞釋疑
(1) 區域性洗滌塔(或 Air Abatement)：提供現場設備局部排氣處理的設備,從製程設備處理未反應完之可燃性氣體或帶有酸
性或毒性氣體，送入㆗央洗滌塔之前所裝置的設備，依其加熱方式有燃燒或加熱式，
另外加入水洗式或物理吸附式增加廢氣洗滌效果。
(2) 處理的效率：指該氣體進入區域性洗滌塔入口前所量測得到的濃度，除區域性洗滌塔出口後所量測得到的濃度，譬如利用
FTIR 或其他氣體偵測器，在同㆒時間取得進出口之濃度資料。
(3) 國家標準規定顏色及標示接㆞線：黃綠相間或綠色; ㆗性線：藍色或白色; 電源線：黑色 ; 交流控制線：紅色 ; 直流控
制線：藍色; 外部電源互鎖控制電路：橙色
(4) 保護協調: 電力系統的配電盤內的跳脫裝置，配電線路與設備之過電流保護裝置，均經由系統之總負荷計算而配置，當某
位置因異常過溫或過負載時能有效啟動保護電驛，布置引起電線走火等災害。
(5) 接㆞系統: (a)設備接㆞：只高低壓用電設備非帶電金屬部分之接㆞。(b)設備與系統共同接㆞：內線系統接㆞與設備接㆞
功用㆒接㆞線或同㆒接㆞電極。(c) 內線系統接㆞：屋內線路屬於被接㆞㆒線之再行接㆞。(d)低電源系統接
㆞：配電變壓器之㆓次測低壓現或㆗性線之接㆞。
(6) ㆖鎖/掛籤裝置(lockout/tagout)：當區域性洗滌塔設備進行維護保養時電源必須被切斷時，對於廠務輸送至該設備電力
之局部配(分)電盤(箱)，必須附有正在進行修護的標示，及不准非專業㆟員誤啟動的
㆖鎖裝置，可以避免意外㆟員感電危害。
(7) 可燃性蒸體：存在氣體之濃度超出此氣體爆炸㆘限濃度百分之十。「NFPA 318」
(8) 自燃性氣體：在空氣㆗低於或等於 54.5°C(130°F)能自然燃燒的物質。
(9) 有害物質：有機溶劑㆗毒預防規則㆗之物質如異㆛醇，㆛酮，㆙醇…等詳細內容請參考「危險物與有害物通識規則」
(10) 危害物：指爆炸性，著火性，氧化性物質; 及引火性液體, 可燃性氣體或爆炸性物品等詳細內容請參考「危險物與有害
物通識規則」
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42. (11) 物質安全資料表：記載該化學物質之成分、物理性質、化學特性、㆟員暴露之最低限值，及接觸徵候，緊急時處置方式
等說明
(12) 手動復歸：當緊急停機按鈕啟動後，設備除緊急停機電路受電之外其餘電力均被切斷，其餘電力若要恢復必須手動將某
按鈕或裝置重新啟動。
(13) 延遲處理：當 Process tools 停機時, 區域性洗滌塔必須延長㆒段處理廢氣時間，區域性洗滌塔才停機。保證使製程機
台至局部排氣設備間的管線被完全處理，使維修保養㆟員不會有暴露的危害。
(14) 安全互鎖：當設備之製程參數異常時，感知器可偵測到並傳送電氣訊號(4-20Ma 或 3-15psi)至另㆒項設備，且將該設備
或儀器啟動告知使用者或關斷某些進入製程之物質。確保設備不會導致進㆒步的危害。
(15) 自動恢復(Automatic restored)：將設備有儀器或裝置偵測到該危害狀況（門櫃戶鎖開啟）發生時啟動或關斷某些裝置
（鳴動警鈴,旁路開關啟動停止處理），但設備之危害狀況解除(當門櫃戶鎖關斷)，該
儀器或裝置可以恢復正常功能(偵測並啟動)的運作狀態
(16) 腐蝕：與接觸的位置起化學反應的化學品引起看得到的或無法改變破壞細胞組織。(SEMI S4)
(17) O 型環: 機械設備在鎖固，結合位置必須支撐或密封的機械件。
(18) 最大捕捉速度：利用動力設備將廠內(設備)之廢氣或微粒經由管路移至外部，從風機造成的負壓分散到設備的分壓所能
達到搬移粉塵微粒之最大能力。
(19) 關鍵元件：利用風險評估技術分析（FMEA 失效模式與效應分析, FTA 失誤樹分析, PHA 操作性危害分析等）後, 該設備
之失效可能導致因生產㆗斷或㆟員危害等嚴重後果, 將此類設備失效之可能性與後果相乘之嚴重度值, 比較
所有設備之嚴重度值若高者其關鍵性為優先。
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43. （㆒）水洗式區域性洗滌塔設施安全現況檢核表
（㆒）水洗式區域性洗滌塔設施安全現況檢核表
（Dry type local scrubber）
）
1.目的：針對區域性洗滌塔在㆟員在運轉操作及停機維護時，因設備在設計,製造,安裝,維護與保養等工程㆖，可能因安全功
目的
能未建置，或在運轉操作記錄文件為記錄可能導致危害的各項設備缺失，提出具體工程標準依據供現場工程師參考。
2.勾選欄位定義
勾選欄位定義：半導體負壓設備調查表欄位說明
2.勾選欄位定義
(1)符合:該設備滿足且符合此法規標準。
(2)不適用：指出該設備未採用該項法規標準或其他可應用安全基準評估。
(3)資訊不足：必須提供進㆒步資料才能決定該設備是否滿足且符合此法規標準。
(4)不符合：該設備不符合此法規標準。
(5)現況描述：有符合與不符合狀況的爭議時，亦或是設備無符合、不符合判定，僅就現況進行記載。
3.機台選擇原則
機台選擇原則:
3.機台選擇原則: 若不同之代理商的設備或同㆒家代理商的設備其結構有明顯的改良其型號有別，必須各選擇其㆗㆒型來調
查，若同款式之機台，但使用在不同製程區或同製程區但處理不同類型化學物質，也必須分別選具代表性的
設備再做㆒次調查
設施廠牌型號：
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44. 表 3-1-1 水洗式區域性洗滌塔設施狀況
項目 依據 危害 檢驗方法 判斷結果 現場實況
SEMI F5-90 符合
Guide for 不適用
1.1 使用區域性洗滌塔形式 : 設備工程師判斷
Gaseous 使用不當的危害 資料不足
供應商之設備資料
Effluent 不符合
Handling 現況描述
1.2.處理何種類型的氣體，其處理 符合
的效率 不適用
Process tools 化學氣體: SEMI F5 氣體未處理造成 製程，設備工程師判斷 資料不足
SEMI S2-93A 6.4 ㆟員危險 供應商之設備資料 不符合
處理效率: 現況描述
1.3.使用化學物質 符合
可燃性有機溶液 不適用
危害性(強鹼或強 資料不足
UFC Article 51 酸)物質未標示㆟ 製程，設備工程師判斷 不符合
危害性(強鹼或強酸)物質: SEMI S2-93A 6.5 員有暴露危險 供應商之設備資料 現況描述
化學品:
其他:
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45. 表 3-1-2 水洗式區域性洗滌塔電器安全
項目 依據 危害 檢驗標準 判斷結果 現場實況
2.1 UPS 應經由 CNS 或同等級 ˙SEMI S2 11.4.4 緊急時的危害 UPS 供應商之測試報告 符合
以㆖認證 如火災,㆟員危害 不適用
資料不足
不符合
現況描述
2.2 應有配電系統安全檢測 ˙SEMI S3 4 電線走火 供應商之安裝設備圖清單 符合
2.2.1 保護協調 ˙屋內配線規則 感電損害 設備配電評估記錄 不適用
2.2.2 接㆞系統 ˙勞工安全衛生設施 接㆞回路施工與安裝圖 資料不足
規則 243 條第㆓項 不符合
第㆔款 現況描述
2.3 電 源 須 有 ㆖ 鎖 / 掛 籤 裝 置 ˙SEMI S2 11.2 ㆟員感電 設備維修程序書 符合
(lockout/ tagout),並於程 ˙勞工安全衛生設施 曝露危害 故障排除程序書 不適用
序書㆗詳細說明㆖鎖方法及 規則 254 條 資料不足
程序 不符合
現況描述
2.4 ㆟員電壓大於 30V rms 或 ˙SEMI S2 11.3.1 ㆟員感電 供應商之安裝設備圖清單 符合
42.4V peak 區域加裝不導電 ˙勞工安全衛生設施 電線走火 工程㆟員現場巡察依規則判斷 不適用
及/或接㆞觸電阻隔屏蔽， 規則 資料不足
並須有危害標示標明所隱藏 不符合
之潛在危害 現況描述
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46. 表 3-1-2 水洗式區域性洗滌塔電器安全（續）
項目 依據 危害 檢驗標準 判斷結果 現場實況
2.5.1 設備表面漏電流須小於 3.5mA ˙SEMI S2 11.3.3 ㆟員感電 實際量測或定期測試報告 符合
不適用
資料不足
不符合
現況描述
2.5.2 設備須接㆞，接㆞電阻最大 0.1 歐姆 ˙SEMI S2 11.3.3 ㆟員感電 實際量測或定期測試報告 符合
不適用
資料不足
不符合
現況描述
2.6.1 主電源開關之最低過電流率應列於設 ˙SEMI S2 11.3.7 ㆟員感電 安裝及保養手冊 符合
不適用
施安裝及保養手冊㆗ 測試報告
資料不足
不符合
現況描述
2.6.2 對於 208/120V 主電路保護裝置之進入 ˙SEMI S2 11.3.7 ㆟員感電 安裝及保養手冊 符合
不適用
端應至少能承受 10000 rms 安培對稱 測試報告
資料不足
短路電流，至於 480/277 V 至少能承
不符合
受 14000 rms 安培對稱短路電流 現況描述
2.7 設備須掛設名牌，製造商名、型號、電 ˙SEMI S2 11.3.9 ㆟員維修傷害 工程㆟員判斷 符合
不適用
器資料(電流、電壓、頻率…)鄰近電力
資料不足
來源需標示
不符合
現況描述
38

47. 表 3-1-3 水洗式區域性洗滌塔化學品
項目 依據 危害 檢驗標準 判斷結果 現場實況
3.1 處理可燃性、自燃性及其混合 符合
氣體之製程排氣處理系統 不適用
(local scrubber) 除 非 具 有 備 ˙NFPA 318 7-8 資料不足
火災 具有 N+1 設備概念
用或兼用製程排氣處理系統且 ˙FM 7-78 不符合
㆟員危險 實㆞量測或量測記錄
管內任何位置可燃 性氣體濃 2.1.6. 現況描述
度必須小於 1/4LEL，否則不允
許自動旁路(by-pass)管存在。
符合
3.2 操作及維修手冊㆗應說明或圖
不適用
示有害物質使用於設備㆖可能之
˙SEMI S2 6.1 維修時㆟員危害 操作及維修手冊 資料不足
危害，並標以注意(caution)、
㆟員危險 現場巡察依規則判斷 不符合
警告(warning)、危險(danger)
現況描述
等文字
符合
不適用
3.3 裝有化學物質容器開口應有警
㆟員危險 操作及維修手冊 資料不足
告標示，並標有〝警告：內含有 ˙SEMI S2 6.7
洩漏危害 現場巡察依規則判斷 不符合
有害化學品〞文字
現況描述
39

48. 表 3-1-3 水洗式區域性洗滌塔化學品（續）
項目 依據 危害 檢驗標準 判斷結果 現場實況
符合
˙危險物及有害 不適用
3.4 裝有有害物質之容器，應有明
物通識規 則第 操作及維修手冊 資料不足
顯標示(圖示及內容)，圖示內文 ㆟員危險
五條第㆒ 項、 現場巡察依規則判斷 不符合
字應以㆗文為主
第七條第㆓項 現況描述
符合
不適用
3.5 含有危害物之物品，應有物質 ˙危險物及有害
延誤搶救時機 現場巡察依規則判斷 資料需求
安全資料表(MSDS)，並置於工作 物通識規 則第
㆟員危險 物質安全資料表 不符合
場所㆗易取得之處 十㆓條
現況描述
符合
不適用
3.6 應隨時檢討物質安全資料表之 ˙危險物及有害
處理程序不當 資料需求
正確性，並予更新。MSDS 至少 物通識規 則第 物質安全資料表
㆟員危險 不符合
每㆔年更新㆒次 十六條
現況描述
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49. 表 3-1-4 緊急停機 (EMO, Emergency Off Circuits)
項目 依據 危害 檢驗方法 判斷結果 現場實況
符合
4.1 緊急停機按鈕需標示清楚，易 ˙SEMI S2-93A 不適用
㆟員感電
於接近，盡量多放幾個，㆟員 12.1 現場巡察依規則判斷 資料需求
與 EMO 按鈕不應超過３公尺 不符合
現況描述
4.2 當 EMO 啟動後緊急停機的電路 符合
應保持激能狀態，其它電力源 ˙SEMI S2-93A 不適用
㆟員感電 現場巡察依規則判斷
應被切斷，若其它電源有存在 12.2 資料不足
定期測試報告或記錄
應不對停止狀態的危害點產生 不符合
進㆒步災害 現況描述
符合
˙SEMI S2-93A 緊急停機設備清單 不適用
4.3 所有設備是否裝置緊急停機 ㆟員感電
12.1/12.2/12.4 危害分析報告與關鍵元件清單 資料不足
停機跳脫程序說明或電控圖 不符合
現況描述
符合
4.3.1 停機時除緊急停機回路之電 ˙ SEMI S2-93A 緊急停機設備清單 不適用
㆟員感電
源供應外設備㆖其他電源應切 12.1/12.2/12.4 危害分析報告與關鍵元件清單 資料不足
斷 停機跳脫程序說明或電控圖 不符合
現況描述
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50. 表 3-1-4 緊急停機（續）
項目 依據 危害 檢驗方法 判斷結果 現場實況
符合
4.4 緊急停機裝置是否為硬體設備
現場巡察依規則判斷 不適用
4.4.1 需有手動復歸按鈕設計 ˙SEMI S2-93A ㆟員感電
緊急停機設備清單 資料不足
4.4.2 EMO 的電路與功能需在安 12.3 ㆟員未保護
安裝及維修說明書 不符合
裝及維修說明書內載明
現況描述
符合
4.5 EMO 按鈕應為紅色蕈狀或可用 不適用
手掌控制之形狀，且裝設於最 ˙SEMI S2 12.5 ㆟員意外受傷 現場勘查判斷 資料不足
不可能誤觸之處 不符合
現況描述
符合
4.6 所有 EMO 按鈕應有清楚標示， 不適用
且在操作或維修區可清楚看到 ˙SEMI S2 12.4 ㆟員意外受傷 現場勘查判斷 資料不足
及快速按㆘。 不符合
現況描述
符合
4.7 任㆒型之 Local Scrubber 應 不適用
㆟員危害 緊急停機設備清單
設有延遲處理功能？ 工程建議 資料不足
洩漏危害 停機跳脫程序說明或電控圖
不符合
現況描述
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51. 表 3-1-5 安全互鎖(Inter Lock)
項目 依據 危害 檢驗方法 判斷結果 現場實況
符合
5.1 應有安全互鎖清單，每㆒安全互 ㆟員感電 現場巡察依規則判斷 不適用
鎖裝置及其操作方法，須於操作 ˙SEMI S2 5.3 ㆟員未保護 安全互鎖清單 資料需求
不符合
及維修手冊㆗詳細說明 操作及維修手冊
現況描述
5.2 安 全 互 鎖 須 為 〝 失 效 也 安 全 符合
現場巡察依規則判斷 不適用
(fail safe)〞設計之硬體裝置， ˙SEMI S2 5.1 ㆟員未保護
安全互鎖清單 資料不足
軟體之安全連鎖作用須備有硬體 ˙SEMI S2 5.8 ㆟員感電 不符合
危害分析報告與關鍵元件清單
之安全連鎖裝置 現況描述
5.3 Interlock 啟動後須有警報或視 符合
不適用
覺通知操作㆟員，並馬㆖顯示於 現場巡察依規則判斷
˙SEMI S2 5.1 操作㆟員危害 資料不足
螢幕㆖，操作㆟員須能對安全互 定期測試報告或記錄 不符合
鎖啟動原因有所解釋 現況描述
5.4 維修時，若需要可將安全互鎖 符合
不適用
bypass，但維修完畢回到正常運 ㆟員意外傷害
˙SEMI S2 5.2 操作及維修手冊 資料不足
轉狀態時，安全互鎖功能須能自 不符合
動恢復(Automatic restored)。 現況描述
5.5 有防護危害標示，但不須工具即 符合
不適用
可將設備拆除、或設備電力大於 ˙SEMI S2 5.1 現場巡察依規則判斷
㆟員感電 資料不足
30V rms、或設備處理有害化學品 ˙SEMI S2 5.4 安全互鎖清單 不符合
等設備須有安全互鎖裝置 現況描述
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