半導體薄膜及矽通孔檢測設備_廣運機械 陳智杰經理

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AOI新品發表會
半導體薄膜及矽通孔檢測設備
Thin-film & TSV Inspection for Semiconductor
廣運機械
陳智杰 經理

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產業大事
今周刊

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先進封裝檢測需求
 可攜式電子產品的成長趨勢帶動下，將更多的功能整合在更小的體積，並達到節
能、高效、成本低的IC產品是消費者所期待的，國內半導體產業亦對應投入HDI
PCB/2.5D/3D IC封裝等高值、高密度、高封裝精度產品開發。
 半 導 體 製 造 技 術 戰 略 聯 盟 Sematech (Semiconductor Manufacturing Tech-
nology)在 2011年針對3D堆疊量測的挑戰中說明產業發展所需之重要量測需求包
括Bond Module (Overlay…)、TSV Module (CD, Depth…)、Thinning Module
(Thickness…)及Micro Bump (Height…)。

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廣運機械 - EFEM
自動化
在地化
性價比

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客戶推廣
薄膜
TSV EFEM

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Reflex-VIS make measurements in-line with the process flow
半導體薄膜&TSV量測應用
Litho-
graphy
EtchCVD CMP
Thickness of
deposited films
Thickness of pre- and post
polish films
Depth of TSV

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廣運&工研院-半導體薄膜&TSV量測設備
設備前端模組薄膜&TSV量測模組
ROBOT
Pre-Aligner
Load Port
Reflex-VIS

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半導體薄膜量測設備介面整合
設備前端模組(EFEM)
控制介面
光譜反射儀分析軟體

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薄膜厚度量測結果
Thickness : 18.5176 um Thickness : 104.7430 um
Thickness : 42.5031 um
Thickness [um]
Thickness [um]
Thickness [um]

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矽通孔量測結果
Normal incidence Reflex-VIS with small aperture & low NA objective(4X) for high aspect ratio
via depth & profile measurement.

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廣運基本資料
成立時間 : 1976 7.12
RD 人數: 200 engineers
主要產品:
半導體製程設備自動化
TFT-LCD / Solar 製程設備自動化
整廠自動化系統
自動倉儲系統
無人搬運車系統
物流中心
自動堆卸棧板機系統

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Taiwan
Taipei, Juifang, Chungli, Tainan ,Kaohsiung
Japan
Vietnam
Singapore
Hong Kong
Canada
USA
Germany
Holland
England
China
Korea
Malaysia
Turkey
Suzhou,Shanghai,Kunshan
Chengtu,Chengchou,Shenzhen
廣運服務據點
: 辦公室/生產基地
: 合作夥伴

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核心技術

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智慧機器人
Electronic Industry Auto Inserting
Electronic Industry Auto Welding
Electronic Industry Auto Gluing
Wine Industry Auto
Grabbing and Palletizing
Drinks Industry Auto
Palletizing
Drinks Industry Auto Clipping
Car Industry Auto Assembling
TFT Auto Packing
產品線 – 智慧機器人

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TFT Stocker
TFT Cell Process System TFT LCM Process System
TFT AGV Station TFT Array Process System
Semiconductor EFEMTouch Panel Production
高科技產業
產品線 – 高科技產業實例

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3C Logistics
Tobacco/Wine Logistics
Books Logistics
Express Logistics
Supermarket / Retailer Logistics
Medical Logistics
Airport Logistics
Frozen Logistics
物流中心
產品線 – 物流中心實例

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能源產業
Solar Module Line
Solar Cell Line
Solar Power System
Electric Vehicle
Power BatteryCharger Station
Smart Green City
產品線 – 能源產業實例

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核心服務
OEM
ODM
自主研發
技術合作
策略聯盟

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核心優勢