SlideShare a Scribd company logo
1 of 36
Атомно-силовая микроскопия
Давление света
Исследовал пондеромоторные силы в различны системах
Высказал гипотезу о существовании пондеромоторных сил между двумя
«лучеиспускающими молекулами»
Лебедев П.Н.
Измерение сил взаимодействия
между телами
Дерягин Б.В.
Использование системы аналоговой обратной связи для поддержания расстояния
0>+
dz
df
k
Условие
равновесия
m
zf −
~
z
k
f
z <<=∆
Микроскопический подход
LJ
Maugius-Dugdale
Взаимодействие определяется суммированием
парных взаимодействий отдельных молекул
612
rr
u
βα
−= 6
r
u
β
−= 7
r
С
u −=
Макроскопический подход
Лифшиц Е.М.
Сила взаимодействия осуществляется посредством флуктуационного
электромагнитного поля и является решением уравнений Максвелла
)('')(')( ωεωεωε i+=
χε in +=
( ) ω
ξω
ωωε
π
ξε di ∫
∞
+
+=
0
22
)(''2
1)(
( )( )
( )( )
( )( )
( )( )
dx
e
xxxx
xxxx
e
xxxx
xxxx
kTN
x
c
kT
f
N
c
xkTNH
c
xkTNH
∑ ∫
∞
=
∞
⋅⋅














−
−+−−+−
++−++−
+
−
−+−−+−
++−++−






=
0 1
4
2
2
21
2
1
2
2
21
2
1
4
2
2
2
1
2
2
2
1
3
2
3
1
11
11
1
1
11
11
12

 ππ
εεεε
εεεε
εε
εε
π
π
4
H
B
f =
Кантилеверы
• Зонды для микроскопии изготавливаются из
кремния или нитрида кремния литографическими
методами.
• Острия выращиваются травлением кремния
• Проводимость и магнитные свойства зонда обычно
обеспечиваются специальными покрытиями.
Общий вид Микрофотография острия
Зонды для зондовой микроскопии
Hi’Res: Радиус кривизны острия – 1 нм
MikroMasch: www.spmtips.com
NSC11, NSC18 – традиционные
контактные кантилеверы
Дендримеры: размер изображения: 250 нм
высота 25 нм 40 нм
С.С. Шейко, Д.А. Иванов, А.М. Музафаров
Scanning Probe Microscopy
Materials science:
Superconductivity
Charge density waves
Surface reconstruction
Glass transition and
phase separation in
polymers
Bionanoscopy:
DNA/RNA
Proteins
Biomolecule’s
conformation
Bacteria cells
Viruses
Nanotechnology:
Nanolithography
Manipulations of
atoms and molecules
Оценка сил и смещений
3 мкм
20 мкм
S ~ 1 мкм2
d = 1 мкм
U = 10 В
Сила действующая между иглой и образцом:
2
2
0
2d
SU
E
x
F
ε
∝
∂
∂
−∝
Нашем случае это дает:
Н104,0~ 9−
⋅F
Или для смещения иглы:
нм3~x
F(U)
-26
-23
-20
-17
-14
-11
-8
-5
1 2 3 4 5 6 7 8
U, В
RMS,мВ
Оценка сил взаимодействия зонда с поверхностью
2
22
2 d
UCU
z
F ∝
∂
∂
−∝
Система зонд-поверхность представляется
как плоский конденсатор с параметрами:
S = 100х100 нм2
— площадь
d = 50 нм — зазор.
Сила взаимодействия составит:
Для напряжения
U = 10 В
Сила взаимодействия будет
F = 2 нН
Соответствует смещению
Z = 0,4 нм
При жесткости кантилевера
k = 5 Н/м
Сила притяжения в АСМ
Процесс подвода
Сила притяжения в АСМ
Процесс отвода
-6000 -4000 -2000 0 2000 4000 6000 8000 10000
0
50
100
150
200
Z, nm
U, mV
Сила притяжения в АСМ
Сила притяжения в РАСМ
Сила притяжения в РАСМ
Общий принцип работы зондового микроскопа
Режимы работы обратной связи:
•Режим постоянной высоты
•Режим постоянного параметра
Многомерные представления данных в СЗМ
В общем случае в СЗМ состояние зонда задают
следующие параметры:
Положение по трем координатам X, Y, Z
Сила взаимодействия с поверхностью F
Разность потенциалов между зондом и
поверхностью U
Величина протекающего тока I
Амплитуда Α, фазу ϕ и частоту f механических
колебаний зонда
Амплитуда Iac, фазу φ и частоту ω протекающего
переменной тока I(t)
Обобщая приведенные ранее идеи можно ввести
понятие о много мерном представлении
На практике используются и наглядно
визуализируются лишь представления четырех
мерные вида F(x,y,z) и «трехсполовиноймерные»
данные (F,I)(z,U) как в СРМ, основные двухмерные
I(x,y), Z(x,y) и одномерные I(U), I(z), F(z)



Ψ=
=
),,,,,(
),,,,,(
fUzyxAA
IUzyxFF ω
Использование методики сканирующей зондовой микроскопии
Проведение эксперимента
Подготовка образцов
•Нанесение образцов:
Растворы, расплавы
•Порошки
•Готовые образцы
•Биополимеры
•Живые системы
Измерения Обработка результатов
•Работа с прибором
•Работа с программой и
управление прибором
•Анализ шероховатости
поверхности
•Измерение размеров
объектов
•Измерение свойств
поверхности
•Учет артефактов
-Атомно силовая микроскопия
Обратная связь
Оптическая система
Игла
Пьезосканер
Образец
Кантилевер
-Резонансная атомно силовая
микроскопия
Обратная связь
Оптическая система
Игла
Пьезосканер
Образец
Кантилевер
~
Генератор
Сканирующая резистивная
микроскопия
Обратная связь
Оптическая система
Игла
Пьезосканер
Образец
Кантилевер
А
Амперметр
Пьезокерамика
Недостатки пьезокерамики
Нелинейность [4] Крип [4]
Наличие гистерезиса [4]
Старение [5]
[4] В.Л. Миронов, «Основы сканирующей зондовой микроскопии», 2004
[5] Aging of piezoelectric composite transducers A. Barzegar,R. Bagheri, and A. Karimi Taheri, Journal of Applied Physics, Vol. 89, No. 4, pp. 2322–
2326, 15 February 2001
Примеры гистерезиса и крипа
Как измерять поверхность?
•Сканирование осуществляется
построчно.
СЗМ
Программа
клиент
Специаль-
ное ПО
Программа
сервер
 Управление СЗМ из любой точки круглосуточно
 Получение данных многими пользователями в реальном времени
Автоматизация измерений
ФемтоСкан Онлайн
• Множество разнообразных
фильтров для СЗМ
– Линейные
– Нелинейные
– Специальные фильтры
для сканирующей
зондовой микроскопии
• Различные средства для
анализа данных
– Профили
– Гистограммы
– Фурье-анализ
– и др..
• Различные способы
получения данных
– Поддержка более 20
форматов других СЗМ
– Импорт текстовых данных
– Импорт TWAIN- и видео
источников
• Модульная структура
– Основные фильтры
– СЗМ фильтры
– ГОСТ-модуль
Программное обеспечение для сканирующей зондовой микроскопии
Рост кристаллов на поверхности
Кристаллы NaCl на слюде
Одноосные или радиальные деформации
полимеров с жестким покрытием
Рост белковых кристаллов
Каждый пик на гистограмме
распределения точек по
высоте соответствует
отдельной ступени
кристалла.
Среднее расстояние между
террассами 7,6 нм
Силовое картирование поверхности
Измерение силовых кривых
F = F (x, y, z)
Адгезия
Твердость
Деформация
Состояние контакта зонд поверхность
При сканировании на дефектах
поверхности происходит
изменение состояния контакта
системы зонд-поверхность.
Образец Образец
Влияние адсорбированного вещества
Подвод к поверхности Отвод от поверхности
Зависимость силы от расстояния F(z)
Зависимость тока от расстояния I(z)
Зависимость силы от расстояния F(z)
Зависимость тока от расстояния I(z)
Запаздывание электрического контакта относительно механического
Присутствие тока при залипании кантилевера
Подвод отвод
Амплитуда колебаний Отклонение кантилевера
Резонансные системы
Добротность кантилевера
Q ~ 10-1000
Время установления
равновесия τ
Q
1
~τ
Состояние контакта зонд поверхность
Образец Образец

More Related Content

Viewers also liked

лекция нижгма 2013_лекция 1
лекция нижгма 2013_лекция 1лекция нижгма 2013_лекция 1
лекция нижгма 2013_лекция 1nizhgma.ru
 
лекция 14 в10
лекция 14 в10лекция 14 в10
лекция 14 в10Gorelkin Petr
 
лекция по обработка данных на 27 марта
лекция по обработка данных на 27 марталекция по обработка данных на 27 марта
лекция по обработка данных на 27 мартаGorelkin Petr
 
лекция02 сзм(1)
лекция02 сзм(1)лекция02 сзм(1)
лекция02 сзм(1)Gorelkin Petr
 

Viewers also liked (8)

лекция нижгма 2013_лекция 1
лекция нижгма 2013_лекция 1лекция нижгма 2013_лекция 1
лекция нижгма 2013_лекция 1
 
лекция 07 --
лекция 07 --лекция 07 --
лекция 07 --
 
лекция 12
лекция 12лекция 12
лекция 12
 
лекция нкс
лекция нкслекция нкс
лекция нкс
 
лекция 14 в10
лекция 14 в10лекция 14 в10
лекция 14 в10
 
лекция по обработка данных на 27 марта
лекция по обработка данных на 27 марталекция по обработка данных на 27 марта
лекция по обработка данных на 27 марта
 
лекция02 сзм(1)
лекция02 сзм(1)лекция02 сзм(1)
лекция02 сзм(1)
 
Nanjing
NanjingNanjing
Nanjing
 

Similar to лекция 16 мешков

физические основы и методики стм
физические основы и методики стмфизические основы и методики стм
физические основы и методики стмYerin_Constantine
 
применение сзм в физике
применение сзм в физикеприменение сзм в физике
применение сзм в физикеYerin_Constantine
 
Метод микросейсмического мониторинга MicroseismicCSP: примеры использования
Метод микросейсмического мониторинга MicroseismicCSP: примеры использованияМетод микросейсмического мониторинга MicroseismicCSP: примеры использования
Метод микросейсмического мониторинга MicroseismicCSP: примеры использованияwsspsoft
 
физические основы и методики асм
физические основы и методики асмфизические основы и методики асм
физические основы и методики асмYerin_Constantine
 
5.методы исследования наноразмерных систем
5.методы исследования наноразмерных систем5.методы исследования наноразмерных систем
5.методы исследования наноразмерных системYerin_Constantine
 
нанофотоника. Дюделев Владислав Викторович
нанофотоника. Дюделев Владислав Викторовичнанофотоника. Дюделев Владислав Викторович
нанофотоника. Дюделев Владислав ВикторовичШкольная лига РОСНАНО
 
Лозовский_РФИ22_секция14.pptx
Лозовский_РФИ22_секция14.pptxЛозовский_РФИ22_секция14.pptx
Лозовский_РФИ22_секция14.pptxssuser4e32df
 
конструкция сзм
конструкция сзмконструкция сзм
конструкция сзмYerin_Constantine
 
2004 Белова "Моделирование систем синхронизации с использованием хаотических ...
2004 Белова "Моделирование систем синхронизации с использованием хаотических ...2004 Белова "Моделирование систем синхронизации с использованием хаотических ...
2004 Белова "Моделирование систем синхронизации с использованием хаотических ...RF-Lab
 
Программа лекционного курса «Микроскопия микро и наноструктур»
Программа лекционного курса «Микроскопия микро и наноструктур»Программа лекционного курса «Микроскопия микро и наноструктур»
Программа лекционного курса «Микроскопия микро и наноструктур»Tengiz Sharafiev
 
Радиоосвещение на основе сверхширокополосных генераторов динамического хаоса
Радиоосвещение на основе сверхширокополосных генераторов динамического хаосаРадиоосвещение на основе сверхширокополосных генераторов динамического хаоса
Радиоосвещение на основе сверхширокополосных генераторов динамического хаосаAnamezon
 

Similar to лекция 16 мешков (20)

физические основы и методики стм
физические основы и методики стмфизические основы и методики стм
физические основы и методики стм
 
Suai 18
Suai 18Suai 18
Suai 18
 
применение сзм в физике
применение сзм в физикеприменение сзм в физике
применение сзм в физике
 
Метод микросейсмического мониторинга MicroseismicCSP: примеры использования
Метод микросейсмического мониторинга MicroseismicCSP: примеры использованияМетод микросейсмического мониторинга MicroseismicCSP: примеры использования
Метод микросейсмического мониторинга MicroseismicCSP: примеры использования
 
физические основы и методики асм
физические основы и методики асмфизические основы и методики асм
физические основы и методики асм
 
5.методы исследования наноразмерных систем
5.методы исследования наноразмерных систем5.методы исследования наноразмерных систем
5.методы исследования наноразмерных систем
 
7264
72647264
7264
 
нанофотоника. Дюделев Владислав Викторович
нанофотоника. Дюделев Владислав Викторовичнанофотоника. Дюделев Владислав Викторович
нанофотоника. Дюделев Владислав Викторович
 
основы сзм
основы сзмосновы сзм
основы сзм
 
Sulimov 2009 10_30
Sulimov 2009 10_30Sulimov 2009 10_30
Sulimov 2009 10_30
 
Лозовский_РФИ22_секция14.pptx
Лозовский_РФИ22_секция14.pptxЛозовский_РФИ22_секция14.pptx
Лозовский_РФИ22_секция14.pptx
 
И.В.Яминский 3D в нанотехнологиях
И.В.Яминский   3D в нанотехнологияхИ.В.Яминский   3D в нанотехнологиях
И.В.Яминский 3D в нанотехнологиях
 
5
55
5
 
Squid2
Squid2 Squid2
Squid2
 
лекция 26
лекция 26лекция 26
лекция 26
 
конструкция сзм
конструкция сзмконструкция сзм
конструкция сзм
 
P56 61
P56 61P56 61
P56 61
 
2004 Белова "Моделирование систем синхронизации с использованием хаотических ...
2004 Белова "Моделирование систем синхронизации с использованием хаотических ...2004 Белова "Моделирование систем синхронизации с использованием хаотических ...
2004 Белова "Моделирование систем синхронизации с использованием хаотических ...
 
Программа лекционного курса «Микроскопия микро и наноструктур»
Программа лекционного курса «Микроскопия микро и наноструктур»Программа лекционного курса «Микроскопия микро и наноструктур»
Программа лекционного курса «Микроскопия микро и наноструктур»
 
Радиоосвещение на основе сверхширокополосных генераторов динамического хаоса
Радиоосвещение на основе сверхширокополосных генераторов динамического хаосаРадиоосвещение на основе сверхширокополосных генераторов динамического хаоса
Радиоосвещение на основе сверхширокополосных генераторов динамического хаоса
 

лекция 16 мешков

  • 2. Давление света Исследовал пондеромоторные силы в различны системах Высказал гипотезу о существовании пондеромоторных сил между двумя «лучеиспускающими молекулами» Лебедев П.Н.
  • 3. Измерение сил взаимодействия между телами Дерягин Б.В. Использование системы аналоговой обратной связи для поддержания расстояния 0>+ dz df k Условие равновесия m zf − ~ z k f z <<=∆
  • 4. Микроскопический подход LJ Maugius-Dugdale Взаимодействие определяется суммированием парных взаимодействий отдельных молекул 612 rr u βα −= 6 r u β −= 7 r С u −=
  • 5. Макроскопический подход Лифшиц Е.М. Сила взаимодействия осуществляется посредством флуктуационного электромагнитного поля и является решением уравнений Максвелла )('')(')( ωεωεωε i+= χε in += ( ) ω ξω ωωε π ξε di ∫ ∞ + += 0 22 )(''2 1)( ( )( ) ( )( ) ( )( ) ( )( ) dx e xxxx xxxx e xxxx xxxx kTN x c kT f N c xkTNH c xkTNH ∑ ∫ ∞ = ∞ ⋅⋅               − −+−−+− ++−++− + − −+−−+− ++−++−       = 0 1 4 2 2 21 2 1 2 2 21 2 1 4 2 2 2 1 2 2 2 1 3 2 3 1 11 11 1 1 11 11 12   ππ εεεε εεεε εε εε π π 4 H B f =
  • 6. Кантилеверы • Зонды для микроскопии изготавливаются из кремния или нитрида кремния литографическими методами. • Острия выращиваются травлением кремния • Проводимость и магнитные свойства зонда обычно обеспечиваются специальными покрытиями. Общий вид Микрофотография острия
  • 7. Зонды для зондовой микроскопии Hi’Res: Радиус кривизны острия – 1 нм MikroMasch: www.spmtips.com NSC11, NSC18 – традиционные контактные кантилеверы Дендримеры: размер изображения: 250 нм высота 25 нм 40 нм С.С. Шейко, Д.А. Иванов, А.М. Музафаров
  • 8. Scanning Probe Microscopy Materials science: Superconductivity Charge density waves Surface reconstruction Glass transition and phase separation in polymers Bionanoscopy: DNA/RNA Proteins Biomolecule’s conformation Bacteria cells Viruses Nanotechnology: Nanolithography Manipulations of atoms and molecules
  • 9. Оценка сил и смещений 3 мкм 20 мкм S ~ 1 мкм2 d = 1 мкм U = 10 В Сила действующая между иглой и образцом: 2 2 0 2d SU E x F ε ∝ ∂ ∂ −∝ Нашем случае это дает: Н104,0~ 9− ⋅F Или для смещения иглы: нм3~x F(U) -26 -23 -20 -17 -14 -11 -8 -5 1 2 3 4 5 6 7 8 U, В RMS,мВ
  • 10. Оценка сил взаимодействия зонда с поверхностью 2 22 2 d UCU z F ∝ ∂ ∂ −∝ Система зонд-поверхность представляется как плоский конденсатор с параметрами: S = 100х100 нм2 — площадь d = 50 нм — зазор. Сила взаимодействия составит: Для напряжения U = 10 В Сила взаимодействия будет F = 2 нН Соответствует смещению Z = 0,4 нм При жесткости кантилевера k = 5 Н/м
  • 11. Сила притяжения в АСМ Процесс подвода
  • 12. Сила притяжения в АСМ Процесс отвода
  • 13. -6000 -4000 -2000 0 2000 4000 6000 8000 10000 0 50 100 150 200 Z, nm U, mV Сила притяжения в АСМ
  • 16. Общий принцип работы зондового микроскопа Режимы работы обратной связи: •Режим постоянной высоты •Режим постоянного параметра
  • 17. Многомерные представления данных в СЗМ В общем случае в СЗМ состояние зонда задают следующие параметры: Положение по трем координатам X, Y, Z Сила взаимодействия с поверхностью F Разность потенциалов между зондом и поверхностью U Величина протекающего тока I Амплитуда Α, фазу ϕ и частоту f механических колебаний зонда Амплитуда Iac, фазу φ и частоту ω протекающего переменной тока I(t) Обобщая приведенные ранее идеи можно ввести понятие о много мерном представлении На практике используются и наглядно визуализируются лишь представления четырех мерные вида F(x,y,z) и «трехсполовиноймерные» данные (F,I)(z,U) как в СРМ, основные двухмерные I(x,y), Z(x,y) и одномерные I(U), I(z), F(z)    Ψ= = ),,,,,( ),,,,,( fUzyxAA IUzyxFF ω
  • 18. Использование методики сканирующей зондовой микроскопии Проведение эксперимента Подготовка образцов •Нанесение образцов: Растворы, расплавы •Порошки •Готовые образцы •Биополимеры •Живые системы Измерения Обработка результатов •Работа с прибором •Работа с программой и управление прибором •Анализ шероховатости поверхности •Измерение размеров объектов •Измерение свойств поверхности •Учет артефактов
  • 19. -Атомно силовая микроскопия Обратная связь Оптическая система Игла Пьезосканер Образец Кантилевер
  • 20. -Резонансная атомно силовая микроскопия Обратная связь Оптическая система Игла Пьезосканер Образец Кантилевер ~ Генератор
  • 21. Сканирующая резистивная микроскопия Обратная связь Оптическая система Игла Пьезосканер Образец Кантилевер А Амперметр
  • 23. Недостатки пьезокерамики Нелинейность [4] Крип [4] Наличие гистерезиса [4] Старение [5] [4] В.Л. Миронов, «Основы сканирующей зондовой микроскопии», 2004 [5] Aging of piezoelectric composite transducers A. Barzegar,R. Bagheri, and A. Karimi Taheri, Journal of Applied Physics, Vol. 89, No. 4, pp. 2322– 2326, 15 February 2001
  • 25. Как измерять поверхность? •Сканирование осуществляется построчно.
  • 26. СЗМ Программа клиент Специаль- ное ПО Программа сервер  Управление СЗМ из любой точки круглосуточно  Получение данных многими пользователями в реальном времени Автоматизация измерений
  • 27. ФемтоСкан Онлайн • Множество разнообразных фильтров для СЗМ – Линейные – Нелинейные – Специальные фильтры для сканирующей зондовой микроскопии • Различные средства для анализа данных – Профили – Гистограммы – Фурье-анализ – и др.. • Различные способы получения данных – Поддержка более 20 форматов других СЗМ – Импорт текстовых данных – Импорт TWAIN- и видео источников • Модульная структура – Основные фильтры – СЗМ фильтры – ГОСТ-модуль Программное обеспечение для сканирующей зондовой микроскопии
  • 28. Рост кристаллов на поверхности Кристаллы NaCl на слюде
  • 29. Одноосные или радиальные деформации полимеров с жестким покрытием
  • 30. Рост белковых кристаллов Каждый пик на гистограмме распределения точек по высоте соответствует отдельной ступени кристалла. Среднее расстояние между террассами 7,6 нм
  • 31. Силовое картирование поверхности Измерение силовых кривых F = F (x, y, z) Адгезия Твердость Деформация
  • 32. Состояние контакта зонд поверхность При сканировании на дефектах поверхности происходит изменение состояния контакта системы зонд-поверхность. Образец Образец
  • 33. Влияние адсорбированного вещества Подвод к поверхности Отвод от поверхности Зависимость силы от расстояния F(z) Зависимость тока от расстояния I(z) Зависимость силы от расстояния F(z) Зависимость тока от расстояния I(z) Запаздывание электрического контакта относительно механического Присутствие тока при залипании кантилевера
  • 34. Подвод отвод Амплитуда колебаний Отклонение кантилевера
  • 35. Резонансные системы Добротность кантилевера Q ~ 10-1000 Время установления равновесия τ Q 1 ~τ
  • 36. Состояние контакта зонд поверхность Образец Образец

Editor's Notes

  1. Лебедев П.Н.
  2. Обобщая приведенные ранее идеи можно ввести понятие о много мерном представлении На практике используются и наглядно визуализируются лишь представления четырех мерные вида F(x,y,z) и трехсполовиноймерные данные как в СРМ (F,I)(z,U) , основные двухмерные и одномерные I(x,y), I(U), I(z), F(z)
  3. Пример полной автоматизации измерений