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l'Evaporation thermique :technique de depot CVD

c'est un travail qui exeplique un peux le technique de depot des couches mince sur une substrat en utilisent la methode de l'evaporation thermique l'une des technique les plus utilisé. technique CVD chimical vapor dipositon.

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Réalisé par : Malak TALBI
Mohamed Amin EL-AGUECH
Sahar JEDIDI
République de la Tunisie
Université de Sousse
Institut Supérieur des Sciences Appliquées et de Technologie de Sousse
Département Génie Electrique
Année universitaire : 2016-2017
Projet :
L’évaporation thermique
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  • 1. Réalisé par : Malak TALBI Mohamed Amin EL-AGUECH Sahar JEDIDI République de la Tunisie Université de Sousse Institut Supérieur des Sciences Appliquées et de Technologie de Sousse Département Génie Electrique Année universitaire : 2016-2017 Projet : L’évaporation thermique
  • 2. Plan Introduction: L’évaporation thermique Avantages et inconvénients Quelques questions
  • 3. Les techniques de dépôts Dépôts chimiques en phases vapeur (CVD) Dépôts physiques en phases vapeur (PVD) Cible(source) Substrat Milieu
  • 4. C’est quoi un dopage ? Pourquoi on dépose ?
  • 5. C’est quoi un couche mince ? e
  • 6. L’évaporation thermique Principe: L'évaporation sous vide repose sur deux processus élémentaires : l'évaporation d'une source chauffée et la condensation à l’état solide de la matière évaporée sur le substrat.
  • 9. Cela ressemble quelque peu au procédé qui voit l'eau liquide apparaître sur le couvercle d'une casserole d'eau bouillante : l'eau liquide est évaporée et se recondense sur le couvercle qui est l'équivalent de la cible du dépôt. Exemple pour mieux comprendre la technique :
  • 10. Structure de couches minces déposées par évaporation thermique: La morphologie des films déposés par évaporation thermique est définie principalement par le rapport entre la température du substrat, Ts et la température de fusion, Tf du matériau à déposer. Ceci est illustré schématiquement par le Tableau suivant :
  • 11. Avantages et inconvénients (-) Couches minces poreuses car les atomes présentent une basse énergie cinétique (de 0,1 à 0,3eV). (-)Manque d’adhérance des couches (+) Facile à utilisé (+) Vitesse de dépôt élevée (de 1 nm/min à 10µm/min) (+) Industriellement, la technique d’évaporation est très utilisée en optique ,en décoration, pour le revêtement de substrats en feuilles (emballages ..)
  • 12. Comment peut on obtenir une structure en multicouches ? Un système à quatre sources d'évaporation (multi-creusets) Utiliser un évaporateur à un seul creuset et faire le dépôt couche par couche , et pour chaque couche en crée le vide .
  • 13. Comment peut on contrôler l’épaisseur de la couche mince déposée? Et à quoi sert le système de pompage ? Microbalance en Quartz Créer le vide afin de réduire le taux d’impureté et pour obtenir des couches minces de pureté acceptable

Notes de l'éditeur

  1. Dans le but de déposer une couche mince sur un matériau, on utilise plusieurs techniques de dépôts : -pvd -cvd Et chaque méthodes fait appel à 3 éléments essentiels : Source, substrat et milieu de réaction
  2. Une couche mince (thin film) est un revêtement dont l’épaisseur peut varier de quelques couches atomiques à une dizaine de micromètres. Ces revêtements modifient les propriétés du substrat sur lesquels ils sont déposés
  3. C’est l’équipement réel de l’évaporation, cette photo est prise lors de notre sortie au laboratoire de Borj sedria
  4. Un système à quatre sources d'évaporation.