1. DI Water Technical knowledge Sharing Class for SAET FE 超純水 专业 技術分享會 (6 th Sep, 2005 – Facility System Engineering Section) Prepared by: Anthony Chan

5. DI water is short form of “Deionized water” DI 水是“去除离子的水”的简称 Deionization is an ion exchange processes. It uses certain types of synthetic resins in the proper state and arrangements to remove most or all of the total dissolved solids (TDS), in the form of ions, from water. Water with ions taken out by ion exchange is deionized water, or ion free water. 去除离子是运用一个离子交换过程 , 它使用某种类型的合成树脂在特定的状态和安排下 , 以离子形态去除水中大部分或全部可溶解固体 。而在离子交换过程被拿走离子的水就是去除离子的水，或是无离子的水。 2. What is DI water? 什么是 DI 水？

6. 3. Water General Standard ＜ 1 200,000 金屬 , ppb ＜ 0.1 10,000~20,000 矽化物 , ppb as SiO 2 ＜ 1 8,000 溶氧 , ppb as O 2 ＜ 1 1,000~3,000 總有機碳 , ppb as TOC ＜ 0.0001 10 4 ~10 6 細菌 , con/ml ＜ 5 － 顆粒 (Pcs/ml), ≧ 0.03μm － － 顆粒 (Pcs/ml), ≧ 0.05μm － 10 4 ~10 6 顆粒 (Pcs/ml), ≧ 0.1μm ＞ 18.2 0.004 電阻 , MΩ － CM 超純水 自來水 超純水與一般自來水的比較 ( 例子是台北自來水 )

7. 3.1 DI Water Specifications (Example from Taiwan Memory Storage manufacture) 0.05 0.05 0.05 0.1 Residue (ppb) 0.05 0.05 0.05 <0.2 Sulfate (ppb) 0.02 0.02 0.05 <0.1 Nitrate (ppb) 0.02 0.02 0.05 <0.1 Bromide (ppb) 0.02 0.02 0.1 <0.1 Chloride (ppb) 0.005 0.005 <0.05 <0.05 Copper (ppb) 0.02 0.02 <0.05 <0.05 Iron (ppb) 0.02 0.02 <0.05 <0.05 Zinc (ppb) 0.02 0.05 <0.1 <0.1 Potassium (ppb) 0.01 0.05 <0.1 <0.1 Sodium (ppb) 0.05 0.05 0.05 <2 Boron (ppb) <0.5 <1 <3 <5 Silica (ppb) <3 <5 <50 <100 Dissolved Oxygen (ppb) <5/1000 <5/1000 <5/1000 <1/100 Bacteria (CFU/ml) (0.03µ) <5/ml (0.03µ) <10/ml (0.05µ) <30/ml (0.1µ) <10/ml Pacticles (no./ml) <1 <3 <10 <30 TOC (ppb) >18.1 >18.1 >18.0 >18.0 Resistivity Mohm @ 25C 0.1 0.2 - 0.3 0.4 - 0.6 0.8 - 1.0 Line Width (µ) 64 M DRAM 16 M DRAM 4 M DRAM 1 M DRAM Item

12. 5.1 超純水 生産流程 -- III 去除餘氯 (Cl 2 ) 及 嗅味 含許多雜質如礦物質、有機物、微生物、淤泥及氣體等 Active Carbon Filter 活性碳 缸 Multi Media Filter / Sand Filter 砂缸 Ｒ a w Water 自來水 去除泥土、砂石及金屬氧化物等

13. Note: Water with Ca. & Mg. is called Hard water and water without these two elements is called soft water. 去除水中二氧化碳等 去除 Ca. 及 Mg. Alkaline dosing 定量加鹼 UV Sterilizer 紫外光殺菌器 Ｓ oftener 軟水機 紫外線光滅菌 5.1 超純水 生産流程 -- IV

14. 用離子交換法進一步去除水中微量的離子：如 Na. K. Fe. HCO 3 . NO 3 . SO 4 . SiO 2 、 Silica 、 TOC 等 Reverse Osmosis 逆滲透 TOC Reducer TOC 清除器 CDI / EDI 持續去除離子器 用紫外線光分解有機物，打斷 TOC 碳鍵，釋放 OH - 及 副產物 CO 2 去除可溶解之固體 ( TDS ) ： 如 Na. K. Fe. HCO 3 . NO 3 . SO 4 . SiO 2 等 5.1 超純水 生産流程 -- V

15. 去除水中大於 0.2 µm 微粒 Final Filter 後級過濾 UV Sterilizer 紫外光殺菌器 Water Polisher 不再生混床 紫外線光殺滅餘菌 用離子交換法進一步去除水中微量的離子以及吸收前段 TOC 清除器 的副產物 CO 2 5.1 超純水 生産流程 -- VI

32. 10. DI / RO Water System for A6 為 A6 設計的 DI/RO 純水系统