Palestra realizada no dia 1 de junho de 2011 na UCS para um público de cerca de 50 pessoas, no contexto da Semana Acadêmica do CCET. Organização: Instituto Nacional de Engenharia de Superfícies e Curso de Engenharia de Materiais da UCS.
16. Eletrodo de alta tensão Linhas de campo Eletrodo aterrado Concentração de elétrons ③ Fase de formação da baínhacatódica ① Fase de Towsend Canal de descarga Carga de superfície ② Fase de ionização ou streamer ④ Fase de extinção
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24. Medidor de pressão Gerador de microondas 300W Surfaguide Sistema de aquecimento Folha de cobre TudoemQuartzo Tuboem Pyrex Fluxímetros Pressão: ~ 5 mbar N2 H2 O2 Borbulhador de APTMS Bomba de vácuo
67. XPS(X-rayphotoelectronspectroscopy) Níveis específicos de energia do elemento Raio-X Fotoelétron Energia de Ligação (eV) Raio-X Fotoelétron Intensidade XAES(X-rayexcitedAugerelectronspect.) Elétron Auger-KLL Elétron excitado pelos raios-X Energia Cinética (eV) Níveis específicos de energia do elemento
75. Contaminação de superfície: C-X Copper Limpeza+ oxidaçãodafolha de cobre: COx Cu-O-Si… Responsávelpela boa adesão com o APTMS? Óxido de Cobre Cobre
76. Cu + N2+O2 plasma Cu decapadoem 5% H2SO4 Satélite Cu2+ Intensidade (u.a.) Intensidade (u.a.) Formação de CuO Energia de ligação (eV) Energia de ligação (eV)