1. НАНОБИОТЕХНОЛОГИ
И
6

2. ЛЕКЦИЯ 6.

Методы
исследования
, анализа и
аттестации
наноструктур

3. методы и исследования
микроструктуры и
связанных с ней
макросвойств

4. Связь состава и
микросвойств
материала

5. МЕТОДЫ
Методы
Тип проходящих, рассеиваемых или испускаемых частиц,
используемых в качестве отклика
Электроны
Способ возбуждения вещества
(тип частиц,
зондиру-ющих
объектов
исследо-вания)
Фотоны
Ионы
Не
йтр
он
ы
Элек
трон
ы
Просвечивающая и
растровая
электронная
микроскопия;
спектроскопия
вторичных
электронов, спинполяризованных,
рассеянных и
потерь энергии
первичных; все
виды дифракции
электронов; Ожеспектропия
Обращенная
фотоэлектронная
спектроскопия;
спектроскопия
характеристическог
о рентгеновского
излучения
(микроанализ);
катодолюминесценц
ия
_
_
Фот
оны
Фотоэлектронная
эмиссия и
спектроскопия
фотоэлектронов;
рентгеноэлектронна
я и Ожеспектроскопия;
фотоэмиссионная
электронная
микроскопия
Рентгеновская
дифракция и
малоугловое
рассеяние;
рентгеностимулиро
ванная
флуоресценция;
оптическая
эмиссионная,
абсорбционная и
колебательная
спектрометрия;
микрорамановская
спектроскопия;
эллипсометрия;
ЭПР- и ЯМРспектроскопия

6. МЕТОДЫ
(продолжение)
Ионы
Ионно-электронная
спектроскопия
Нейтр
о
н
ы
-
Нагрев
(
ф
о
т
о
н
ы
)
Спектроскопия
термоэлектронов
-
Резерф-ордовское рассеяние; массспектрометрия
вторич-ных
ионов
-
Атомный
спектр
альны
й
анализ
Массспектрометр
ия
Нейтронное
рассе
я-ние

7. Принцип действия
АСМ-сортировщика
а)
АСМ-кантилевер б)
г)
Рис. 7.1. Принцип действия АСМ-сортировщика
в)