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- 1. i SEMI S22-0706a 半导体制造设备电气设计 安全基准 i 序 中文化、国际化用国际技术标准提升台湾产业发展 SEMI (国际半导体设备材料产业协会)从1970 年起开始推动产业国际技术标 准的制定，提供半导体与平面显示器产业的组件制造商和设备材料供货商一个交 换讯息的机制，共同讨論和制定技术规格和影响产业经济的重要标准，來克服技 术挑战、提升生产力，进而促进产业的整体发展。迄今，全球共有超过2200 位 來自半导体组件制造商和设备材料供应业者等产官学研的专家，志愿投入SEMI 产业国际技术标准制定的行列，在全球共有18 个标准委员会积极运作。从1970 年初统一晶圆尺寸、1980 年初公布影响半导体制程自动化的SECS II 通讯协议 标准，到1991 年发表环境卫生安全(EHS)标准—S2，SEMI 目前已协助产业累 积制 定了770 余条的技术标准和安全规范。
- 2. 在SEMI 的推广之下，国内制造商与设备供货商都已经采用SEMI 国际技术标 准，而为了能更贴近国人阅讀习惯，SEMI 开始着手计划标准文件中文化工作。 由于台湾是全球半导体和平面显示器产业的制造输出重镇，在环境卫生安全的议 题上更为重要。因此，SEMI 在去年积极邀请产业专家，扩大台湾安全卫生环保 (EHS)标准委员会的组织，并于12 月授权SAHTECH 进行SEMI 安全基准 (Safety Guideline)标准文件中文化翻译。 很高兴看到第一份中文化的产业国际标准文件在三个月之内诞生。非常感谢 安全卫生技术中心(SAHTECH)及SEMI 安全卫生环保标准委员们在百忙之中抽 空 进行此专案。透过中文化安全规范标准文件的推广，SEMI 希望能够提升国内半 导体与平面显示器产业相关从业人员对于安全及环境维护的知識，另一方面则希 望持续促进设备商与终端使用者的沟通，并进一步协助政府建立一套符合国内高 科技产业环境卫生安全的完整法规。 为了加快中文化的脚步，SEMI也以已计划于今年4月份进行SEMI FPD 国际 技术标准文件中文化的项目。而除了以中文化的方式推广产业标准外，SEMI更 希 望积极协助国内产业參与国际技术标准的制定。因此，我们已于去年12月成立 FPD 标准工作小组，目前更正积极筹组太阳能产业相关标准委员会。透过整合产业、 政府与学界的力量，SEMI希望能有效促进台湾半导体、平面显示器、太阳能， 以
- 4. 目前SEMI 设备安全与环保标准为全球半导体与影像显示器设 备制造商所广泛參考采用，同时众多设备用户也常将通过该标准验证 列为采购时的必要需求，只可惜多年來SEMI 设备安全标准一直只有 英文版，缺乏高质量、可信赖的中文译本以服务广大华人业者，诚是 一件憾事。 兹闻经由SEMI 授权，财团法人安全卫生技术中心(SAHTECH) 与包含本公司同仁在内的半导体与影像显示器产业界安全环保領域 专家，在工作百忙之中共同逐步完成各SEMI ESH 标准的中文翻译 工作，方便未來众多华人世界从业人员參阅并应用此一标准，进而促 进兩大产业的安全与环境维护。这个创举与本公司善尽企业社会责任 的观念一致，本人除对此次參与翻译与编审的所有人员表示钦佩之 外，也更期待兩大产业环安零事故，业绩蒸蒸日上。 谨識 台湾积体电路制造股份有限公司 资财暨风险管理组织资深副总经理 iv 序 高科技产业是台湾经济发展的命脉，因国内设备制造商能力不 足，我国高科技厂商大多是外国机台的终端使用者，任何设备潜在危 害所衍生的工安事故或生产中段，国内厂商受到的冲击是最直接的。 为因应工研院经营策略的调整，2006 年初原服务于环安中心的
- 5. 部分同仁，基于延续十余年安全技术研发能量并持续提供业界技术服 务的考量，特别成立财团法人安全卫生技术中心(以下简称本中心)。 为了汇整我国高科技产业对工安环保的需求并凝聚业界的力量，本中 心和许多业界先进成立SEMI Taiwan 安全卫生环保委员会，以促进 台湾和SEMI 北美、欧洲与日本的互动。在SEMI 3814 平面显示产 业设备安全基准制定的过程中，我们充分展现了设备终端使用者团结 的力量。 我国高科技产业持续蓬勃发展，除半导体和平面显示外，硅薄膜 太阳能电池产业也陸续建厂，制程技术不断更新，对安全技术的需求 更是殷切。 SEMI 虽早已制定设备安全基准并积极推广，但因语言的隔阂， 不同厂商甚或同一厂商不同部门对SEMI S2 的认知都不尽相同，为 避免解讀的差異，SEMI Taiwan 安全卫生环保委员会于2007 年决 议 推动SEMI 安全系列中文化的工作，期能提供华文区域高科技从业人 员一份完整的安全基准，降低人员伤害和财务损失。此外，SEMI 安 全基准亦有助于设备终端使者和制造商的沟通，有效消除或控制安全 卫生和环保潜在危害。 SEMI 安全系列中文化的工作，幸蒙高科技厂商及大型设备供应 商的鼎力支持，分别负责不同章节的翻译方得以顺利完成，在此本人 谨代表SEMI Taiwan 安全卫生环保委员会特别感谢台积电、聯电、 奇美、友达、优贝克、汉民、旺宏和勞委会勞工安全卫生研究所专家
- 6. v 的投入和辛勞。 本中文化SEMI 安全系列因作业时间仓促，疏漏之处甚多，尚祈 各界先进不吝指教为祷。 敬上 SEMI Taiwan 安全卫生环保委员会共同召集人 财团法人安全卫生技术中心董事长 vi 感谢 SEMI 安全系列中文化为用户、供货商、研究单位共同合作完成之 成果，谨代表SEMI Taiwan ESH 主席于树伟教授及许芳铭处长感谢 下 列提供协助的单位与人员： 台积电 风险管理处许芳铭处长、孙讀文经理、曾 裕德、李传德 聯电 风险管理暨安环处高庆扬处长、吴博文副 处长、李谷蘭经理 奇美 风险管理处廖海瑞处长、林永芬经理、吴
- 8. 修正或有任何建议请寄cchuang@sahtech.org；此外英文版修正时， 中文版将随即更新。 黄建彰 SEMI Taiwan FPD 设备安全委员会主席 SEMI Taiwan IC 设备安全工作小组召集人 安全卫生技术中心副总经理 ctive holders. SAHTECH 1 SEMI S22-0706a © SEMI 2003, 2006 SEMI S22-0706a 半导体制造设备的电气设计安全基准 本安全基准之技术业经全球环境、卫生与安全委员会核准。本版本由全球稽核及审查小组委员会 于2006 年8 月24 日核准出版，并于2006 年10 月于www.semi.org 发行在线版本，同年11 月发行光 盘版。本 基准原始版本于2003 年11 月发行，2006 年7 月再版。 注意：本安全基准中以「注」为标题的段落并非正式内容，不得以此修改或取代 正式的安全 基准。委员会提供批注内容系为方便本安全基准的使用。 注意：符合本基准提及「应」字的内容规定始属符合本文件之标准。符合本文件 标准不代表 亦需符合提及「可能」、「建议」、「偏好」、「推荐」或「注」及「相关资料」
- 9. 之内容规定。 注意：本文件包含经由全球环境、卫生与安全委员会投票并核准（但并非立即生 效）之内容； 该内容与生效日期列于延时修订版第1 节，其在生效日前并非本文件的官方内容。 本版本之 资料于生效日前不属于本文件的正式部分，但SEMI S22 的本文部分仍具正式效 力。本版本 的部分或所有内容得在正式生效前视情况适用，然除本文件中将以本版本修订或 更换的内容 外，所适用之条文不得与本文件其他条文抵触，并应在适用处加注說明。 1 目的 1.1 本基准系在针对半导体产业使用的生产设备提供以设计为主的整套电气安 全考量。 1.2 符合本文件规定之设计、建构与设计原则或其他可用的电气安全标准需求， 便可符合 基本的产品安全考量。 2 范围 2.1 本安全基准适用于半导体制造设备。 2.2 本文件包含以下内容： 1. 目的 2. 范围 3. 限制
- 10. 4. 參考标准 5. 词汇 6. 其他符合方法 7. 设计原理 8. 一般考量 9. 设施电气連接 10. 预防触电 11. 预防电气火灾危险 12. 聯结保护线 13. 安全电路 14. 接口控制 15. 电气箱 16. 导线与电线 17. 接线实务 SEMI S22-0706a © SEMI 2003, 2006 2 18. 电动马达186W（1/4 匹马力）或以上 19. 配件及照明 20. 标记 21. 技术文件 22. 测试 2.3 本安全基准所含之考量可用于设计预防电气及非电气危险的电气安全聯锁， 以及预防
- 11. 电气危险的非电气聯锁。 2.4 除第3 节「限制」中所排除的设备外，本文件的电气设计考量适用于所有用 來制造、 测量、组装及测试半导体产品的设备。 注1：本安全基准在半导体制造设备无适用的相关产品安全标准时最具效力。 2.5 本安全基准适用于以危险性电压或危险性电力发动的设备。 注2：本基准中的正式數值皆以国际单位制（SI）表示。下列數值并非正式數值， 仅供 參考： a) 以吋-磅（美规或英规）单位表示的數值 b) 括号内的數值 c) SI 制數值后的數值 SI 制经单位转换后的數值可能与上述數值不同。 注意：本安全基准之目的非在于讨論与使用本手册有关的所有安全议题。本安全 基准 的使用者应在使用前自行负责采取适当的安全卫生实务，并确定法令的适用性或 其他 限制。 3. 限制 3.1 若设备、组件(subassemblies)与组件(components)业经合格的测试实验室 认证并在认证 參數范围内使用，或是可符合相关国际或国内产品安全标准指定范围，则不适用
- 12. 本安 全基准。 注3：获得法律许可的标准有所不同，即使本文件范围并无特别规定，仍应将此 许可标 准纳入考量。 3.2 本安全基准之目的不包含针对任何有关爆炸性环境、危险场所及／或危险制 程原料的 需求之规定。 3.3 本安全基准不适用于整合在设施内的辅助设备，例如设施的空调设备、火灾 侦测或消 防系统，或是设施的配电系统（包含马达发电器组与变压器）。 3.4 本安全基准不包含设备效能(functional)或功能(performance)特性的设计规 范。 4. 參考标准与文件 4.1 SEMI 标准 SEMI E33 – 半导体制造设施电磁兼容性的规范 SEMI S1 – 设备安全标签的安全基准 SEMI S2 – 半导体制造设备的环境、卫生与安全基准 SEMI S3 – 高温化学药剂槽的安全基准 SEMI S8 – 半导体制造设备人体工学工程的安全基准 SEMI S10 – 风险评估与风险评量流程的安全基准 3 SEMI S22-0706a © SEMI 2003, 2006
- 13. SEMI S13 – 半导体制造设备操作与保养手册的安全基准 SEMI 14 – 评估与降低半导体制造设备火灾危险的安全基准 4.2 IEC 标准1 IEC 60112 –潮湿情况下判定固态绝缘材料相对电痕指數和耐漏电电痕指數的方 法。 IEC 60204-1 – 机器安全– 机器内的电气设备，第一部：一般需求 IEC 60417 – 设备上使用的图形符号 IEC 60529 –电气箱的保护等级 IEC 60707 – 接触火源时固态非金属材料的起火性– 测试方法清单 IEC 60950 – 信息科技设备的安全 IEC 61010-1 – 测量、控制与实验室用的电气设备安全需求– 第一部：一般需求 IEC 61346-1 – 工业系统、安装、设备与产品– 建构原则与參考编号 4.3 欧洲文件2 4.3.1 CENELEC 标准 EN 65029 – 电气箱的保护等级 EN 61508 – 电气／电子／可程序电气安全相关系统的功能性安全 4.3.2 欧洲委员会指令 89/336/EEC – 电磁兼容性指令 4.4 NFPA 标准3 NFPA 70 – 国家电气守则 NFPA 79 – 工业机械电气标准 4.5 UL 标准4
- 14. UL 508A – 工业控制面板 UL94 – 装置与电器内零件的塑料材质起火性测试 UL943 – 接地故障断路器的标准 UL2360 – 判定半导体设备建构中塑料零组件燃火特性的测试方法标准 4.6 ANSI 标准5 ANSI/FM4910 – 无尘室材料起火性测试规则 ANSI/IPC 2221 – 印刷电路板设计的原厂标准 ASNI/ISA S84.01 – 加工产业安全仪表系统的用途 4.7 ISO标准6 ISO 13849-1 – 机械安全– 控制系统的安全相关零件– 第一部：设计的一般原理 注意：除另有特别注明外，以上所有列出的文件应皆为最新版文件。 1 国际电气技术委员会。地址：3, rue de Varembé, Case Postale 131, CH-1211 Geneva 20, Switzerland。 电话：41229190211。传真：41229190300 2 欧盟。网站：http://europa.eu.int 3 国家消防保护协会。地址：1 Batterymarch Park, Quincy, MA 02269-9101。网址：http://www.nfpa.org 4 Underwriters Laboratories Inc., 333 Pfingsten Rd, Northbrook, IL 60062 5 美国国家标准局。总部地址：1819 L Street, NW, Washington DC 20036, USA。电话：2022938020。 传真：2022939287。 紐约办公室地址：11 West 42nd Street, New York, NY, 10036, USA。电话：2126424900。传真：2123980023。 网址： http://www.ansi.org 6 国际标准化组织。ISO 中央秘书处地址：1, rue de Varembé, Case postale 56, CH-1211 Geneva 20,
- 15. Switzerland。 电话：41227490111。传真：41227333430。网址：http://www.iso.ch SEMI S22-0706a © SEMI 2003, 2006 4 5 词汇 5.1 定义 5.1.1 接触– 接近或碰触的方法 5.1.2 可接触– 拥有接触权或允许接触；请參阅「接触」的定义。 5.1.3 合格的测试实验室– 由政府或规范管理机构认可专门从事零组件、装置或 系统测试的 独立机构，系依据已制订的安全标准进行评量。 5.1.4 载流容量(ampaicity) – 导线在使用条件下可持续负载的电流（以安培为单 位），此容量 不可超过绝缘体、导线及电线端子的额定温度设计极限。 5.1.5 基本隔離– 提供单层保护以防止触电。 5.1.6 聯结（聯结的）– 金属零件的永久連接点，形成导电路径以确保电流的持 续性并可安 全地传导电流。请參阅保护接地系统。 5.1.7 固紧零件(captive harware)– 在松弛却未移除的情况下可锁紧及松开其他 零件（如凸缘 铲式接线片）的螺丝或螺帽。 5.1.8 裕度距離– 兩个载流导电零件之间，或一个载流导电零件与一个連接保护 接地系统之
- 16. 导电零件之间，通过空气量测的最短距離。 5.1.9 相对电痕指數（comparative tracking index, CTI）– 依照IEC 60112 方 法A 取得的數值， 此方法可决定印刷电路板所属的材质组（Material Group）。若CTI 或材料组不 明确，则 应使用材料组IIIb。 5.1.10 导线管– 横断面为圆形或非圆形的封闭式布线系统之一部分，用來布设 电气设备内的 绝缘导线及／或缆线，且导管内部可进行拖曳或更换。 5.1.11 （机器的）控制装置– 連接控制电路的装置，可用于控制机器操作（如 定位感知器、 手动控制开关、继电器、磁控阀门等）。 5.1.12 便利插座– 设置在设备上的电源插座，在设备正常操作时不連接任何电 源装置。设备 制造商提供此插座的用意在于提供保养或维修电源。 5.1.13 电源线連接设备– 藉由挠性电源线和插头連接电源供应器的设备。 5.1.14 爬电距離(creeping distance) – 兩个载流导电零件之间，或一个载流导 电零件与一个連 接保护接地系统之导电零件之间，沿着绝缘表面量测的最短距離。 5.1.15 断电装置– 用來分離电路导线及其电源的一个或一组装置或其他方法。 5.1.16 门– 铰链式围板。 5.1.17 双重隔離– 由基本隔離搭配辅助隔離所组成。
- 17. 5.1.18 导管– 设计用來布设及保护电导线、缆线及母线的封闭式管线。导线管、 线道和地下 管线皆属于导管。 5.1.19 接地– 请參阅保护接地系统。 5.1.20 电气箱– 壁板、隔板或其他用來围住电气零组件的区域，可用來加强设 备电气零组件 的安全。 5.1.21 馈电线–（从设备观察）公用设施的电源供应线，可将电力传输送至设备。 注4：若馈电线系随设备提供，目的在供应电力给子系统，则即使是由公用设施 在电气 箱与电气箱之间接线，仍不被视为馈电线。 5.1.22 通电– 与电压源連接。 5 SEMI S22-0706a © SEMI 2003, 2006 5.1.23 设备– 用于执行操作的特定机器、仪器、制程模块或装置。并非任何产 品均适用「设 备」一词（如基板、半导体）。 5.1.24 暴露的（适用于已通电的零件）– 可能被人员不慎碰触或逾越安全距離 范围。适用于 未适当保护、隔離或绝缘的零件。 5.1.25 失效安全– 此设计可在失效发生时防止危险升高。 注5：例如，失效安全温度限制装置会在即将失效时指出温度失控。此设计虽可 能导致
- 18. 制程中断，但总比发生故障时无論实际温度为何皆指出温度在控制范围内的装置 为佳。 5.1.26 失效自趋安全设备控制系统（fail-to-safe equipment control system, FECS）– 控制电路 的安全相关可程序系统，其设计及运用能依据认可的标准來发挥安全功能，如 ISO 13849-1（EN 954-1）或IEC 61508、ANSI SP 84。这類系统（如安全可程序邏 辑控制器 (PLC)、安全相关输入／输出(I/O)模块）可诊断内部及外部的故障，并在侦测到 故障时 以受控方式产生响应，将设备回復至安全狀态。 注6：根据IEC61508-4 标准之定义，FECS 是可程序电气系统（PES）的子系 统。 5.1.27 失效– 无法继续执行预定的功能。失效是一个事件，而「故障」是一种 狀态，兩者有 所不同。 5.1.28 故障– 对象无法执行预定功能的狀态。但进行预防性保养、其他计划性 行动或是因缺 乏外部资源而无法执行所需的功能等情况，则不视为故障。 5.1.29 容错– 容错设计系为让合理可预期的单点失效不致造成不安全的条件。 5.1.30 接地故障– 电气电路接地或未接地导线与通常未载流的导线、金属外壳、 金属线槽或
- 19. 金属设备间意外发生的电气传导連接。 5.1.31 接地故障断路器（GFCI）– 保护人员安全的装置，可在接地电流超出4 到 6mA 达一定 时间时中断全部或部分电路的供电（请參阅UL 943「接地故障断路器」的详细 說明）。 5.1.32 接地– 请參阅保护接地系统。 5.1.33 危险– 造成不幸事故的先决条件。 5.1.34 危险电压– 大于30V RMS、42.4V 峰值或60VDC 的电压。 5.1.35 危险电力– 等于或大于240VA 的电力位准 5.1.36 绝缘体– 导线外层表面的一层非导电性材料，可防止触电。 5.1.37 聯锁– 可在特定情况下预防或中断设备子系统操作的机械、电气或其他 類型的装置或 系统。 5.1.38 遮断容量(interrupting capacity) – 一个装置可在额定电压下中断的最高 电流。 注7：通常亦称为电流遮断容量（AIC）。 5.1.39 隔離的电源系统– 电源系统的导线与公用设施（接至设备的）接线之间 出现高抗阻的 情形。高抗阻系指百万奥姆或更高的电阻。隔離的电源系统可由主导线和副导线 之间 没有直接电气連接的隔離变压器或电源供应器供电。 注8：若隔離变压器副导线的一个接脚接地，则不被视为隔離的电源系统。
- 20. 5.1.40 主断电装置– 阻断公用设施供电给系统的装置。 5.1.41 保养– 将设备维持在正常运作狀态的计划性活动（另请參阅「维修」的 定义）。 5.1.42 材料组– 绝缘体的相对电痕指數（CTI）分類，如下所示： �材料组I：600≦CTI �材料组II：400≦CTI＜600 �材料组IIIa：175≦CTI＜400 �材料组IIIb：100≦CTI＜175 5.1.43 最大名义负载– 电路在制造商规定的操作条件下可持续负载的最大功率。 持续时间少 SEMI S22-0706a © SEMI 2003, 2006 6 于1 秒钟的非周期性功率变动不可视为持续。 5.1.44 多插座总成件(multi-outlet assemblies) – 主要功能为提供电气連接，且 总成件上有多个 电气連接用的插座。 5.1.45 中性导线– 接地的AC 载流导线。 注9：此与保护接地不同。保护接地系指接地的无载流导线或未接地的载流导线。 5.1.46 正常操作条件– 制造商合理可预期的设备条件。在设备无未经核准之改 装的情形下， 正常条件包括使用、操作、保养以及设备在操作、保养及维修中依照制造商指示 进行 服务的特定条件。正常操作条件应将合理可预期的误用纳入考量。
- 21. 5.1.47 操作员– 与设备互动的人员，仅限执行必要的动作以让设备发挥其原本 的功能。 5.1.48 操作员进出场所– 在一般操作条件下符合下列情况的区域：无需使用工 具便可进入的 场所，且谨慎地提供操作员进入场所的方法，或是无論该场所是否需使用工具才 能进 入，操作员都须接受指示进入该场所（若操作员接受此指示，则该区域可评量为 操作 员可进入之区域）。 5.1.49 过电流– 超出设备额定电流值或导线额定载流容量的电流，可能会在超 载、短路或接 地故障时发生。 5.1.50 超载– 设备操作超出正常、全负载额定值，或导线超出额定载流容量的 情况，持续此 情况一段时间后可能导致损害或过热危险。故障（如短路或接地故障）不算是超 载（请 參阅短路及接地故障）。 5.1.51 永久連接的设备– 设备的电源連接必须使用工具才能拆卸。 5.1.52 污染– 添加任何外來物质、固体、液体或气体，而会导致介电强度降低 或使表面电阻 增加。 5.1.53 污染度— 为准确估算裕度，本文件承认下列兩种微环境中的污染度：
- 22. 5.1.53.1 污染等级1 – 无污染或仅发生干性、非传导性的污染。此污染不会造 成任何影响。 无尘室Class1000 等级或更低。 注10：Class 1000 或以下的无尘室属于1 级污染，但即使设备安装在Class 1000 或以 下的无尘室内，设备内部特定部位的污染度仍可能超过1 级污染。 5.1.53.2 污染等级2 – 一般仅发生非导电性污染，然而可预期偶尔会因污染物 聚集而导致短 暂导电。无尘室Class 1000 等级以上。 注11：Class 1000 或以上的无尘室属于2 级污染，但即使设备安装在Class 1000 以上的 无尘室内，设备内部特定部位的污染度仍可能超过2 级污染。 5.1.54 保护线– 在正常操作时不导通的导电零组件与设备保护接地线端子之间， 持续提供电 气連接的导线。 5.1.55 保护接地线– 在正常操作条件下不载流的导线，用于連接电源的接地端 与设备外壳上 的保护接地端子。 5.1.56 保护接地线端子– 为确保安全而聯结设备外壳导电零件的端子，此端子 将接至外部保 护接地线（保护接地线）。 5.1.57 保护接地系统– 接地（及聯结）系统，将设备上的可接触导电零件接至
- 23. 电源的接地端。 保护接地系统包括聯结的构件、聯结跳线、设备上的保护接地线端子，以及设备 电源 接入线的保护接地线。 7 SEMI S22-0706a © SEMI 2003, 2006 5.1.58 线槽(raceway)– 金属或非金属材质的封闭通道，设计用來包覆电线、电 缆或汇流排。 5.1.59 可随时接触– 无需攀爬、去除障碍物或使用可携式阶梯、椅子等工具便 可直接快速取 得以进行操作或检验。 5.1.60 强化隔離– 可提供与双重隔離具相同防触电效果的单层隔離。 5.1.61 风险– 预期事故将导致的损失，以严重性和机率表示。 5.1.62 安全关机条件– 所有危险能源及危险生产材料皆已移除或受到控制，且 不会再引起其 他危险的狀态。 5.1.63 安全电路– 让设备更加安全的电路。聯锁、EMO 电路以及其他保护电 路皆属于安全 电路。 5.1.64 维修– 使失效设备回復正常运作的非计划性活动。请參阅保养。 5.1.65 严重性– 由特定危险造成事故的最坏损失程度（损坏、受伤或释放）。 5.1.66 额定短路电流– 设备制造商预期设备电源电路将連接的最大可用电流。 注12：电气系统的额定短路电流通常是根据系统内零组件的额定短路电流分析
- 24. 而定。 请參阅UL 508A 了解判定额定短路电流的方法。 5.1.67 辅助隔離– 搭配基本隔離使用，以确保在基本隔離失效时能防止触电。 5.1.68 测试– 用來验证与记錄是否符合指定标准所进行的测量或观察。 5.1.69 工具– 协助人员执行机器功能的外部装置。 5.1.70 电气工作類型– 依人员执行任务时所接触的电能等级决定。须在系统上 执行的电气工 作可分为以下四种類型： 5.1.70.1 類型1 – 设备完全没有通电。 5.1.70.2 類型2 – 设备通电。经覆盖或隔離后，通电的电路无任何外露零件。 注13：類型2 的工作包括使用探测器穿过护盖或绝缘体上的开口來测量通电电 路。 5.1.70.3 類型3 – 设备通电。通电的电路外露，且可能与未隔離但已通电的零件 接触。电压 暴露值不超过30V RMS、42.4V 峰值、60DCV，且在干燥场所内不超过240Vamp。 5.1.70.4 類型4 – 设备通电。已通电的电路外露，且可能与未隔離但已通电的零 件接触。电 压暴露值超过30V RMS、42.4V 峰值、60DCV，且在干燥场所内超过240Vamp， 或是 诱发或接触到的无线电频率电流超过SEMI S2 的限制。 5.1.71 电线导轨– 将电线或电缆固定在限制路径内的机械方法。 6. 其他符合方法
- 25. 6.1 本文件之标准系根据彼此兼容的基本电气安全考量项目而制订，但不代表本 文件为半 导体制造设备用來展示符合电气安全的唯一方法。 6.2 符合其他国内或国际电气产品安全标准需求亦代表可符合本文件内容之标 准。 7 设计原理 注14：本节可为工程师提供一般设计基准，具体的设计考量将于第8-22 节中說 明。 7.1 本文件应使用于半导体制造设备的电气设计、建构与评估阶段。本安全基准 的用意在 于提供电气设计之基准，以协助设计工程师与评估人员增进设备的电气安全。 SEMI S22-0706a © SEMI 2003, 2006 8 7.2 了解一般安全基准的工程师较有可能设计出安全的设备。本节内容并非本安 全基准内 具体工程考量的替代标准，但可帮助设计人员了解基本安全基准。 7.3 触电的发生是由于电流穿过人体，1 毫安的电流便能使健康人体产生反应， 且可能因 非自主反应而导致间接事故。高电流具有较高的严重性风险。 7.4 设备在设计上应保护人员免受合理可预期之单一故障所造成的触电或电弧 闪光／爆炸 之危险。 7.5 应保护维修及保养人员免因误触电气而发生危险。
- 26. 7.6 用电线連接的移动式设备会有较高的冲击及过热危险，因为电源线拉紧时会 导致接 头、绝缘体及保护接地线受损。携带电线連接设备时，若将电线缠绕在身上，在 设备 掉落时可能会产生危险。 7.7 在高电流电源供应器或高电容电路的相位之间或相位至地面之间发生短路 时，可能会 产生电弧，或使融化的金属弹出而造成烫伤。在此情况下，即使是低电压的电路， 也 可能会造成危险。应利用足够的间隔、护板或安全聯锁來预防发生此類危险。 7.8 当超载、零组件失效、绝缘损坏、高电阻或連接松脱会导致温度失控而造成 危险时， 可利用下列一种以上的方法來降低起火风险： a) 执行所有可避免高温导致起火的步骤； b) 控制可燃性物质的位置，避开可能的火源； c) 可燃物的使用數量应有所限制； d) 必要时应使用阻隔装置，以免设备内部的火势从起火点扩散，及／或 e) 设备的防火外壳应使用适当的材质。 注15：亦可依据SEMI S14 基准來降低火灾风险。 注16：有些具有减缓火灾特性的零组件或材料可能会受特定法规限制或禁用。 7.9 设备在设计上应要预防因过高或过低零件温度所导致的伤害，并确保设备机 械性稳定
- 27. 且结构完善；应避免操作员接触尖锐边缘与尖锐点，并提供足够的保护措施或安 全聯 锁來预防危险的活动式零件。 7.10 应慎选并配置设备建构中使用的材料，藉以发挥其可靠性，而不致产生能 源危险、引 发触电或直接造成严重的火灾危险。 注17：某些电气零组件，如继电器、电解电容器、电池、焊料、阴极光管、经 处理的 底盘、日光灯与接头中的材质，均可能受特定法规限制或禁用。 8 一般考量 8.1 设备整体安全评估应纳入有关电气设计、建构及设备操作之风险的考量。此 评估应包 括故障分析，且包括但不限于触电、火灾以及零组件、子系统和系统失效的考量。 8.2 下列故障類型亦应纳入考量： a) 设备电路的故障与失效，以及 b) 与操作员、保养与维修活动相关的可能人为失误。 注18：上述類型并非完整的故障類型清单。 8.3 解决已辨識的危险并符合设备安全考量的优先级应如下所示： a) 透过设计解除危险； b) 搭配使用安全装置； c) 提供危险警告或警告讯号，以及 9 SEMI S22-0706a © SEMI 2003, 2006
- 28. d) 发展行政程序及训練（行政程序可包含使用个人保护设备）。 8.3.1 上述措施亦可混和使用。 注19：请參阅SEMI S2 了解详细信息。 8.4 电气零组件 8.4.1 当零组件与总成件失效，而导致触电、火灾或人员受伤的风险提高至无法 接受的程度 时，这些零组件与总成件应取得合格的测试实验室认证，并依照制造商规范与认 证条 件或其他相关零组件的标准來使用。此需求适用于处理危险电压或危险电力的零 组 件，或是使用在安全电路上的零组件。 注20：请參阅SEMI S2 有关可接受风险的详细信息。 8.4.2 零组件应依照第11 节之规定备有过电流保护。 8.4.3 可行时，零组件应依认证条件及制造商的指示牢固装载。 8.5 电源供应 8.5.1 设备的设计应可在連接指定电源供应器时安全地操作。 8.5.2 设备电源供应器中断供电不可导致增加火灾、触电或其他危险情况发生的 机率。 8.6 不断电系统（UPS）– 本小节适用于输出大于30 平均根伏特、42.4 尖峰 伏特、60 直流 伏特或240 伏特安培（VA）的UPS。当设备附有UPS 时，制造商随附的文件 应清楚說
- 29. 明UPS 的摆放位置与接线方法，且涵盖安装与保养說明。 8.6.1 当发生下列任一情况时，UPS 应停止供电： a) 按下紧急停止致动器（EMO 按钮），或 b) 启动设备的主断电装置。 例外：启动紧急停止（EMO）时，UPS 可能会持续供电给EMO 电路、安全相 关装置、 以及资料／警报纪錄计算机系统，如第13.3.3 节的例外条文所述。 8.6.2 UPS 除可设置在其本身的电气箱内外，亦可设置在设备的安装区域内。此 电气箱可能 是UPS 本身所提供，且可能为UPS 认证中的一部分。UPS 电路可能是由设施 的电源供 电，而非UPS 供电的设备，在此情况下，应纳入第9 节中设施主断电装置的所 有考量， 以含括供电给UPS 电路的电源。 8.6.3 UPS 应取得合格测试实验室认证。 8.6.4 UPS 电线与端子应标明「UPS 电力输出」，或是在UPS 电线可能被拔 除的每个接点上 标示類似标语。 8.7 操作环境– 电气设备应可适应原本预定使用的环境。 8.8 电磁兼容性（EMC）– 在终端使用环境中可预期之电磁干扰所引发的系统 故障不应导 致无法接受的风险。产品符合SEMI E33 或是EMC 指令（89/336/EEC）便可
- 30. 视为符合 此标准的规定。 8.9 污染物 8.9.1 电气设备应有足够的保护可防止固体与液体进入设备中，否则可能会因单 点失效或合 理可预期的操作失误而增加触电或起火的机率。 8.9.2 电气绝缘应受到保护，以避免在化学环境中退化，或是应要有能力可抵挡 置于化学环 境中所会遭受的损坏。 SEMI S22-0706a © SEMI 2003, 2006 10 8.10 離子化与非離子化輻射– 人员应受到足够的保护，以免遭受離子化与非離 子化輻射相 关的危险。符合SEMI S2 的離子化与非離子化輻射章节之规定便可验证为符合 标准。 8.11 震动、冲击与碰撞– 应提供保护，防止在设备操作产生震动、冲击与碰撞 时可能产生 的不安全后果，或是防止半导体制造、测试与组装环境中存在的類似干扰。 注21：请參阅SEMI S2 的地震章节了解更多信息。 8.12 运送与存放– 运送所需的包装应可防止湿气、震动与冲击造成的损坏，以 免影响设备 的安全性。 例外：在运送与存放时检查可能受到冲撞的系统安全相关方面，可采用安装考量
- 31. 來取 代上述8.12 节的包装规范。 8.13 搬运规定– 若在维修或保养时移动或起重子系统可能会造成伤害，即应在 系统手册内 详加规定并纪錄。请參阅SEMI S8 的详细說明。 8.14 上锁（电能隔離）– 设备的设计上应具有可上锁式能源隔離装置，以在执 行维修与保 养任务时提供安全性。当可预期为必须或是有利于执行可个别操作的设备零件工 作 时，应在每个零件上提供个别的可上锁式能源隔離装置。 8.15 安全保护暂停– 当安全保护措施有可能暂停时，应使用一般能源隔離、现 场能源隔離 或是安全工作程序。保养手册中应具备这些程序的說明。 9 设施电气連接 9.1 输入端电源导线 9.1.1 设备在设计上应可让公用设施输送电力至端接在主断电装置上的单一馈 电点，此主断 电装置在开路时应能中断该装置负载端输入设备的电力。 例外1：若设备有一个以上的馈电点，每个馈电点都应配置能源隔離（上锁）装 置，并 在每个主断电装置上标示以下警语或類似警语：「警告：有触电或烫伤危险！维 修前务
- 32. 必关闭所有[馈电压置的數量]电源。」 例外2：若多个单元分别独立安装，彼此间无共同的危险且没有以危险电压、能 级或其 他潜在危险条件互連的电路，则得分别使用独立的电源和独立的电源电路主断电 装 置。若上述各项独立配置皆有清楚标示，亦可分别使用独立的EMO 电路。 注22：若进行特定的保养或维修任务时无法使全系统上锁，则应执行第8.15 节 的基准。 9.1.2 现场安装的电源接头应直接連接到主断电装置，中间不经过任何端子板或 其他装置。 例外：若电线插头本身就是主断电装置，则不适用此规定。然而，若电线插头不 是主 断电装置，现场安装的电源接头即应直接連接到主断电装置，中间不经过任何端 子板 或其他装置。 9.1.3 若端子在主断电装置位于「关闭」隔離位置时会产生危险电压，此端子应 标示适当的 危险警告标签。此标签应贴于端子旁边的电气箱内。 9.1.4 电源的过电流保护应有足够的额定，以保护虽連接电源电路但没有足够过 电流保护的 零组件。 9.1.5 设备上应具备主要过电流保护装置。对于240VAC 或以下的额定电路，此
- 33. 装置至少应 具有10,000 rms 对称式安培遮断容量（AIC）；对于240VAC 以上的额定电路， 此装置 则至少应具有14,000 rms 对称式安培遮断容量（AIC）。 例外1：对于额定值不超过2.4kVA 的电线連接单电相设备，其过电流保护装置 的额定 遮断容量可能至少为5000 rms AIC。当使用这种过电流保护装置时，安装手册 内应注 明设备仅提供较低的AIC 保护，以便使用者了解。 例外2：若设备子系统（如微环境通风）额定值不超过2.4kVA，其过电流保护装 置的 额定遮断容量可能至少为5000 rms AIC。 11 SEMI S22-0706a © SEMI 2003, 2006 9.1.6 辨識公用设施的連接 9.1.6.1 使用中性线时，应在设备示意图上清楚标示，且公用设施的电源連接应 标示「N」或「中 性」标签。 例外：若电线不架设在现场，电线連接的设备则无需为此标示。 9.1.6.2 在每个电源输入点上，应以接地符号标示保护接地线的端子（请參阅IEC 60417 内的 符号5019）。除了接地符号外，亦应使用其他适当的标示符号（如「PE」、「GND」）。 9.1.6.3 应提供安装說明书，以便正确辨識与安装三相系统中的每一相位，以免
- 34. 不正确的相位 連接造成意外旋转或失序等危险。 9.1.6.4 在设备示意图中应清楚标示三相AC 电路中每一未接地的相位导线，且 公用设施的电 源输入点应在输入端子旁使用下列一组符号來标示： a) 「L1」、「L2」、「L3」； b) 「R」、「S」、「T」，或 c) 「A」、「B」、「C」。 9.2 设备保护接地連接 9.2.1 保护接地线应与电源输入导线一同接入设备。 9.2.2 保护接地线应为铜金属。 9.2.3 保护接地线的大小应依据附錄1 的表格來决定。请參阅附錄1 表A1-1 至 表A1-5 的保 护接地线尺寸。 9.2.4 保护接地线端子应专门用來将保护接地线連接到设备的保护线和聯结系 统。 9.2.5 保护接地线与保护接地线端子之间的連接亦需符合本安全基准内的保护 聯结标准（请 參阅第12 节）。 9.2.6 保护接地线不可当成电力输送电路的载流导线。可允许保护接地线负载來 自于EMC 电 容濾波器的电流。保护接地线也可负载感应式及电容式意外耦合产生的电流。
- 35. 9.2.7 不应連接电源端未带电导线与保护接地线或电气设备内的保护接地系统。 9.3 主断电装置 9.3.1 主要能源隔離装置（设备的主断电装置）应设置在可随时操作的位置，且 只能在断电 狀态下才可上锁。 9.3.2 若设备具有多个电源输入馈电点，所有主断电装置应集中设置在同一个区 域，或是在 每个电源电路主断电装置的位置上标示所有其他电源电路主断电装置的數量。 注23：建议将主断电装置集中安装在同一区域。 9.3.3 应依照以下其中一项规定，将电源导线接至主断电装置： a) 接点应设置在设备上或其附近的一个独立的主断电装置电气箱内。设备内主 断电 装置电源侧的零件若在主断电装置关闭时依旧通电，即应加以保护（防止手指碰 触），以避免维修人员意外接触；或是 SEMI S22-0706a © SEMI 2003, 2006 12 b) 接点应设置在靠近顶端的主电气箱内，并有足够的弯曲空间用來布设电源导 线， 且在电源端子上方不装设任何设备。设备内主断电装置电源侧的零件若在主断电 装置关闭时依旧通电，即应加以保护（防止手指碰触），以避免维修人员意外接 触； 或是 c) 接点应设置在主电气箱内，且有其他设备装设在电源端子上方。设备内主断
- 36. 电装 置电源侧的零件若在主断电装置关闭时依旧通电，即应加以保护（防止手指碰 触），以免维修人员意外接触，或是避免工具由上方掉落而接触。开口处应无法 让 1mm（0.04 吋）的木棍穿入而与通电的零件接触。 例外：总耗电量为1492 瓦（2HP）或以下的机器可利用软线、电缆或导管連接 装设在 远程的主断电装置，以方便机器操作员可在距離工作站6 公尺（20 呎）范围内 看到并 能随时操作主断电装置。 9.3.4 应依照附錄1 表A1-1 至表A1-5 之规定提供电线弯曲空间给主断电装置 的公用设施电 源导线。 例外：满足NFPA 70 电线弯曲空间需求的设备可视为符合此标准。 9.3.5 当主断电装置位于关闭位置时，应符合下列标准： a) 电源电路所有未接地的导线应立即断电。 b) 接地的导线（中性或接地）不应断电。 例外：若接地的导线（中性）在设计上和未接地的导线同时断电，将会在主断电 装置 位于关闭时一并断电。 注24：有些法律规定接地（中性）导线也必须断电。 9.3.6 主断电装置最少需有兩个标记的位置「关闭」（隔離）与「开启」。这些
- 37. 位置应清楚标 示IEC 60417 符号5008 的「Off」标记以及IEC 60417 符号5007「On」标记。 9.3.7 设备主断电装置的致动器应可随时操作，其距離不得超出立面2 公尺（由 把手中央开 始测量）。 9.3.8 公用设施电源输入端的每个主断电装置应为机械或电气聯锁式或此兩种 组合，并具有 断电电气箱门。 例外1：在维修电气箱内的照明电路时，才需要主断电装置不与电气箱门一同聯 锁。若 在电气箱门打开时主断电电气箱内的外暴零件可能通电，则应贴上危险警告标签。 例外2：使用插头作为主断电装置时。 例外3：若在远程装设主断电装置，即应以工具开启设备的电气箱门，并在电气 箱上贴 示危险警告卷标，警告人员内有危险电压，并提醒在开启前应隔離电源。 例外4：第9.3.8 节内的考量不适用于额定小于5kVA 的设备，因为本文件已规 定此种 设备须使用其他防止触电的保护措施。 9.3.9 主断电装置（上锁）的把手在电气箱开启时不可从主断电装置上脱落。 9.3.10 在主断电装置与相关电气箱门之间应具有聯锁机制，以预防下列兩种情 况： a) 电气箱门开启，主断电装置却关闭。但聯锁断电能力被其他指定的行动所覆
- 38. 盖则 不在此限（參阅第13 节）， b) 电气箱门完全关闭后主断电装置才关闭。 注25：相较于电气式聯锁，以使用机械式聯锁为佳。 13 SEMI S22-0706a © SEMI 2003, 2006 9.4 使用电线与插头連接作为设施連接 9.4.1 当电线与插头連接预定用來当作主断电装置时，此連接应可独立由工作人 员控制或是 应具有可上锁的方法。请參阅第16 节有关导线与电缆的說明。 9.4.2 若电源线为系统随附，电源线及安装指示均应符合安装地的现行法令，否 则设备即应 利用线槽进行硬接线（Hard Wiring）。 9.4.3 若采用硬接线，则不应使用电线与插头來作为主断电装置。 9.4.4 若使用电线与插头作为主断电装置，则设备应具有开关控制器。 注26：建议在下列情况下使用电线与接头連接公用设施： a) 设备采用随附插头并由电源插座供电，以期連接移动式设备，方便进行经常 性的 替换； b) 设备采用扣紧装置与机械連接，方便在保养维修时拆卸。 注27：第16.3.1 节列有限制材质之规定。 10 预防触电 10.1 概述– 电气设备应提供保护，预防人员在正常操作情况与任何合理可预期
- 39. 的单一故障 情况下遭到触电危险。 10.2 预防正常操作时触电 10.2.1 当使用接地线或非导线密封來控制人员接触危险电压时，该密封应符合 下列任一条件： 1) 需要工具來开启且贴有标签，以防止人员遭受危险；或是 2) 具有安全聯锁。 10.2.1.1 请參阅「关节指探测器穿入测试」及IEC61010-1 附錄B 的测试指說 明。 注28：亦可參阅IEC 60529「外壳提供的保护等级」。 10.2.2 未绝缘但已通电的零件与导线密封之间的间隔距離应符合附錄1 表 A1-12 与A1-13 之 规定，或是依照第22 节内容进行介电测试，以确定此间隔距離是否足够。 10.2.3 藉由绝缘保护的通电零件应完全包覆在仅能用破坏式方法才能移除的绝 缘体内。这种 绝缘体应能承受在正常操作条件下可能遭受的机械、化学、电气和温度压力。 10.2.4 预防故障条件导致的触电危险– 可利用下列一个以上的措施來预防危 险接触电压的 发生： 1) 可使用双重或强化隔離，以预防在电路通电零件的基本隔離失效情形下导致 接触 电压与外露的导电性零件接触；
- 40. 2) 可使用电气区隔（裕度或爬电），以预防在电路通电零件的基本隔離失效情 形下导 致接触电压与外露的导电性零件接触； c) 在接地故障导致绝缘失效而影响电路的情形下，可自动中断电路电源以预防 接触 危险电压。 注29：请參阅GFCI 的定义。 10.3 保养与维修人员可能受到危险的暴露情况 10.3.1 通电的电气工作– 设备在设计上应降低设备通电时需要校正、修改、修 理、测试、调 整或维修的机会，且在零组件靠近外露的危险通电电路时，应降低需在该零组件 上进 行的工作机会。设备的设计应尽量将任务由類别4 调整为類别1、2 或3。除了 排除故 障外，保养手册内亦应具有针对常态性類别4 任务的书面指示。保养手册中应涵 盖针 对排除故障（包含類别4）工作的一般安全程序（如适当PPE 与护欄）。 SEMI S22-0706a © SEMI 2003, 2006 14 10.3.2 维修人员的保护– 维修人员不应暴露于可能接触到危险电压或危险能源 等级的情 况。可采用安全端子，或在外露端子外使用额外的护欄以符合此规定。 10.3.3 手动调整– 需要手动调整的设备在设计上应可让调整工作不造成人员接
- 41. 触到电气或 机械性危险。 10.3.4 检修门– 应为保养与维修设备的进出提供保养与维修检修门。 10.3.5 内部护欄– 在下列情况下，应提供非导电性或已接地的导电护欄，或是 類似的保护措 施： a) 需穿越、穿过下方，或穿过附近危险或接近危险处； b) 掉落对象会造成短路或电弧； c) 设备内任何零件的液体承载处破裂会导致液体侵入电气零件； d) 保养或维修任务可能造成意外接触未隔離的通电零件，而此零件符合下列任 一条 件：电压大于30V rms、42.4V 峰值或60DCV，或是干燥环境下大于240Vamps。 注30：建议使用可拆除式的非导电性与防火性护盖。 10.3.6 测试点– 当具有测试点时，测试点须符合下列条件： a) 位于不造成检修门阻碍的位置； b) 具有标记或文件纪錄中有标示； c) 可防止意外接触，以及 d) 提供足够的空间让测试探测器进入。 10.3.7 隔離电力系统– 本小节仅适用于以危险电压运转的50 至60 Hz AC 应 用。 注31：使用隔離电力系统的常見用意在于藉由不将输出电路导线接地來减少电 气干扰
- 42. 的來源。 注32：自动变压器无法提供电气隔離。 10.3.7.1 在故障情况下若可接触的导电性零组件可能会通电，则应完善地与保 护接地线聯结。 例外：若制程技术规定导电性零件在不可接触时为未接地狀态，但在可接触时为 接地 狀态，则确保此导电性零件在可接触时为接地狀态便可符合第10.3.7.2 节的标 准。 10.3.7.2 隔離电路应符合下列要求： a) 連接电路输出端的变压器或电源供应器以及任何零组件（装置）应在隔離电 路旁 或外壳上清楚标示，以警告操作员与维修员未接地的狀态； b) 应在输出电路内安装接地侦测灯、接地故障断路器（CFCI）或电线隔離监控 器， 以表示隔離导线接地故障的狀态。此要求将可协助侦测隔離电力系统内是否接故 故障。 10.3.8 预防残留电压– 储存的电力能源应诱导到小于危险能源等级的程度。请 參阅第22 节 的测试方法。 例外：可产生危险电力或危险电压的电池不需要充电，但应具有可安全提供电力 服务 的规定并记载于系统文件中。
- 43. 11 预防电气火灾的危险 11.1 设备设计上应具有保护措施，可预防在零组件失效或不正常操作条件下所 致的任何合 理可预期之单一故障的电气火灾危险。 11.2 安装文件应提供选择防止设施电源电流超载的保护装置与设施电源导线之 必要信息。 15 SEMI S22-0706a © SEMI 2003, 2006 11.3 所有导线应利用本节其他段落中选用的保护装置類型來预防过电流，但保 护接地线、 保护线与接地的导线（例如中性线）除外。 例外：接地（中性）的导线可在安全与设计考量下由过电流保护装置断电，但未 接地 的导线也须同时断电。 11.4 电路过电流保护装置不应超出所有受保护导线的载流容量。 注意：新增新版的第11.5 节已改变第11 节中其他所有段落的编号，延时修订版 中第1 节的新增附錄将于2009 年7 月出版。EHS 委员会已投票通过可在生效日前选 择性使用 上述兩项内容。 11.5 未連接装置的电路过电流保护不应超出装置额定安培值的125%。请參阅第 18 节的马 达保护。
- 44. 11.6 不可用在未連接装置上的电路应具有可承受125%最大固定负载的过电流 保护，或是具 有下一个最大标准尺寸的过电流装置。但若此电路可证实在故障情形下（如电力 受限） 不具有电气起火危险，则不受此项规定限制。 11.7 所有电源插座、接头及供电给这些插座的电路都应具有符合各自额定值的 过电流保护。 11.8 现场照明电路– 照明电路的过电流保护不应超过15 安培。 11.9 变压器 11.9.1 工作频率为50/60 Hz、初级额定值（Primary Rating）为600VAC 或以 下且无热保护的 变压器，应依据表A1-14 的适用范围提供过电流保护。 11.9.2 工作频率为50/60 Hz、初级额定值为600VAC 或以下、由制造商提供热 保护，且会在 过载时中断初级电流（Primary Current），应依据表A1-14 或A1-15 的规定加 以保护。 注33：若制造商未說明额定电流，可參考相关资料1、2 的计算方法來确定此电 流值。 11.10 过电流保护装置 11.10.1 过电流装置– 应依据下列考量选择及采用过电流保护装置： a) 最大可用故障电流； b) 装置的断电能力等级；
- 45. c) 额定电压； d) 载电特性； e) 正常操作电流，以及 f) 电路突波特性。 11.10.2 与保险丝相比，建议使用断路器与电路保护器來作为过电流保护装置， 因其可重新 设定。 11.10.3 保险丝座以及保险丝应使用可装设在面板或零组件导轨上的设计類型。 注34：一般俗称的「Inline」保险丝并不符合此项标准。 11.10.4 面板装设的保险丝座与保险丝应符合下列需求： a) 螺丝型保险丝座内的保险丝仅限在单相电路使用中性导线时才能当作过电流 保护 使用。 例外：增进安全设计时，可在多相式电路内使用低熔点保险丝。 b) 若保养或维修人员的意外碰触会导致触电，应使用预防接触式保险丝座； c) 拆除螺帽时，若保险丝座有外露的金属零件（非防触电型保险丝座），则线 路导线 应連接到末端端子，而负载导线应連接到侧面端子； d) 保险丝座不应在替换保险丝时发生电气接头松脱的情形。 SEMI S22-0706a © SEMI 2003, 2006 16 11.10.5 断路器与电路保护器应符合下列要求： a) 断路器或电路保护器应可手动操作，且亦可在把手机制关闭时排除故障。
- 46. b) 应清楚标示出「开启」、「关闭」位置。应装设把手，且把手推向上时为「开 启」 位置。 c) 若断路器装设在垂直方向平面上，则断路器仅能用垂直或水平安装。若为垂 直安 装，把手推向上时应为「开启」位置。若为水平安装，则把手推向右边时为「开 启」位置。若断路器水平装设在兩个圆柱间，把手推向中心点时应为「开启」位 置，或是清楚标示出「开启」「关闭」位置。 d) 在断路器装设在水平表面的情形下，若装设在兩个圆柱间，则开启位置应位 于表 面或中心点的右侧，或是清楚标示出「开启」「关闭」位置。 e) 所有未接地的导线都应有过电流保护。 注35：可行时，建议将电路的电源导线接至断路器或电路保护器上方。具有「线 路」 或「负载」标记的断路器与电路保护器均应依据此标记來安装。 11.11 电解电容器 11.11.1 大型电容器通风建议：直径大于25.4mm（1 吋）或可储存大于4 焦耳 的电容器应具 备自行通风能力或是可用類似方法來防止破裂。电容器通风口不应受有阻碍，且 最小 直径为5.1mm（0.2 吋）。水平方向装设的电容器应具备通风管，该通风管应位 于密封
- 47. 的上半部（9、12、3 点钟方向位置）。 11.11.2 电容器内部应要有围堵措施或是利用护盖包起，以避免人员遭受蒸汽或 碎片的危险。 11.11.3 电容器端子应隔離或受到保护，以防止工具造成短路现象。不可光靠亮 光漆与密封 剂当作保护。 11.12 故障情形下的異常温度– 在任何合理可预期的单一故障条件下，加热器 或其他电路可 能会造成異常温度而导致无法接受的危险等级，故应提供温度保护來侦测温度異 常升 高的情形，并中断能源。亦可接受使用類似的方法來提供保护。 11.13 除符合本文件的标准外，可行时亦须符合SEMI S3 的标准。 11.14 某些装置的负载会受到操作条件与操作经验（如陶瓷抗热式加热零组件） 影响而有所 不同。用來选择过电流保护装置的负载值应可包含最糟情况与正常操作条件下的 全负 载范围。 12 保护接地系统 12.1 聯结– 在合理可预期的单一故障情况下，若可接触的不载流导电性零组件 会发生通电 情形，则应与保护接地系统聯结。 注36：本章节不适用于非安全性相关的聯结导线（如配合EMC 考量的聯结导线）。
- 48. 12.2 未与保护接地系统聯结的零件– 若不载流的导电性零件在单一故障情形 下不具危 险，则不需与保护接地系统聯结。 12.3 保护接地系统 12.3.1 概述– 保护接地系统包括在保护接地线端子与未载流的框架、外壳或零 组件间持续提 供电力的零组件，但这些未载流的框架、外壳或零组件必须在正常操作及单一故 障条 件下保持一定的地电压（请參阅第12.1 节）。 12.3.2 保护线– 应使用铜导线或配备聯结跳线的构件來聯结保护接地系统。 例外：除了铜导线外，其他具有等效载流容量的导线亦可用作为保护线。 17 SEMI S22-0706a © SEMI 2003, 2006 12.3.2.1 当保护线以此方式使用时，其尺寸应符合表A1-1 至A1-5 保护线载流 容量的需求（此 载流容量为相关载流导线之载流容量的函數）。 12.3.2.2 母线及／或设备框架也可用作为保护线。使用母线或是设备框架时， 其形体与材质 应提供与表A1-1 至表A1-5 保护线相同的载流容量。 12.3.3 外壳上的铰链式、滑动式或其他活动零件不可作为保护接地系统的一部 分。 例外：若外壳与铰链经由合格的测试实验室证实适合用來聯结，则可使用此铰链。 12.3.4 除非連接保护聯结电路（如第12.1 节所示），否则线槽、线道、与电缆
- 49. 托架不可用來当 作保护线。 12.3.5 可行时，建议将保护线与相关载流导线布设在同一条路径上。 12.3.6 除第9.2.6 节规定的情况外，不可将保护接地系统用作为载流导线。 12.3.7 保护接地系统的持续性– 保护接地系统应具永久性和电力持续性，并可 负载任何可能 的接地故障电流。请參阅第22.3 节「接地持续性与保护聯结电路的持续性」的 相关测 试方法。 12.3.8 連接保护线的連接与聯结点应经过设计，以防止载流能力受到机械、化 学或其他干扰 的影响而导致载流能力降低。 12.3.9 一般维修时，可拆除的安装用五金零件与护盖螺丝不可用來中断保护导 线和外壳零件 ／零组件的連接。 12.3.10 除配件或附件外，具有金属对金属支撑面的机器零件应视为与保护接地 系统聯结。 由非导电液体或气体分隔的零件不应视为已聯结。 12.3.11 拆卸一个零件后，其余零件的保护接地系统的持续性不可因而受到影响。 12.3.12 保护聯结电路的开关装置排除规定- 保护接地系统不应有任何开关或 是中断装置。 例外：进行操作时，若技术上需要隔離电压（例如缺少接地基准），可接受使用
- 50. 接地中 断装置，但此装置需在相关零组件检修接触时自动提供保护接地系统持续性，且 具备 容错功能。 12.3.13 中断保护接地系统– 若在保护接地系统的持续性可能受到接头（如插 头与插座連 接）影响而中断，进而导致触电危险升高，则应符合下列考量： a) 通电导线的电力中断后，保护接地系统才能中断；且 b) 应可在重新連接任何通电导线之前重新建立保护接地系统的持续性。 12.4 保护接地系统的聯结端子 12.4.1 保护线应聯结到一个不会受到其他导线端接干扰的端子（保护接地系统 导线的端子）。 12.4.2 应清除保护线端接面上的所有非导电涂层，例如油漆或清漆。 SEMI S22-0706a © SEMI 2003, 2006 18 12.4.3 聯结导线和保护接地系统的接线端子应为无紧固功能的环形端子，或是 具紧固功能的 凸缘叉式端子。 12.4.4 用來連接保护接地系统的端子接线片不需要绝缘。 12.5 使用电线与插头連接的设备应依照第22 节的测试方法通过漏电流测试。 13 安全电路 13.1 概述– 应使用变压器或电源供应器來供应电力给安全电路。此類型变压器 的主副线圈
- 51. 之间应具备电气隔離。安全电路在设计上使用的非危险性电压与功率位准应与控 制电 路正确操作时相符。 注37：请參阅第13.3.3 节例外2 中特定的EMO 功能例外。 13.2 启动功能 13.2.1 启动功能应在相关电路通电时才能操作。 13.2.2 预防意外启动– 工程设计上应预防意外启动。 13.3 紧急停止 13.3.1 设备应具有「紧急停止」（EMO）电路。EMO 致动器（如按钮）在启 动时，会让设备 进入安全关机狀态，且不会对人员或设施产生其他危险。 例外1：对于电线与插头連接的单相设备，若其额定值小于240V（线对线）／150V （线 对地）且不大于2.4kVA，且危险仅由本身电气造成，在操作员与保养人员可随 时操作 主断电装置的情况下，则不需要个别的紧急停止电路。 例外2：若总成件并非单独使用的设备，而是使用在整合式系统内且由终端用户 系统 供电，则可无需安装个别紧急停止电路。总成件的安装手册上应具有清楚的指示， 以 让设备安装人员将总成件連接到整合式的系统紧急停止电路上。 注38：本文件建议，紧急关闭电路的功能不可降低安全装置的有效性，且当装
- 52. 置（如 磁性或制动装置）提供可让设备进入安全关机狀态的必要安全功能时，此装置的 有效 性亦不应被降低。 13.3.2 EMO 接口– 当设备可能被整合，且可能与终端使用者公用设施内的其他 总成件处于 相同危险时，则应提供外部EMO 接口。具有外部EMO 接口时，供货商应提供 連接此 界面的指示。 13.3.3 EMO 功能– 启动紧急关闭电路时应中断所有危险电压以及设备内所有 大于240Vamp 的电源。 例外1：非危险性电压EMO 电路（通常为24 伏特）可以保持通电。 例外2：安全相关装置（如烟雾侦测器、漏气／漏水侦测器、压力测量装置等） 可以由 非危险性电源持续供电。 例外3：计算机系统、PLC 执行资料／警报纪錄功能以及错误回復功能也可能会 持续通 电，故断路器与供电给计算机系统的插座上应标示清楚，告知人员在EMO 启动 后还是会 有通电的情况。 13.3.4 EMO设计– EMO 电路的设计应考量下列事项：
- 53. a) EMO 电路不应包含会造成EMO 失效或忽略的控制组件； b) EMO 电路应包含电机零组件； c) EMO 开关在重新设定后，不可重新接通会对人员或设施产生危险的电路、设 备或 子总成件； d) EMO 电路关闭设备的方法应是中断电源，而非导通控制组件； e) EMO 致动器应可自行上锁。 19 SEMI S22-0706a © SEMI 2003, 2006 例外：在系统或系统的相关零件经过评估且证实适用时，可使用固态装置与零组 件。 零组件应经过评估并证实可适用于異常狀态，例如电压超载、电源中断、瞬变电 流等。 注39：若设备预定使用在具有火灾或爆炸潜在危险的场所，本文件建议考虑使 用气动 式或EMO 安全电路。 13.3.5 EMO标示– EMO 标示应考量下列事项： a) 紧急关闭致动器应为红色且为蘑菇狀； b) 应在EMO 处具有黄色背景； c) 所有紧急停止致动器应清楚标示出「EMO」、「紧急停止」或同等标示，且 在可视 区域内可清楚阅讀。标签可贴在致动器上方或是黄色背景上； d) 紧急停止按钮应放置在最不会受到意外启动的位置，或应受到保护以防意外
- 54. 触动。 13.3.6 EMO 的位置与尺寸– 紧急停止按钮的位置应可从进行操作及定期保养 的位置随时接 触到，且按钮应可由手掌后端启动，始属适当之尺寸。 13.3.7 操作员或定期保养的位置与EMO 位置之间不应超过3 公尺（10 呎）以 上。 13.4 操作模式– 当系统具有一个以上的操作模式，且操作模式的选择可能会造 成危险狀态 时，则应仅限由经过训練的维修或保养人员來选择模式。 13.5 暂停安全保护措施的情况应符合第8.15 节之规定。 13.6 安全控制器 13.6.1 止动控制器– 止动控制器仅能在经过危险分析后确定可用且可降低危险 时才能使 用。使用止动控制器时，止动控制器应可确保控制装置会持续运作并完成操作。 13.6.2 双手控制器– 当使用双手串聯式控制器來预防操作员受到危险时，该控 制器及／或控 制电路应符合下列规定： a) 手动控制器应为瞬间接触开关，且具有黑色或綠色的开关头。每个手动控制 器应 受到保护，以防止意外操作； b) 每个手动控制器的陈设都应经过设计、建构及／或区隔，以确保需使用双手 才能
- 55. 启动机器循环。本文件建议兩个控制器之间至少相距610mm（24 吋）的高度。 c) 双手控制器应经过设计，在启动机器循环时仅需不到一秒便可将兩个控制器 减 压，且双手控制器需持续保持减压直到危险解除为止。 d) 控制器系统应配合防重复功能。此功能可限制机器在每一次手动控制器减压 时只 会进行一次循环。控制器系统应配合防固锁功能，以在每个循环间要求操作员释 放双手控制器。 13.6.3 启动停止合并式控制器– 只有在操作时不会发生危险的情况下，才能使 用可交替启动 与停止机器动作的控制器。 13.7 安全聯锁电路 13.7.1 预防故障情况– 当单点失效会导致不可接受的危险时，应提供安全聯锁 电路或其他适 用措施來预防单点失效所造成的后果。 13.7.2 安全聯锁功能– 安全聯锁应经过设计，以在人员接触危险点前自动让设 备进入安全狀 态。每个安全聯锁在启动时应立即发出警报來提醒操作员。 例外：若安全聯锁会触动紧急停止（EMO）电路，或是会中断用户接口的电源， 则 无需通知操作员。 注40：安全聯锁启动时最好能显示出启动的原因。
- 56. SEMI S22-0706a © SEMI 2003, 2006 20 13.7.3 安全聯锁设计– 以使用电气机械式装置与零组件为佳，但安全聯锁系统 相关系统零件 经过适用性评估并符合适当标准时，亦可使用固态装置与零组件。适用性评估应 包含 異常狀态的考量，例如超载电压、低电压、电源中断、瞬间超载电压、斜坡电压、 电 磁敏感性、释放静电、温度循环、湿度、灰尘、震动、摇晃或連接网路界面。 例外：当合理可预期的失误严重性在SEMI S10 的标准下判定为轻微等级时，可 考虑使 用软件式安全聯锁。 13.7.3.1 可程序安全控制系统符合适当标准并可用在电气安全系统内时，FECS 便可与电气机 械式或固态的装置和零组件结合。FECS 的零组件应依照适用标准的需求进行 测试，并 取得认证。认可的电气安全系统标准范例包括IEC 61508、ISO 13849-1（EN 954-1）、 ANSI/ISA SP84.01、DIN/V/VDE-0801。 注41：第8.4.1 节列有安全相关零组件与总成件的额外评估标准。 注42：FECS 为可程序电气系统（PES）的子系统。复合式PES 较常使用IEC 61508 标 准进行评估。
- 57. 13.7.4 安全聯锁覆盖– 安全聯锁系统的设计应可在维修时将覆盖安全聯锁的需 求降至最低。 13.7.5 若需进入以安全聯锁保护的区域进行保养，可使用具失效能力的安全聯 锁，但仅限于 安全聯锁需要特意操作才会失效的情况。用來保护人员执行任务的安全聯锁在利 用工 具停止前不可自动停止作用。停止或完成维修时，所有的安全聯锁均应自动重新 復原。 13.7.6 若安全聯锁停止作用，维修手册应注明行政控制程序，以保护人员并将 危险降至最低。 13.7.7 安全聯锁重新復原时，不应自动启动机器的动作或操作，否则可能会发 生危险。 13.7.8 安全聯锁电路連接– 为了降低安全聯锁在装置或接地线短路时不正常 发挥功能的机 率，开关、接触器与其他安全聯锁控制装置不应連接到电路的接地侧。 13.7.9 分流断路电路– 由于分流断路器不具有失效安全特性，因此不应用來当 作安全聯锁。 13.8 多点控制 13.8.1 当系统上有多点控制时，应使用符合第13.7 节考量的硬件架构装置，以 确保在多点控 制会造成不可接受的危险时仍可使用单点控制。 13.8.2 可选择控制点的硬件架构装置应具有可上锁的特性，或是在人员遭受危
- 58. 险时可立即受 到该人员控制。 14 接口控制 14.1 手部控制装置– 手部控制装置的摆放位置应能使原定用途不会造成不可 接受的危险。 14.1.1 若意外触动会造成不可接受的危险，手部控制装置在设计与装设上应可 将意外操作的 机率降至最低。 14.1.2 控制装置应可承受正常使用与可预期误用的应力。应同时纳入正常操作 与故障情况的 考量。绝缘的化学性暴露、机械性与温度压力、輻射与及其他环境因素等可能会 导致 不可接受的危险，故也应将这些因素纳入考量。 14.2 推动式致动器（按钮） 14.2.1 颜色– 开始／启动致动器的颜色应为白色、灰色、黑色或綠色，而一般 较偏好使用綠 色；不可使用红色。 14.2.1.1 红色应使用在EMO 致动器上，且EMO 处应具有黄色的背景。请參阅 第13.3 节的 相关规定。 14.2.1.2 非EMO 致动器与EMO 致动器之间应有所区别。 14.2.1.3 停止／关闭致动器的颜色应为红色、黑色、灰色或白色，而一般较偏
- 59. 好使用红色以 及非蘑菇狀的致动器；不可使用綠色。 注43：在NFPA 79 的规定中，所有的停止或关闭按钮较偏好使用红色，但也可 接受黑 21 SEMI S22-0706a © SEMI 2003, 2006 色、白色或灰色。 14.2.1.4 在触发时会进行操作而放开时会停止操作的接触式按钮致动器应为白 色、灰色或黑 色，不得使用红色、黄色与綠色。 14.2.1.5 重新设定按钮致动器应为藍色、白色、灰色或黑色，但所使用的颜色 不可与停止／ 关闭致动器相同。 14.2.2 标记– 所有的控制器应依第20.3 节之规定标示出其功能。 14.3 指示灯与显示器 14.3.1 颜色– 指示灯的透镜应依照附錄1 表A1-8 至表A1-10 的规定进行颜色 编码。 14.3.2 闪光灯– 当应用中需使用会引起操作员注意的安全指示时，可使用闪光 灯，但单一 LED 指示灯则不符合此需求。 14.3.3 发光型按钮致动器– 发光型的按钮致动器应依照附錄1 表A1-8 至表 A1-10 的规定进 行颜色编码，但不可使用紧急停止致动器专用的红色。
- 60. 14.4 若意外启动会造成不可接受的危险，用來启动功能的致动器应在设计与装 设上将意外 触动的机率降至最低。 14.5 中断連接– 所有的主断电装置应符合第9.3.6 节之规定。进行保养与维修 时所用的能 源隔離方法应符合手册内說明的程序。 15 电气箱 15.1 电气箱的建构 15.1.1 电气箱应可预防碰触危险电压的危险，如本基准第10 节的定义所示。 15.1.2 电气箱应可预防任何会导致电气箱内部故障的物质渗入。设备故障或是 设备预定使用 的环境都可能产生这類物质。 注44：本节不适用于供电设施启动洒水器的情况。 15.1.3 电气箱应具有完整的底部，以防止发生故障时融化材质或燃烧绝缘散出。 注45：可利用复杂或同等的建构技术來符合第15.1.1 至15.1.3 节的规定，且依 然可符 合完善通风的功能性需求。 15.1.4 应具有适当且完善的电气箱建构，以承受正常的预定使用情况与合理可 预期的误用情 形。箱墙及护盖应具备足够的强度，可预防偏斜时电气间隙降至不可接受的程度， 或 是防止人员碰触通电的零件。应依照第22.14 节的电气箱强度测试标准进行检验
- 61. 或测 试，以完成电气箱的评估。 15.2 检修口– 所有可用來检修电气零组件的门板应摆设并装设于可达到下列需 求的位置： a) 方便出入与保养； b) 预防会导致安全危险的外來影响。 注46：本节仅适用于处理危险电压或电源的电路。 15.3 位置与装设 15.3.1 电气箱内所有零组件的摆放位置与方向应可让零组件清楚地被辨識，而 不需移动零组 件或接线。例行保养时会移开的门板上不应装设零组件。 例外1：如要使用活动式门板，活动式门板则须完善聯结并牢固在设备上，且供 电线路 的路径位置不会在移动滑动式门板时导致绝缘体损坏。 例外2：以非危险电压与功率位准供电的装置可装设在可拆卸门板上。 15.3.2 零组件应摆放在可检验是否正确操作与保养的位置，而不需拆解设备或 机器零件。 15.3.3 当电气零组件需使用特殊工具才能拆卸时，应提供此工具。 15.3.4 当电气零组件是以插入式设计彼此連接时，其相关零组件不論是单一或 多个组合，皆 SEMI S22-0706a © SEMI 2003, 2006 22 应清楚标示出類型（形狀）、标记或參考符号。
- 62. 15.3.5 正常操作时需处理的插入式装置应具备不可变换性，因为缺乏此特性会 导致不可接受 的危险。 15.3.6 爬电与裕度应符合主要零件与接地电气箱之间基本隔離的标准，以承受 内部工作电 压。请參阅附錄1 表A1-12 与表A1-13。 15.3.7 当处理危险电压与电力的零组件装设在摇摆式门板上时，此類摇摆式门 板应具有足够 的摇摆程度以形成出入口。维修时需弯曲的线路应在各个弯曲点具有额外的机械 式保 护。 例外：通过第22.16 节内弯曲测试的线路不需要额外的机械性保护。 15.4 零组件辨識– 当零组件装设在门板上时，门板的表面应贴有标签以供辨識， 如本文件 第21 节所示。 例外：工程文件上列出备有零组件标示的电气箱便算是符合此规定功能。 16 导线与电缆 16.1 概述– 导线与电缆使用的电压与负载电流应具有额定值，并应依照第10 与11 节之规 定提供适当的过电流保护。导线绝缘或护盖的额定值应可承受一般操作环境与单 一故 障情况（如具有水气、侵蚀性物质、机械与温度应力）中可能产生的外部影响。
- 63. 16.2 导线建构– 电线导线应以铜制成。导线的建构材质应兼容于連接装置与使 用环境中的 材质与额定值。 注47：半导体产业使用的多數零组件并不兼容于铝制电线。 16.2.1 导线安培值– 导线应符合下列任一考量： a) 获得合格测试实验室的认证，证实可使用在附錄1 表A1-1 至表A1-6 以外的 情况， 并可依照认证条件使用； b) 尺寸符合附錄1 表A1-1 至表A1-6 的规定。 例外：已依据IEC 61010 标准测试通过的导线。 16.2.2 印刷电路板– 当导线位于电气箱内且装设在可将弯曲或应力程度降至最 低的位置 时，应可用阻燃材质的印刷电线总成件來代替导线总成件。所有印刷电路板应具 有V-1 或更好的耐燃等级（參阅IEC 60707 或UL 94），或是FR-4 或FR-5 的等级 （ANSI/IPC 2221）。 16.2.3 母线– 非隔離的母线应符合附錄1 表A1-7 的规定尺寸。 16.2.4 绝缘– 每个导线上的绝缘等级应符合下列考量： a) 导线负载最大电压与电流时的电气、温度与机械性强度； b) 导线可能处于的最惡劣环境（如温度、应力、湿度、震动与污染）； c) 防止火势蔓延的抗性。
- 64. 16.2.5 不可使用天然橡胶与内含石绵的材质來当作绝缘。 23 SEMI S22-0706a © SEMI 2003, 2006 16.2.6 与绝缘相关的危险– 在单一故障情况下，若火势蔓延或散发有毒或侵蚀 性浓烟会造成 危险，导线与电缆的绝缘应备有额外的保护，或是考虑使用其他的导线或电缆总 成件。 16.2.7 电线与电缆绝缘的介电强度– 依据额定电压等级來使用电线或电缆时， 电线或电缆上 的合格实验室认证测试标记便可用來证明其适用性。下列說明的替代方法亦可证 明是 否符合标准。若电缆与电线的正常操作电压高于50V AC 或120V DC，进行介电 测试 时应可承受1000V 加上兩倍的运作额定电压，或是持续承受5 分钟的2000V AC （取较 高者）。应在电线或电缆导线与包覆导线绝缘的金属薄片之间进行此介电破坏测 试。 16.2.8 绝缘强度– 绝缘体的机械强度与厚度应具有一定的程度，以确保绝缘体 不会在正常操 作或合理可预期的濫用情况下被破坏，而无法提供应有的保护。 16.3 软线 16.3.1 在下列情况中，可在电气箱内使用软线、电缆与电源线组进行内部接线： a) 当具有随附插头且由电气箱内部插座供电以連接一个以上总成件至电气箱内
- 65. 的主 要电源时； b) 当软线或电缆的个别导线上其绝缘不需外层护套绝缘便适合使用时； c) 当AC 软线、AC 电线组、AC 插座及AC 器具聯接器皆依照各自的额定值使 用时。 注48：相较于非分離式电线，较偏好使用电源线组來协助替换总成件，而无需 修改或 拆卸软线。 16.3.2 安装在设备或系统结构上或是机器底盘内的软线与电缆在正常操作下不 会受到实体损 坏时，外露的情形可予接受。外露电缆安装时应紧贴机器表面与结构零组件。 17. 接线实务 17.1 連接与路径 17.1.1 所有接点皆应固定以免松脱，端子的尺寸应适合导线端接。若需将兩条 或多条导线接 至一个端子时，该端子必须在设计上适合此用途。若为需焊接的接点，应在焊接 前以 机械方式固定。端子板上的端子应清楚标示，且标示方法须与接线图上的标示相 同。 或者，亦可在系统图上注明辨識端子的方法，或另以其他方式清楚标示端子。 17.1.2 软管或软线的安装应确保自动排出渗入的液体。 17.1.3 端子板的安装和接线应确保内部和外部电线不会缠绕在端子上。
- 66. 17.1.4 导线和缆线应直接連接在端子之间，不可迭接。 17.1.5 若电路在不同的电压下連作，应以适合的绝缘体隔離各电压的导线，或 将不同电压的 导线分别设定路径并固定。对于分组或成束的导线，应依各组或各束导线的最高 电压 予以隔離。 17.1.6 不可为了获得所需的载流容量而将小于1/0 AWG 的多条导线以并聯方 式接至相同的端 子。 17.1.7 导线不可暴露在高于其额定温度的环境中，若端子的额定温度低于导线 的额定温度， 在评估导线的适合性时，应以较低的额定温度为准。 17.2 端子接线片– 建议依下列方式使用端子接线片： a) 接线环（或环形舌片）– 建议用于无需为日常保养维修而拆卸的端子。 b) 扁叉（或扁铲）式接线片– 不建议用來端接危险电压或危险能级的导线，且 ／或 不建议用于聯结或接地。 c) 凸缘叉（或凸缘铲）式接线片– 建议用于需为日常保养维修而拆卸的端子。 d) 公／母接头（或接片）– 建议用來端接甚至拆卸的零组件或面板上的母／公 接头。 e) 平插式端子、插梢式端子或包头端子– 仅建议用于不适合环形接线片且甚少 拆卸
- 67. SEMI S22-0706a © SEMI 2003, 2006 24 的零组件。建议用无端子的多股电线。 注49：上述建议与本文件其他基准规定不符时，应适用其他基准之规定。 17.3 插头、电源线接头及插座– 若連接错误可能产生无法接受的危险，则插座 和电源线接 头不可使用额定电压或电流不兼容的插头。 17.3.1 只可使用母电源线接头連接电源供应器。 17.3.2 插座的额定值至少应等于电路最大额定设计负载（电流）的125%。 17.3.3 每个插座应分别接至保护接地系统。 17.3.4 不可串聯插座与插座间的保护线。 17.3.5 可从设备外部触碰的便利插座应使用接地故障断路器（GFCI）保护。 注50：用來馈电给子系统的插座不得视为便利插座。 环形舌片 扁铲式 凸缘铲式 母接头 图1：端子接线片 17.4 多插座总成件– 应使用经合格测试实验室认证的多插座总成件。使用多插 座总成件 时，应遵守制造商的规范书及合格测试实验室的认证条件。 例外：可使用符合下列全部条件的多插座总成件： (a) 插座获得合格测试实验室的认证，且其使用可符合制造商的规范书及实验室
- 68. 的认 证条件。 (b) 电气箱通过22.14 节的测试。 (c) 电气箱以金属或聚合材料制成，且最低耐燃等级为V-1（參阅IEC 60707 或 UL 94），FM4910 或UL2360 Class 1。 (d) 具导电性的多插座总成件电气箱連接至保护接地系统。 (e) 每个插座都有一个接地保护接地系统的触点。 25 SEMI S22-0706a © SEMI 2003, 2006 17.5 辨識导线 17.5.1 每条导线皆应以号码、字母及／或颜色标示，或以产品文件指定之其他 方法标示，以 利辨别。 17.5.2 若仅以颜色作为識别，可在导线兩端黏贴色带或装上套管。色带或套管 应以缠绕或其 他方式固定在导线上。 17.5.3 辨識保护线– 应标示保护线的兩端以利辨識。保护线本身应以形狀、位 置、标记或颜 色作为識别。 17.5.3.1 若仅以颜色作为識别，整条保护线应采用綠色及黄色双色组合以利辨 識，且在导线 每15mm 的长度上，其中一种颜色至少应覆盖30%至70%的导线面积，另一颜
- 69. 色覆盖 则其余导线面积。 例外：若相关文件系以翠綠色作为保护接地的識别色，则可使用翠綠色來識别保 护线。 17.5.3.2 不可使用黄綠组合或仅以綠色标示其他导线。 17.5.4 辨識接地（中性）线– 若仅以颜色作为識别，应使用白色或灰色。 例外：若同时以其他方式識别，可使用淡藍色。 注51：有些国家不接受淡藍色。 17.5.4.1 白色、灰色及淡藍色不可用來辨識其他导线。 17.5.5 辨識其他导线– 若仅以颜色作为識别，应用黑色辨識所有未接地的AC 及DC 电源电 路线。 17.6 电气箱的内部接线 17.6.1 电气箱内部导通危险电压的电线应加以固定，以避免在保养维修时造成 机械损坏。 17.6.2 若可合理预見在发生单点故障时可能会产生液体，即应采取保护措施， 避免电线碰触 液体。 17.6.3 电线应远離锐缘或可能影响电线绝缘的任何表面。 17.6.4 接线时可使用导轨或其他导引装置，但不得因而影响电线的绝缘。 17.7 电气箱的外部接线 17.7.1 接至电气箱外部的电线应埋置在导管或线槽内，或包覆在适合的多芯缆
- 70. 线内。应配合 实际环境使用固定装置來固定导管、线槽或多芯缆线。不可对缆线施加应力（例 如夹、 压、踩、磨）。 17.7.2 若必须在悬吊式按压致动器工作台使用软性連接时，可使用软管或多芯 软线。除非软 管或多芯缆线在设计上可用于支撑悬吊式工作台的重量，否则应以其他方法支撑。 17.7.3 接至电气箱外部的缆线应配备合适的电源线扣，确保不会因拉扯而造成 端接点移位。 线扣应进行第22.7 节的电源线拉力测试。 SEMI S22-0706a © SEMI 2003, 2006 26 17.7.4 机器内部或机器上的软线应加以保护，避免在正常操作条件下发生绝缘 击穿。应考量 的事项如下： a) 活动零件 b) 机器上的托架和缆线导轨 c) 摩擦 d) 暴露于液体或气体环境 e) 暴露于輻射环境 f) 温度变化 注52：半导体制程设备使用的化学药剂会劣化天然橡胶。 17.7.5 若无法固定缆线，或其布线路径靠近活动零件，则活动零件和缆线之间
- 71. 至少应保留 25mm（1 in.）的距離。若无法保持此距離，应在缆线和活动零件之间加装固定 式隔離 板。 17.7.6 若软管靠近活动零件，其建构与支撑应符合下列条件： a) 在正常操作条件下不可对软管造成损坏。 b) 软管内包覆在电线上的绝缘体不可因单点故障而损坏。 17.7.7 插头／插座组合– 若设备为可携式，应使用极化插头／插座组連接。 17.7.8 在安装设备时連接的现场接线端子应符合附錄1 表A1-1 至A1-5 的电线 弯曲空间标准。 例外：符合NFPA 70 电线弯曲空间规格的设备应视为符合表A1-1 至A1-5 的标 准。 17.7.9 导管及接线盒 17.7.9.1 一般說明– 布设在导线内的缆线额定值应为正确。 17.7.9.2 导管及线槽布线– 布设在导管或线槽内的导线其总截面积不得超过导 管或线槽内 部截面积的50%。 注53：应考虑电线和缆线的其他限制因素。例如，因考虑温度上的限制而减少 导线的 數目。 17.7.9.3 导管与配件– 软管／非软管及配件应适合用于预期的使用环境。导管 应确实固定，
- 72. 并支撑导管的每一端。 17.7.9.4 配件应与导管兼容，并适合预定的用途。 17.7.9.5 配件应加以固定，且其固定方式应确保必须使用工具才能拆下固定装 置。 17.7.9.6 弯曲导管时，应确保导管不会因弯曲而损坏，且其内径不会因此明显 变小。 17.7.9.7 接线盒– 应保护接线盒，避免異物渗入破坏绝缘或造成接地故障。 17.7.9.8 接线盒的大小应确保能消散正常操作时产生的热气。 17.8 子系统互連– 安装设备时，在子系统间連接的导线应依第9.3.4 节之规定 保留足够的 电线弯曲空间，且符合9.1.6.3 节的相位辨識条件。 例外：符合NFPA 70 电线弯曲空间规格的设备应视为符合第9.3.4 节的电线弯 曲空间标 准。 17.9 导线在设计上应确保其载流量不会因机械、化学或任何其他因素而受到影 响。 18 电动马达186W（1/4 匹马力）或以上 18.1 一般說明– 本节之考量事项（包括过电流保护）适用于电动马达及其电气 箱。本节适 用于600V 或以下、186W（1/4HP）或以上的AC 及DC 马达。 27 SEMI S22-0706a © SEMI 2003, 2006 18.1.1 对于安装在远程（例如安装在暗管或地板下方）的马达，应确保可拆除
- 73. 马达视线范围 内距離不超过3 公尺（10 呎）的所有未接地导线。 18.1.2 应预防马达进水，以降低触电或火灾危险。马达的接线端子应设置在马 达机壳或另外 的独立接线盒内。 注54：风险评估通常须考虑单点故障的容错能力（參阅第7.4 及10.1 节）。 18.1.3 应在马达上标示制造商的名称及零件号码。若未标示方向箭头而可能引 起安全问题 时，即应在马达上标示方向箭头。 注55：亦可使用相位識别法來辨識马达的方向是否正确。 18.1.4 应在马达上标示电压、电流及频率额定值。 例外：此信息可由其他辅助信息提供，但应可从辅助信息追溯至马达上的制造商 名称 和零件号码。 18.1.5 所有马达皆应提供电压不足保护功能，以免在电压恢復后触发设备而造 成危险。 18.2 马达的安装与隔板 18.2.1 马达及其聯结器、皮带、皮带輪和链条在安装时应确保足够的保护，且 不会为维修人 员带來受伤风险。 18.2.2 结构上除应确保正确的冷却外，还应确保任何温度上升皆在马达的隔離 等级范围内
- 74. 18.2.3 应可在马达上的适合位置进行润滑、保养和更换。 18.2.4 应确保足够的空气循环，将马达温度保持在额定值范围内。 18.3 机械制动– 若操作机械制动器会增加截捕（Entrapment）或其他危险的机 率，则应提 供制动释放功能。 18.4 马达保护 18.4.1 应提供马达过电流保护功能，以期在发生隔離失效、转子堵转或过载情 形时，避免产 生过电流。过电流保护功能应可将所有未接地的导线开路。 18.4.2 若过电流保护装置在允许马达起动的同时亦提供过载保护，则可同时使 用于此兩用 途。若一台保护装置不适合同时提供过电流和过载保护，亦可使用兩台独立的保 护装 置，其中一台用于短路和接地故障保护，另一台用于过载保护。 18.4.3 应以下列其中一种方式提供过载保护： a) 过载继电器； b) 内部／外部马达热保护；或 c) 阻抗保护。 18.4.4 可调式速度传动系统功率转换设备的输入电路或馈电器应取决于功率转 换设备的额定 输入。除非功率转换设备经合格的检测实验室证实具备过载保护能力且适合马达 使
- 75. 用，否则应另外提供过载保护。 18.4.5 若超速可能带來危险，即应提供超速保护。 19 配件及照明 19.1 照明电路 19.1.1 应依第19.1.2 或19.1.3 节的指示，将所有设备照明及维修照明电路的一 条导线連至设 备的保护接地系统。请參阅第17.6.3 的导线識别說明。 19.1.2 若照明电路另以变压器辅助，则应从变压器接地。 19.1.3 将保护导线接至螺旋灯座时，应将导线連接在螺旋金属壳上。 SEMI S22-0706a © SEMI 2003, 2006 28 19.1.4 連接设备的固定照明灯时，应使用适合此連接的导线。 19.1.5 应确保设备工作灯的开关或插座在进水或渗入其他物质时不会增加触电 或火灾危险。 注56：开关或插座的安装位置应确保在进水或渗入其他物质时不会增加触电危 险。 19.2 插头与插座 19.2.1 插头和插座的额定值及标示应符合所使用的电压及电流。 19.2.2 用于300V 或以上电路的插头和插座应具备适合负载或非负载断路用途 的额定值，且可 在連接或断路时有效抑制电弧。 19.2.3 插头和插座在设计及安装上应避免異物渗入，而增加触电或火灾的危险。 19.2.4 电气箱内的插座仅供保养设备或电气箱内部AC 配电至电线／插头連接
- 76. 总成件使用。 请參阅第17.3 节关于插座的详细說明。 20. 标___________记 20.1 一般說明– 危险警告标志、铭牌、标记及識别牌应具备足够的耐久性，能 够适应设备 的实体安装环境。 20.2 危险警告标志– 电气箱上应以标签告诉用户其外壳内部潜藏的危险。 这些标签应符合SEMI S1 的规定 例外：若电气箱与不会击穿的聯锁机构聯锁，藉以关断危险連接，则无需黏贴标 签。 20.3 功能識别– 应在控制装置、视觉指示装置及显示器上或其附近清楚持久地 标示相关功 能。请參阅第14.2.2 节「标记」。 20.4 设备铭牌– 安装完成后，应在主电气箱或设备上永久黏贴铭牌，黏贴位置 应确保可清 楚看到铭牌。铭牌上应提供下列信息： a) 制造商的名称和地址； b) 设备的名称、型号和序号； c) 电源电压； d) 相位數； e) 电线數； f) 频率；
- 77. g) 全负载流； h) 最大马达或负载的额定安培值； i) 设备或其工业控制盘的额定短路电流； j) 若设备加装过电流保护装置，应提供该装置的额定安培值； k) 电路图号码或电路图的索引号码（材料表）。 20.5 若提供一个以上的电源电路，铭牌应分别提供各电源电路的上述信息。 例外：若唯一的负载來源为单台马达或马达控制器，则马达铭牌可作为电气设备 的铭 牌使用，但必须清楚可見。 20.6 全负载流– 铭牌上的全负载流不可小于所有马达及在正常使用下同时操 作之其他设 备的全负载流。若需要超大尺寸导线來满足特殊负载或工作周期的需求，应将所 需的 电容算入铭牌上的全负载流。 20.7 过电流标志– 若依第9.1.5 节的指示提供过电路保护，设备应标示「机器 电源输入端 子过电流保护」。可另以铭牌提供此信息。 20.8 參考命名系统– 所有外壳、总成件、控制装置及零组件都应依照技术文件 中的參考命 名系统或其他等效方式加以識别。 29 SEMI S22-0706a © SEMI 2003, 2006 21 技术文件
- 78. 21.1 安装图– 安装說明书应提供系统的完全安装及安全启动信息，且应包含以 下内容： a) 设备及其安装、固定和电源接线的详细說明； b) 设备安装說明书详解，包括公用设施的电源导线；以及 c) 设备或其工业控制盘的额定短路电流，包括从公用设施連接至设备的每一组 电源 电路。 21.2 方块（系统图）及功能图– 若在了解操作原理上有所必要，应提供方块（系 统）图。 方块（系统）图应以图标指明电气系统及各功能的相互关系，无需显示所有互連 线路。 21.3 电路图– 应提供配电、EMO 及聯锁电路的电路图或电路示意图。对于方 块（系统） 图在安全安装及维修电气设备方面描述不全之处，应提供电路示意图。 21.4 操作說明书– 提供给最终使用者的文件应包含操作說明书，详述设备的正 确操作程 序，并应特别强调安全措施及可预見的不当操作方法。 21.5 保养說明书– 技术文件应包含保养說明书，详述设备的保养维修程序，并 应强调如何 安全地执行这些程序。应随产品提供一份预防性保养时程表。 21.6 聯锁功能說明书– 应提供聯锁功能說明书，详述其操作程序。 21.7 更换零件的辨識方法– 对于预期将由使用者自行更换的零件，应在设备的
- 79. 相关說明书 中详述零件的辨識方法。 21.8 翻译本– 应依法律规定，将信息翻译成设备使用地的主要语言，但应注明 信息的原始 撰写语言。 21.9 适用于所有文件– 文件的參考命名系统应符合IEC 61346-1 的规定。亦可 另外提供參 考键（Reference Key）。 注57：其他有关安装、操作及保养的标准与說明已规定于SEMI S2 及SEMI S13 之中。 22. 测试 22.1 一般說明– 本文件要求的测试应由受过相关训練且拥有相关技术知識的 合格人员执 行。测试时应使用本文件所提的测试设备。 22.1.1所有测试设备皆应校正并可追溯至校正标准组织（例如美国国家标准暨技 术学会(NIST) 或日本国家度量衡学会）。 22.1.2 测试设备的校正间隔时间应符合该测试设备的需求，通常不超过一年。 22.1.3 除另有注明外，应依制造商的操作說明书在最不利的条件下测试设备。 这些条件包括： a) 电源电压； b) 电源频率；
- 80. c) 活动零件的位置； d) 操作模式（例如全温度条件、操作中的马达等）；以及 e) 在操作员可接近的区域调整恒温器、调节装置或其他類似控制装置。 注58：最不利条件系指在制造商操作說明书所列的条件中最难让设备通过测试 的条件。 SEMI S22-0706a © SEMI 2003, 2006 30 22.1.4 在确定最不利的电源电压条件时，可考虑下列情况： a) 多名义额定电压（例如120/240V）；及 b) 最大范围的名义额定电压（例如208-240V）。 注59：无需考虑名义额定电压的公差值（例如120±5%）。 注60：有些标准（例如IEC 61010-1 及IEC 60950）可能要求达到额定电源电压 的90% 及110%。 22.1.5 在确定最不利的电源频率时，可考虑使用指定的名义频率（例如50Hz、 60Hz 或 50/60Hz）。 注61：无需考虑名义额定频率的公差值（例如50±0.5 Hz）。 22.1.6 视设备的不同，可对电路、零组件及子总成件进行测试，而无需测试整 台设备，但测 试结果须对整台设备的所有电路、零组件和子总成件具有代表性。 例外：第22.2 及22.3 节的漏电流和接地連续性测试必须在整台设备上进行。 22.2 电线／插头連接设备的漏电流测试
- 81. 22.2.1 测试设备– 以0.15μF 电容器分流的1500 ohm 电阻器（阻抗网路）以及 准确度达1.0% 的标准RMS 电压计。可使用独立式阻抗网路或整合在漏电流测量仪中的阻抗网 路。 22.2.2 程序– 对于使用电线和插头（插头／插座组合）連接设施分支电路的设 备，应确保设 备隔離（例如将设备设置在木质或其他非导电表面上）。应在拔下接地保护线后 将设备 接至其额定电源，并在制造商指定的最不利条件下操作设备。在每个可接触的金 属零 件与接地保护线之间应建立阻抗网路。在确定通电零件的可接触性时，应拆卸在 正常 操作时会由操作员拆卸的所有检修门、控制盘或其他装置。应使用标准RMS 电 压计测 量阻抗网路的压降。漏电流应以下列公式计算： 1500 ohms Voltage I measured leakage= 22.2.3 可接受的结果– 算出的最大漏电流不可超过3.5mA。 注62：此测试仅需在插头和插头連接的设备上实施。 22.3 接地持续性与保护聯结电路的持续性
- 82. 22.3.1 测试设备– 可测量至0.10 ohm、准确度达1%的低量程（Low Range） 电阻计，或是使 用一台10amp 的低电压电流源、一台测量至10amp、准确度达1%的电流计，以 及一台 测量至0.01V、准确度达1%的电压计进行测试。 22.3.2 程序– 依照以下程序之一进行测试： 22.3.2.1 从电源供应器上拔下设备的电源线。若设备系使用固定接线法安装， 应从接地保护 线的端子上拔下接地保护线。使用低量程电阻器测量接地保护端子与设备上每个 可接 触的金属零件（把手、监视器、检修门等）之间的电阻。完成测试后，将接地保 护线 重新接回接地保护线端子。 22.3.2.2 从电源供应器上拔下设备的电源线。若设备系使用固定接线法安装， 应从接地保护 线的端子上拔下接地保护线。将低电压电流源接在接地保护线端子和设备框架或 护盖 上的每个可接触的金属零件（把手、监视器、检修门等）之间。注入10 amp 的 电流后， 测量设备連接点与接地保护线端子间的压降，然后将测得的电压除以注入的电流， 以 算出电阻。完成测试后，将接地保护线重新接回接地保护线端子。