OPTICAL METROLOGY & POLARIMETRY
Micro and Nano-Technology-Scientific Consulting and
Expertise
29.01.15
F.Ferrieu
Micro and...
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Expertise
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F.Ferrieu
Micro and...
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Micro and Nano-Technology-Scientific Consulting and
Expertise
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F.Ferrieu
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Micro and Nano-Technology-Scientific Consulting and
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OPTICAL METROLOGY & POLARIMETRY
Micro and Nano-Technology-Scientific Consulting and Expertise
• Nanotechnologies
• Mesures...
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Optical Metrology & Polarimetry

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Optical Metrology & Polarimetry

  1. 1. OPTICAL METROLOGY & POLARIMETRY Micro and Nano-Technology-Scientific Consulting and Expertise 29.01.15 F.Ferrieu Micro and Nano-Technology-Scientific Consulting and Expertise OMP _S.I.R.E.T 52230889900015 1 Expertise/ consultant développement & veille technologique sur les techniques de Metrologie Optique et applications utilisant la polarimétrie Aide à l’Etablissement d’un protocole et assurer l’interface avec des laboratoires de mesures sur des problématiques Industrielles qui nécessitent de la caractérisation optique (couches minces, nouveaux matériaux, nanotechnologies off line et in line). Ces Travaux bénéficient ainsi de l’approche d’Expert dans ce Domaine avec un Environnement de Recherche au sein de Serma Technologies et du LETI  un potentiel de métrologie unique avec MINATEC et SERMA possibilité ainsi compléter les analyses (TEM, SIMS, ..)  la possibilité d’utiliser des Instruments d’Optique de la Métrologie du LETI et interface avec les laboratoires développant les dernier instruments d’optique innovants comme en Polarimetrie.
  2. 2. OPTICAL METROLOGY & POLARIMETRY Micro and Nano-Technology-Scientific Consulting and Expertise 29.01.15 F.Ferrieu Micro and Nano-Technology-Scientific Consulting and Expertise OMP _S.I.R.E.T 52230889900015 2 Expertise/ consultant développement & veille technologique sur les techniques de Metrologie Optique et applications utilisant la polarimétrie Aide à l’Etablissement d’un protocole et assurer l’interface avec des laboratoires de mesures sur des problématiques Industrielles qui nécessitent de la caractérisation optique (couches minces, nouveaux matériaux, nanotechnologies off line et in line). Ces Travaux bénéficient ainsi de l’approche d’Expert dans ce Domaine avec un Environnement de Recherche au sein de Serma Technologies et du LETI  un potentiel de métrologie unique avec MINATEC et SERMA possibilité ainsi compléter les analyses (TEM, SIMS, ..)  la possibilité d’utiliser des Instruments d’Optique de la Métrologie du LETI et interface avec les laboratoires développant les dernier instruments d’optique innovants comme en Polarimetrie.
  3. 3. OPTICAL METROLOGY & POLARIMETRY Micro and Nano-Technology-Scientific Consulting and Expertise 29.01.15 F.Ferrieu OMP _S.I.R.E.T Micro and Nano-Technology-Scientific Consulting and Expertise OMP _S.I.R.E.T 52230889900015 52230889900015 3 Expertise, Apport d’expérience et Orientation sur les possibilités de réalisation de mesures visant à faciliter la mise en œuvre d’un projet industriel . Mais aussi Accompagnement dans la sélection de propositions effectuées par les équipementiers dans le cadre de la recherche d’instruments les mieux adaptés aux besoins de métrologie. Formation à l’utilisation et à l’optimisation des données des instruments de mesure. Support montage des programmes Européens ou Régionaux sur la faisabilité et la pertinence d’un projet scientifique Et en parallèle Enseignement & Formation : séminaires d’application ou généraux dans l’instrumentation Optique et ses applications.
  4. 4. OPTICAL METROLOGY & POLARIMETRY Micro and Nano-Technology-Scientific Consulting and Expertise 29.01.15 F.Ferrieu OMP _S.I.R.E.T Micro and Nano-Technology-Scientific Consulting and Expertise OMP _S.I.R.E.T 52230889900015 52230889900015 4 Notre Expérience  Plus de 50 publications en Ellipsometrie et Polarimetrie. Reviewer dans différents Journaux scientifiques TSF1 , JOSA2 et EJAP3 . Participation différents projets industriels dans le domaine de l’instrumentation (premiers ellipsometres spectroscopiques visible, infrarouge et extrême Ultraviolet en France ) Connaissance et interactions en NDA avec différents groupes au niveau mondial en Ellipsometrie, Reflectometrie et Polarimetrie : KLA Tencor , J. Woollam, Horiba Scientific et, SopraLab 1 Thin Solid Films, 2 Journal of The Optical Society of America, 3 European Journal of Applied Physics
  5. 5. OPTICAL METROLOGY & POLARIMETRY Micro and Nano-Technology-Scientific Consulting and Expertise • Nanotechnologies • Mesures in situ • Matériaux nouveau • Multi couches • Etudes de surface par Polarimetrie • Structures photoniques et Lithographie • Adsorption de Surface et porosimetrie 29.01.15 OMP _S.I.R.E.T Micro and Nano-Technology-Scientific Consulting and Expertise OMP _S.I.R.E.T 52230889900015 52230889900015 1
  6. 6. OPTICAL METROLOGY & POLARIMETRY Micro and Nano-Technology-Scientific Consulting and Expertise • Nanotechnologies • Mesures in situ • Matériaux nouveau • Multi couches • Etudes de surface par Polarimetrie • Structures photoniques et Lithographie • Adsorption de Surface et porosimetrie 29.01.15 OMP _S.I.R.E.T Micro and Nano-Technology-Scientific Consulting and Expertise OMP _S.I.R.E.T 52230889900015 52230889900015 1

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