1. OPTICAL METROLOGY & POLARIMETRY
Micro and Nano-Technology-Scientific Consulting and
Expertise
29.01.15
F.Ferrieu
Micro and Nano-Technology-Scientific Consulting and
Expertise OMP _S.I.R.E.T 52230889900015
1
Expertise/ consultant développement & veille
technologique sur les techniques de Metrologie
Optique et applications utilisant la polarimétrie
Aide à l’Etablissement d’un protocole et assurer l’interface
avec des laboratoires de mesures sur des problématiques
Industrielles qui nécessitent de la caractérisation optique
(couches minces, nouveaux matériaux, nanotechnologies off
line et in line).
Ces Travaux bénéficient ainsi de l’approche d’Expert dans ce
Domaine avec
un Environnement de Recherche au sein de Serma Technologies
et du LETI
 un potentiel de métrologie unique avec MINATEC et SERMA
possibilité ainsi compléter les analyses (TEM, SIMS, ..)
 la possibilité d’utiliser des Instruments d’Optique de la
Métrologie du LETI et interface avec les laboratoires développant
les dernier instruments d’optique innovants comme en
Polarimetrie.

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Expertise/ consultant développement & veille
technologique sur les techniques de Metrologie
Optique et applications utilisant la polarimétrie
Aide à l’Etablissement d’un protocole et assurer l’interface
avec des laboratoires de mesures sur des problématiques
Industrielles qui nécessitent de la caractérisation optique
(couches minces, nouveaux matériaux, nanotechnologies off
line et in line).
Ces Travaux bénéficient ainsi de l’approche d’Expert dans ce
Domaine avec
un Environnement de Recherche au sein de Serma Technologies
et du LETI
 un potentiel de métrologie unique avec MINATEC et SERMA
possibilité ainsi compléter les analyses (TEM, SIMS, ..)
 la possibilité d’utiliser des Instruments d’Optique de la
Métrologie du LETI et interface avec les laboratoires développant
les dernier instruments d’optique innovants comme en
Polarimetrie.

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Expertise, Apport d’expérience et Orientation sur les
possibilités de réalisation de mesures visant à faciliter la
mise en œuvre d’un projet industriel .
Mais aussi
Accompagnement dans la sélection de propositions
effectuées par les équipementiers dans le cadre de la
recherche d’instruments les mieux adaptés aux besoins de
métrologie.
Formation à l’utilisation et à l’optimisation des données des
instruments de mesure.
Support montage des programmes Européens ou Régionaux
sur la faisabilité et la pertinence d’un projet scientifique
Et en parallèle
Enseignement & Formation : séminaires d’application ou
généraux dans l’instrumentation Optique et ses applications.

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Notre Expérience
 Plus de 50 publications en Ellipsometrie et Polarimetrie.
Reviewer dans différents Journaux scientifiques TSF1
, JOSA2
et
EJAP3
.
Participation différents projets industriels dans le domaine de
l’instrumentation (premiers ellipsometres spectroscopiques
visible, infrarouge et extrême Ultraviolet en France )
Connaissance et interactions en NDA avec différents groupes
au niveau mondial en Ellipsometrie, Reflectometrie et
Polarimetrie : KLA Tencor , J. Woollam, Horiba Scientific et,
SopraLab
1
Thin Solid Films,
2
Journal of The Optical Society of America,
3
European Journal of Applied Physics

5. OPTICAL METROLOGY & POLARIMETRY
Micro and Nano-Technology-Scientific Consulting and Expertise
• Nanotechnologies
• Mesures in situ
• Matériaux nouveau
• Multi couches
• Etudes de surface par Polarimetrie
• Structures photoniques et Lithographie
• Adsorption de Surface et porosimetrie
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6. OPTICAL METROLOGY & POLARIMETRY
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• Nanotechnologies
• Mesures in situ
• Matériaux nouveau
• Multi couches
• Etudes de surface par Polarimetrie
• Structures photoniques et Lithographie
• Adsorption de Surface et porosimetrie
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